Номер по Госреестру СИ: 52041-12
52041-12 Течеискатель гелиевый
(HLT-560)
Назначение средства измерений:
Течеискатель гелиевый HLT-560 (далее - течеискатель) предназначен для измерения потоков гелия при контроле герметичности микросхем масс-спектрометрическим методом.
Внешний вид.
Течеискатель гелиевый
Рисунок № 1
Внешний вид.
Течеискатель гелиевый
Рисунок № 2
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 141767
ID в реестре СИ - 364167
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Модификации СИ
Течеискатель гелиевый HLT-560,
Производитель
Изготовитель - Фирма "Pfeiffer Vacuum GmbH"
Страна - ГЕРМАНИЯ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Бесплатный
Статистика
Кол-во поверок - 1
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 1
Кол-во средств измерений - 1
Кол-во владельцев - 1
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№42 от 2020.01.21 О переоформлениии свидетельства об утверждении типа и внесении изменений в описание типа Экспресс-анализаторы параметров крови портативные multiCare-in
№1101 от 2012.12.09 Об утверждении типов средств измерений (Регистрационный номер в Гос.реестре СИ 52038-12 по 52041-12)
№1437 от 2018.07.09 О продлении срока действия свидетельств об утверждении типа средств измерений
Наличие аналогов СИ: Течеискатель гелиевый (HLT-560)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Фирма "Pfeiffer Vacuum GmbH"
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
48957-12 |
Вакуумметр тепловой, TPG 201 Фирма "Pfeiffer Vacuum GmbH" (ГЕРМАНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
48958-12 |
Вакуумметр тепловой, TPR 280 Фирма "Pfeiffer Vacuum GmbH" (ГЕРМАНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
52041-12 |
Течеискатель гелиевый, HLT-560 Фирма "Pfeiffer Vacuum GmbH" (ГЕРМАНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
69548-17 |
Течеискатель масс-спектрометрический гелиевый, HLT 570 Фирма "Pfeiffer Vacuum GmbH" (ГЕРМАНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
Отчет IS_5 представляет собой мощный инструмент, позволяющий получить сводную информацию по сфере ОЕИ и соотношении между импортными, отечественными и недружественными СИ по группам средств измерений (более 10 тыс. групп). Отчет позволяет оперативно выделить группы средств измерений, имеющих проблемы с импортозамещением и наличием отечественных аналогов.
Для построения отчета необходимо предварительно сконфигурировать параметры его отображения: выбрать год (2019-2022), объём списка анализируемых групп СИ (урезанный, умеренный или расширенный), тип поверок (все поверки или только первичные) и минимальное количество поверок по группе СИ (группы с меньшим количеством поверок отображаться не будут). Результаты обработки данных будут представлены в табличной форме. Таблица обладает функцией поиска и сортировки по любой из колонок.
Таблица содержит 13 колонок:
- Наименование группы СИ
- Количество отечественных производителей в штуках и процентах
- Количество отечественных типов СИ в штуках и процентах
- Количество поверок по отечественным СИ (всех или первичных в штуках)
- Количество поверок по отечественным СИ (всех или первичных в %)
- Количество импортных производителей в штуках и процентах
- Количество импортных типов СИ в штуках и процентах
- Количество поверок по импортным СИ (всех или первичных в штуках)
- Количество поверок по импортным СИ (всех или первичных в %)
- Количество производителей из недружественных стран в штуках и процентах
- Количество недружественных типов СИ в штуках и процентах
- Количество поверок по недружественных СИ (всех или первичных в штуках)
- Количество поверок по недружественных СИ (всех или первичных в %)
Список дружественных и недружественных стран сформирован в соответствии с Распоряжением Правительства РФ от 05.03.2022 N 430-р <Об утверждении перечня иностранных государств и территорий, совершающих недружественные действия в отношении Российской Федерации, российских юридических и физических лиц>.
Кто поверяет Течеискатель гелиевый (HLT-560)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2025 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 |
Стоимость поверки Течеискатель гелиевый (HLT-560)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Программное обеспечение (ПО) «SmartTest HLT 560» предназначено только для работы с течеискателем и не может быть использовано отдельно от измерительно-вычислительной платформы течеискателя.
Влияние метрологически значимой части ПО на метрологические характеристики те-чеискателя не выходит за пределы согласованного допуска.
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.
Таблица 1
|
Наименование ПО |
Идентификационное наименование ПО |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления идентификатора ПО |
|
ПО управления течеиска-телем и обработки результатов измерений |
«SmartTest HLT 560» |
7.50 |
E628711208C79773A D6FBCBBAE8 |
ГОСТ Р34.11-94 |
Метрологически значимая часть ПО течеискателя и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений. Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «А» по МИ 3286-2010.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типаЗнак утверждения типа наносится на лицевую панель течеискателя в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийТечеискатель гелиевый HLT-560. АЕСН. 440224.002. Руководство по эксплуатации.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к течеискателю гелиевому HLT-560-
1 ГОСТ 28517-90 «Контроль неразрушающий. Масс-спектрометрический метод течеи-скания. Общие требования».
