Сведения о средстве измерений: 87711-22 Установка для измерения размеров частиц на поверхности пластин

Номер по Госреестру СИ: 87711-22
87711-22 Установка для измерения размеров частиц на поверхности пластин
(Surfscan SP1TBI)

Назначение средства измерений:
Установка для измерения размеров частиц на поверхности пластин Surfscan SP1TBI (далее по тексту - установка) предназначена для измерений размеров частиц на поверхности пластин без топологического рисунка.

сертификация программного обеспечения
Внешний вид. Установка для измерения размеров частиц на поверхности пластин, http://oei-analitika.ru рисунок № 1
Внешний вид.
Установка для измерения размеров частиц на поверхности пластин
Рисунок № 1
Внешний вид. Установка для измерения размеров частиц на поверхности пластин, http://oei-analitika.ru рисунок № 2
Внешний вид.
Установка для измерения размеров частиц на поверхности пластин
Рисунок № 2

Общие сведения

Дата публикации - 20.12.2022
Срок свидетельства -
Номер записи - 189690
ID в реестре СИ - 1404556
Тип производства - единичное
Описание типа

Поверка

Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки

Модификации СИ

Нет модификации,

Производитель

Изготовитель - Фирма "KLA-TENCOR"
Страна - СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да

Пенза - город в центре европейской части России, административный центр Пензенской области. является городом областного значения, образует муниципальное образование городской округ город Пенза. Население - 501 109 человек.

Пенза расположена в центре европейской части России на Приволжской возвышенности, в 629 км к юго-востоку от Москвы. Город расположен на берегах реки Сура в южной части Пензенской области, в 26 км к востоку от ее географического центра. Площадь города составляет 310,4 кв. км.

Средняя высота над уровнем моря - 174 м. Самая высокая точка находится на холме Боевой горы, вытянутой с SW на NE как хребет. Максимальная высота - 134 м.

Основными видами промышленной продукции, выпускаемой предприятиями города, являются: стальные трубы, промышленная трубопроводная арматура, воздушные и газовые приводные компрессоры, машины для коммунального хозяйства, медицинское оборудование, приборы и средства автоматизации, химическое оборудование, вычислительная техника. ОАО "ППО ЭВТ им. В.А. Ревунова" - производство бытовой техники. НПП "МедИнж" - производство сердечных клапанов. На долю "Маяка" приходится 60% отечественного рынка бумаги-основы, используемой в дизайне, производстве мебели, обоев, декоративных пластиков. НПП "Эра" - производство летных тренажеров для пилотов гражданской авиации, механизмов для химической и нефтехимической промышленности. Пензенская кондитерская фабрика - более 130 наименований кондитерских изделий и др.

Отчет "Анализ рынка поверки в Пензе" предоставляет исчерпывающую информацию по деятельности организаций, аккредитованных в Национальной системе аккредитации на право поверки средств измерений в городе Пенза.

При проведении исследований были введены следующие ограничения:

  • в отчете присутствуют организации с первичными или периодическими поверками от 100 шт. с 2017 года и действующими аттестатами аккредитации на текущий год;
  • на первом и втором этапах фильтром отсекаются типы СИ с менее чем 10 поверками в год на организацию;
  • на первом и втором этапах фильтром отсекаются типы СИ с менее чем 10 поверками в год на организацию;
  • место регистрации или осуществления деятельности организаций должно совпадать с выбранным городом;
  • топ типов СИ ограничен 500 позициями по каждой организации (сортировка по убыванию количества поверок);
  • топ типов СИ ограничен 100 позициями по каждой организации при поиске по видам измерений (сортировка по убыванию количества поверок).

