Номер по Госреестру СИ: 52430-13
52430-13 Преобразователи вибрации переменной емкости микроэлектромеханические одноосевые
(7500, 7521, 7600, 7700)
Назначение средства измерений:
Преобразователи вибрации переменной ёмкости микроэлектромеханические одноосевые серий 7500, 7521, 7600, 7700 предназначены для преобразования механических колебаний различных машин и агрегатов в электрические сигналы с целью измерений характеристик вибрационных процессов (виброускорения, ударных импульсов подшипников, кавитации в насосах, и т.п.)
Внешний вид.
Преобразователи вибрации переменной емкости микроэлектромеханические одноосевые
Рисунок № 1
Внешний вид.
Преобразователи вибрации переменной емкости микроэлектромеханические одноосевые
Рисунок № 2
Внешний вид.
Преобразователи вибрации переменной емкости микроэлектромеханические одноосевые
Рисунок № 3
Внешний вид.
Преобразователи вибрации переменной емкости микроэлектромеханические одноосевые
Рисунок № 4
Знак утверждения типа
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийРуководство по эксплуатации
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к преобразователям вибрации переменной ёмкости микроэлектромеханическим одноосевым серий 7500, 7521, 7600В, 7700
Техническая документация фирмы «Dytran Instruments, Inc.».
Лист № 5 всего листов 5
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 52430-13 «Преобразователи вибрации переменной ёмкости микроэлектромеханические одноосевые серий 7500, 7521, 7600, 7700. Методика поверки», разработанному и утверждённому ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» 20.11.2012 г.
Основные средства поверки: поверочная виброустановка второго разряда по МИ 207090.
Заявитель
Фирма ООО «Сертифицированный Инжиниринговый Центр» Адрес: 125373, г. Москва, Походный проезд, д. 4, корп. 1, офис 205Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений (ГЦИ СИ) ФГУП «ВНИИМС»
Принцип действия преобразователей вибрации переменной ёмкости микроэлектроме-ханических одноосевых основан на использовании МЭМС-технологии (микроэлектромехани-ческие системы) - это устройства, объединяющие в себе микроэлектронные и микромеханиче-ские компоненты. МЭМС-преобразователи изготовлены на кремниевой подложке с помощью технологии микрообработки, аналогично технологии изготовления интегральных микросхем. Преобразователи вибрации переменной ёмкости микроэлектромеханические одноосевые представляет собой функционально законченный модуль, объединяющий в своей конструкции жёсткий корпус с заключённым внутри него чувствительным элементом и электронной схемой. Чувствительный элемент является составной частью конденсатора переменной ёмкости, который под воздействием измеряемого ускорения изменяет своё положение в пространстве, изменяя тем самым ёмкость конденсатора и частоту связанного с ним генератора. Эти изменения демодулируются в выходной сигнал, пропорциональный измеряемому ускорению. Данные преобразователи относятся к преобразователям параметрического типа, т.е. имеют нижнюю граничную частоту, равную нулю. На корпусе преобразователя установлен электрический разъём для передачи по кабелю сигнала на внешний контроллер.
Внешний вид преобразователей вибрации переменной ёмкости микроэлектромехани-ческих одноосевых показан на рисунках 1 - 5.
Рисунок 1 - Внешний вид преобразователей вибрации переменной ёмкости микроэлек-тромеханических одноосевых серии 7500.
Рисунок 2 - Внешний вид преобразователей вибрации переменной ёмкости микроэлек-тромеханических одноосевых серии 7521.
Рисунок 3 - Внешний вид преобразователей вибрации переменной ёмкости микроэлек-тромеханических одноосевых серии 7600.
Рисунок 4 - Внешний вид преобразователей вибрации переменной ёмкости микроэлек-тромеханических одноосевых серии 7700.