-
2 ГОСТ Р 53177-2008 «Вакуумная техника. Определение характеристик масс-спектрометрического метода контроля герметичности».
-
3 Течеискатель гелиевый HLT-560. АЕСН. 440224.002 РЭ. Руководство по эксплуатации.
Поверка
Поверкаосуществляется по документу «Инструкция. Течеискатель гелиевый HLT-560. Методика поверки. АЕСН.440224.002 МП», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» 14.08.2012 г .
Основные средства поверки:
-
- меры потока (течи гелиевые) Гелит 1, Гелит 2 (значение воспроизводимого потока при температуре (27 ± 0,5) 0С, м3\Па/с, Гелит 1 (от 7*10-10 до 2*10-8), Гелит 2 (от 3*10-11 до 7*10-10); пределы относительной погрешности воспроизведения потока, Гелит 1 - ± 15 %), Ге-лит 2 - ± 20 %).
Заявитель
Закрытое акционерное общество «Зеленоградский нанотехнологический центр» (ЗАО «ЗНТЦ»)Адрес: 124498, г. Москва (г. Зеленоград), проезд 4806, д. 5, стр. 23
Тел/факс: (499)720-69-44/(499)720-69-69 E-mail: www.zntc.ru
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений открытое акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ»)Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1,
Тел./Факс (495) 935-97-77, E-mail: nicpv@mail.ru
Течеискатель гелиевый HLT-560 представляет собой тестовую камеру из специально обработанного алюминиевого сплава, обладающим стойкостью к сорбции атомов гелия в течение длительного периода. Камера используется с фланцевым фитингом, имеет внутренний диаметр 150 мм, глубину 75 мм, и съемную крышку с «О»-образным уплотнителем.
Принцип работы течеискателя состоит в масс-спектрографическом детектировании атомов гелия или фторуглерода при создании высокого вакуума в тестовой камере. При наличии атомов тестового газа в откачиваемой среде делается вывод о негерметичности тестируемого изделия.
Течеискатель оборудован современными электронными и электрическими компонентами (управляемым микропроцессором). Поэтому все процессы в приборе управляются автоматически.
Конструктивно течеискатель выполнен в виде настольного моноблочного прибора. Органы управления и подстыковочные разъемы расположены на передней и задней панели соответственно. Внешний вид течеискателя приведен на рисунке 1.
4
Рисунок 1 - Общий вид
*) Места для пломбировки от несанкционированного доступа. **) Места для нанесения наклеек.
(1 - подключение объектов тестирования, 2 - задняя сторона с сетевыми подключениями, интерфейсами, подключениями для дистанционного контроля, зонд течеискателя и вентиляция, 3 - дисплей и контрольный блок, 4 - динамик, 5 - отверстие для притока свежего воздуха, 6 -отверстие для отвода отработанных газов)
Комплект поставки включает:
- течеискатель гелиевый HLT-560 - 1 шт.;
- комплект эксплуатационной документации (Течеискатель гелиевый HLT-560. АЕСН.440224.002 ФО. Формуляр; Течеискатель гелиевый HLT-560. АЕСН.440224.002 РЭ. Руководство по эксплуатации) - 1 комплект;
-
- методика поверки - 1 шт.
Основные метрологические и технические характеристики течеискателя приведены в
таблицах 2 и 3.
Таблица 2 - Основные метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Режимы работы установки |
Режим вакуума Режим анализа |
|
Для режима вакуума | |
|
Диапазон измерений утечки газов, м3\Па/с: 4He |
от 5*10’12 до 1 |
|
3He |
от 5х10’10 до 1Х10’2 |
|
H2 |
от 5х10-8 до 1х10-2 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений утечки газов, % |
± 20 |
|
Для режима анализа | |
|
Диапазон измерений утечки газов, м^Па/с: 4He |
от 5х10-8 до 1 |
|
3He, H2 |
от 5х10-8 до 1х10-2 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений утечки газов, % |
± 15 |
Таблица 3 - Габаритные размеры, масса и эксплуатационные характеристики течеиска-
теля
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Габаритные размеры (длина x ширина x высота), мм |
550x460x304 |
|
Масса, кг |
44 |
|
Рабочий диапазон температур окружающей среды, °С |
от 10 до 35 |
|
Относительная влажность воздуха при температуре 20 °С, % |
до 85 |
|
Атмосферное давление, кПа |
от 97 до 105 |
|
Напряжение питания от сети переменного тока частотой 50 Гц, В |
220 ± 22 |
|
Потребляемая мощность, В •А, не более |
400 |