Содержание отчета:

  • Список организаций-поверителей, осуществляющих поверку в городе Москва по данным ФСА и ФГИС АРШИН.
  • Объемы первичных и периодических поверок за период с 2017г. по н.в.
  • Информация о местах осуществления деятельности организаций-поверителей.
  • Доля рынка поверок в % среди всех организаций, исследуемого города (предоставление информации в графическом и табличном видах).
  • Детальный анализ по каждой из организации, работающей в выбранном городе.
  • Анализ деятельности в разрезе первичных, периодических поверок и видов измерений.
  • Количество поверок по типам СИ в динамике по годам.
  • Индикация импортных аналогов средств поверки (в соответствии с ПЕРЕЧЕНЕМ СИ ОТЕЧЕСТВЕННОГО ПРОИЗВОДСТВА, АНАЛОГИЧНЫХ СРЕДСТВАМ ИЗМЕРЕНИЙ ИМПОРТНОГО ПРОИЗВОДСТВА от 09.2022г)
  • Индикация типов СИ по ПП РФ №250 от 20.04.2010 г.
  • Быстрый анализ контрагентов организаций-поверителей.
  • Анализ цен на поверку СИ по Фед. округу.

Стоимость 200 руб. или по подписке

Статистика

Кол-во поверок - 2
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 1
Кол-во средств измерений -
Кол-во владельцев -
Усредненный год выпуска СИ -
МПИ по поверкам - дн.

Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ

№3207 от 2022.12.19 ПРИКАЗ_Об утверждении типов средств измерений (16)

Наличие аналогов СИ: Установка для измерения размеров частиц на поверхности пластин (Surfscan SP1TBI)

ИМПОРТНОЕ СИ
№ в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ
№ в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель

Все средства измерений Фирма "KLA-TENCOR"

№ в реестре
cрок св-ва
Наименование СИ, обозначение, изголовитель ОТ, МП МПИ
66974-17

Профилометр стилусный контактный, AlphaStep D-120
Фирма "KLA-TENCOR" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ )
ОТ
МП
1 год
87711-22

Установка для измерения размеров частиц на поверхности пластин, Surfscan SP1TBI
Фирма "KLA-TENCOR" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ )
ОТ
МП
1 год

Исследование "Анализ рынка поверки Сибирского федерального округа" предоставляет исчерпывающую информацию об организациях, оказывающих услуги поверки в сибирской части Российской Федерации.

Параметры исследований:

  • фильтр по работающим в округе организациям-поверителям по данным ФСА и ФГИС АРШИН
  • объемы первичных и периодических поверок за период 2017г. по н.в.
  • фильтр по местам осуществления деятельности
  • предоставление информации в графическом и табличном видах
  • детальное рассмотрение деятельности каждой из организаций округа по годам
  • анализ в разрезе первичных, периодических поверок и видов измерений
  • количество поверок по типам СИ в динамике по годам
  • индикация импортных аналогов средств поверки (в соответствии с ПЕРЕЧЕНЕМ СИ ОТЕЧЕСТВЕННОГО ПРОИЗВОДСТВА, АНАЛОГИЧНЫХ СРЕДСТВАМ ИЗМЕРЕНИЙ ИМПОРТНОГО ПРОИЗВОДСТВА от 09.2022г)
  • индикация типов СИ по ПП РФ №250 от 20.04.2010 г.
  • быстрый анализ контрагентов организаций-поверителей
  • анализ цен на поверку СИ по Фед. округу

Стоимость 200 руб. или по подписке

Кто поверяет Установка для измерения размеров частиц на поверхности пластин (Surfscan SP1TBI)

Наименование организации Cтатус Поверенные модификации Кол-во поверок Поверок в 2025 году Первичных поверок Периодических поверок Извещений Для юриков Для юриков первичные Для юриков периодические
ФГБУ "ВНИИОФИ"
(RA.RU.311485)
  • Нет модификации
  • 2 1 1 1 0 2 1 1

    Стоимость поверки Установка для измерения размеров частиц на поверхности пластин (Surfscan SP1TBI)

    Организация, регион Стоимость, руб Средняя стоимость

    Программное обеспечение

    Управление установкой, прием и обработка данных осуществляются с помощью персонального компьютера (ПК) со специализированным программным обеспечением.

