Номер по Госреестру СИ: 87711-22
87711-22 Установка для измерения размеров частиц на поверхности пластин
(Surfscan SP1TBI)
Назначение средства измерений:
Установка для измерения размеров частиц на поверхности пластин Surfscan SP1TBI (далее по тексту - установка) предназначена для измерений размеров частиц на поверхности пластин без топологического рисунка.

Внешний вид.
Установка для измерения размеров частиц на поверхности пластин
Рисунок № 1

Внешний вид.
Установка для измерения размеров частиц на поверхности пластин
Рисунок № 2
Программное обеспечение
Управление установкой, прием и обработка данных осуществляются с помощью персонального компьютера (ПК) со специализированным программным обеспечением.
Программное обеспечение осуществляет управление работой установки, в том числе сбор и анализ данных о распределении частиц по размерам, обработку и хранение данных.
Программное обеспечение установки и результаты измерений защищены от случайных изменений, а также от изменений в результате несанкционированного доступа.
Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части программного обеспечения указаны в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного . обеспечения
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
Идентификационное наименование ПО |
SURFSCAN SP1 MX |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
MX 4.20.7199 |
Цифровой идентификатор программного обеспечения |
Данные являются собственностью производителя и являются защищенными для доступа дилера и пользователей |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом и в виде наклейки на корпус установки.
Лист № 6
Всего листов 7
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в руководстве по эксплуатации «Установка для измерения размеров частиц на поверхности пластин SURFSCAN SP1TBI» (Раздел 4 «Проведение измерений»); при использовании в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений установка применяется в соответствии с аттестованными методиками (методами) измерений.
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к средству измеренийЛокальная поверочная схема средств измерений размеров дефектов на кремниевых пластинах в диапазоне значений от 0,1 до 1,0 мкм, утвержденная ФГУП «ВНИИОФИ» (2 февраля 2022 г.).
ПравообладательФирма «KLA-Tencor», США
Адрес: 3 Technology Dr, Milpitas, California, 95035, USA
Телефон: +1-408-875-3000
Факс: +1-408-875-4875
Web-сайт: www.kla-tencor.com
Изготовитель
Фирма «KLA-Tencor», СШААдрес: 3 Technology Dr, Milpitas, California, 95035, USA
Телефон: +1-408-875-3000
Факс: +1-408-875-4875
Web-сайт: www.kla-tencor.com
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ») Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46Телефон: (495) 437-56-33
Факс: (495) 437-31-47
Web-сайт: www.vniiofi.ru
E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Правообладатель
Фирма «KLA-Tencor», СШААдрес: 3 Technology Dr, Milpitas, California, 95035, USA
Телефон: +1-408-875-3000
Факс: +1-408-875-4875
Web-сайт: www.kla-tencor.com
Принцип действия установки основан на методе измерений размеров частиц. Метод измерения размеров частиц основан на сканировании поверхности исследуемой пластины лазерным излучением, сборе излучения, рассеянного поверхностью, для различных наборов углов рассеяния (каналов) и сравнению измеренной в каналах интенсивности с интенсивностью рассеянного излучения от калибровочных частиц полистирольного латекса известного размера.
Основными компонентами установки являются:
-
- приборный шкаф, в котором расположены электронные, оптические и механические элементы прибора, включая аргоновый лазер, предназначенный для возбуждения светорассеяния;
-
- консоль оператора, содержащая панель включения и выключения питания, две клавиатуры и устройство ввода информации, аналогичное мыши;
-
- область загрузки и выгрузки пластин содержит автоматическое устройство (робот), который осуществляет загрузку и выгрузку пластин, а также кассеты для хранения пластин, как подготовленных для измерения, так и уже его прошедших;
-
- видеодисплей, на котором отображаются процесс измерений и его результаты;
-
- персональный встроенный компьютер, размещенный в приборном шкафу под консолью оператора.
Нанесения знака поверки на установку не предусмотрено. Знак поверки наносится на паспорт и/или свидетельство о поверке в соответствии с действующим законодательством.
Общий вид установки представлен на рисунке 1.
Видеодисплей
Консоль
Область
оператора
загрузки и вывода пластин
Приборный шкаф
--
Приборный шкаф
Рисунок 1 - Общий вид установки для измерения размеров частиц на поверхности пластин
Surfscan SP1TBI
Заводской номер имеет буквенно-цифровое обозначение 0207-1122-R, нанесен в виде штампованной бирки на корпусе установки в месте, указанном на рисунке 2. Знак утверждения типа нанесен на лицевую сторону установки в месте, указанном на рисунке 2. Место пломбировки установки находится за защитной крышкой приборного шкафа и приведено на рисунке 3.

Место нанесения
знака утверждения
типа
Conforms to UL Std 3101-
Surf«on$p(,
ETL LISTED ELECTRICAL EQUIPMENT FOR LABORATORY USE PART 1: GENERAL REQUIREMENTS
f’KJRUARY 2007
A62
Инв.№ 002160319
CLASS 1
LASER PRODUCT
Voltage: 208-240,1 Phase
Wiring Configuration: 2 Wire + Ground
Frequency: 50/60 Hz
Full Load Amps: 24A
Machine Main Breaker Rating: зол Ampere Rating of Largest Load: 12A (Laser) Interrupt Current: 10,000 A.I.C
Diagram Number: 545023-07
^^KL^Yencor
^Вве Technology Drive V^fltas. CA 95035
Model: spi-tbi'4‘
Serial No: 0207-1 122-R
KLA-Tencor™ Corporation One Technology Drive Milpitas, California 95035 Manufactured
у
* tr
This product conforms to the applicable requirements of 21 CFR Subchapter J.
Место нанесения штампованной бирки
Рисунок 2 - Место нанесения штампованной бирки с указанием заводского номера установки и знака утверждения типа

MASTER PWR .CONTROL
Место
пломбировки
Рисунок 3 - Место пломбировки установки
Таблица 4 -
Наименование |
Обозначение |
Количество |
Установка для измерения размеров частиц на поверхности пластин Surfscan SP1TBI |
заводской номер 0207-1122-R |
1 шт. |
Кремниевые пластины диаметром 200 мм |
- |
3 шт. |
SMIF-контейнер М200-Е011 |
- |
1 шт. |
Кассета КА198-80МВ-47С02 |
- |
1 шт. |
Руководство по эксплуатации |
- |
1 экз. |
Методика поверки |
- |
1 экз. |
Таблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристики |
Значение |
Диапазон измерений размеров частиц, мкм |
от 0,1 до 1,00 |
Пределы допускаемого относительного среднеквадратического отклонения (ОСКО) случайной составляющей погрешности измерения размеров частиц, %:
|
± 2 ± 5 |
Пределы допускаемой относительной систематической составляющей погрешности измерений размеров частиц в диапазоне размеров от 0,1 до 1,0 мкм включ, % |
± 10 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
Наименование характеристики |
Значение |
Габаритные размеры, мм, не более |
1850x1300x1260 |
Масса, кг, не более |
760 |
Условия эксплуатации:
|
от +20 до +24 от 30 до 50 от 94 до 106 ±1 |