    Программное обеспечение осуществляет управление работой установки, в том числе сбор и анализ данных о распределении частиц по размерам, обработку и хранение данных.

    Программное обеспечение установки и результаты измерений защищены от случайных изменений, а также от изменений в результате несанкционированного доступа.

    Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

    Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части программного обеспечения указаны в таблице 1.

    Таблица 1 - Идентификационные данные программного . обеспечения

    Идентификационные данные (признаки)

    Значение

    Идентификационное наименование ПО

    SURFSCAN SP1 MX

    Номер версии (идентификационный номер) ПО

    MX 4.20.7199

    Цифровой идентификатор программного обеспечения

    Данные являются собственностью производителя и являются защищенными для доступа дилера и пользователей


    Знак утверждения типа

    Знак утверждения типа

    наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом и в виде наклейки на корпус установки.

    Лист № 6

    Всего листов 7

    Сведения о методиках измерений

    Сведения о методиках (методах) измерений

    приведены в руководстве по эксплуатации «Установка для измерения размеров частиц на поверхности пластин SURFSCAN SP1TBI» (Раздел 4 «Проведение измерений»); при использовании в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений установка применяется в соответствии с аттестованными методиками (методами) измерений.


    Нормативные и технические документы

    Нормативные документы, устанавливающие требования к средству измерений

    Локальная поверочная схема средств измерений размеров дефектов на кремниевых пластинах в диапазоне значений от 0,1 до 1,0 мкм, утвержденная ФГУП «ВНИИОФИ» (2 февраля 2022 г.).

    Правообладатель

    Фирма «KLA-Tencor», США

    Адрес: 3 Technology Dr, Milpitas, California, 95035, USA

    Телефон: +1-408-875-3000

    Факс: +1-408-875-4875

    Web-сайт: www.kla-tencor.com

    Изготовитель

    Фирма «KLA-Tencor», США
    Адрес: 3 Technology Dr, Milpitas, California, 95035, USA
    Телефон: +1-408-875-3000
    Факс: +1-408-875-4875
    Web-сайт: www.kla-tencor.com

    Испытательный центр

    Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ») Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
    Телефон: (495) 437-56-33
    Факс: (495) 437-31-47
    Web-сайт: www.vniiofi.ru
    E-mail: vniiofi@vniiofi.ru

    Правообладатель

    Фирма «KLA-Tencor», США
    Адрес: 3 Technology Dr, Milpitas, California, 95035, USA
    Телефон: +1-408-875-3000
    Факс: +1-408-875-4875
    Web-сайт: www.kla-tencor.com

    Принцип действия установки основан на методе измерений размеров частиц. Метод измерения размеров частиц основан на сканировании поверхности исследуемой пластины лазерным излучением, сборе излучения, рассеянного поверхностью, для различных наборов углов рассеяния (каналов) и сравнению измеренной в каналах интенсивности с интенсивностью рассеянного излучения от калибровочных частиц полистирольного латекса известного размера.

    Основными компонентами установки являются:

    • -   приборный шкаф, в котором расположены электронные, оптические и механические элементы прибора, включая аргоновый лазер, предназначенный для возбуждения светорассеяния;

    • -   консоль оператора, содержащая панель включения и выключения питания, две клавиатуры и устройство ввода информации, аналогичное мыши;

    • -   область загрузки и выгрузки пластин содержит автоматическое устройство (робот), который осуществляет загрузку и выгрузку пластин, а также кассеты для хранения пластин, как подготовленных для измерения, так и уже его прошедших;

    • -   видеодисплей, на котором отображаются процесс измерений и его результаты;

    • -   персональный встроенный компьютер, размещенный в приборном шкафу под консолью оператора.

    Нанесения знака поверки на установку не предусмотрено. Знак поверки наносится на паспорт и/или свидетельство о поверке в соответствии с действующим законодательством.

    Общий вид установки представлен на рисунке 1.

    Видеодисплей

    Консоль

    Область

    оператора

    загрузки и вывода пластин

    Приборный шкаф

    --

    Приборный шкаф

    Рисунок 1 - Общий вид установки для измерения размеров частиц на поверхности пластин

    Surfscan SP1TBI

    Заводской номер имеет буквенно-цифровое обозначение 0207-1122-R, нанесен в виде штампованной бирки на корпусе установки в месте, указанном на рисунке 2. Знак утверждения типа нанесен на лицевую сторону установки в месте, указанном на рисунке 2. Место пломбировки установки находится за защитной крышкой приборного шкафа и приведено на рисунке 3.

    Внешний вид. Установка для измерения размеров частиц на поверхности пластин (Surfscan SP1TBI), http://oei-analitika.ru

    Место нанесения

    знака утверждения

    типа

    Conforms to UL Std 3101-

    Surf«on$p(,

    ETL LISTED ELECTRICAL EQUIPMENT FOR LABORATORY USE PART 1: GENERAL REQUIREMENTS

    f’KJRUARY 2007

    A62

    Инв.№ 002160319

    CLASS 1

    LASER PRODUCT

    Voltage: 208-240,1 Phase

    Wiring Configuration: 2 Wire + Ground

    Frequency: 50/60 Hz

    Full Load Amps: 24A

    Machine Main Breaker Rating: зол Ampere Rating of Largest Load: 12A (Laser) Interrupt Current: 10,000 A.I.C

    Diagram Number: 545023-07

    ^^KL^Yencor

    ^Вве Technology Drive V^fltas. CA 95035

    Model: spi-tbi'4

    Serial No: 0207-1 122-R

    KLA-Tencor™ Corporation One Technology Drive Milpitas, California 95035 Manufactured

    у

    * tr

    This product conforms to the applicable requirements of 21 CFR Subchapter J.

    Место нанесения штампованной бирки

    Рисунок 2 - Место нанесения штампованной бирки с указанием заводского номера установки и знака утверждения типа

    Внешний вид. Установка для измерения размеров частиц на поверхности пластин (Surfscan SP1TBI), http://oei-analitika.ru

    MASTER PWR .CONTROL

    Место

    пломбировки

    Рисунок 3 - Место пломбировки установки


    Таблица 4 -

    Наименование

    Обозначение

    Количество

    Установка для измерения размеров частиц на поверхности пластин Surfscan SP1TBI

    заводской номер

    0207-1122-R

    1 шт.

    Кремниевые пластины диаметром 200 мм

    -

    3 шт.

    SMIF-контейнер М200-Е011

    -

    1 шт.

    Кассета КА198-80МВ-47С02

    -

    1 шт.

    Руководство по эксплуатации

    -

    1 экз.

    Методика поверки

    -

    1 экз.


    Таблица 2 - Метрологические характеристики

    Наименование характеристики

    Значение

    Диапазон измерений размеров частиц, мкм

    от 0,1 до 1,00

    Пределы допускаемого относительного среднеквадратического отклонения (ОСКО) случайной составляющей погрешности измерения размеров частиц, %:

    • - в диапазоне размеров от 0,1 до 0,3 мкм включ.

    • - в диапазоне размеров св. 0,3 до 1,0 мкм включ.

    ± 2

    ± 5

    Пределы допускаемой относительной систематической составляющей погрешности измерений размеров частиц в диапазоне размеров от 0,1 до 1,0 мкм включ, %

    ± 10

    Таблица 3 - Основные технические характеристики

    Наименование характеристики

    Значение

    Габаритные размеры, мм, не более

    1850x1300x1260

    Масса, кг, не более

    760

    Условия эксплуатации:

    • - температура воздуха, оС

    • - относительная влажность воздуха, %

    • - атмосферное давление, кПа

    • - пределы допускаемого отклонения температуры окружающей среды за 1 час, °C

    от +20 до +24

    от 30 до 50

    от 94 до 106

    ±1


    Настройки внешнего вида
    Цветовая схема

    Ширина

    Левая панель