Номер по Госреестру СИ: 52041-12
52041-12 Течеискатель гелиевый
(HLT-560)
Назначение средства измерений:
Течеискатель гелиевый HLT-560 (далее - течеискатель) предназначен для измерения потоков гелия при контроле герметичности микросхем масс-спектрометрическим методом.
Внешний вид.
Течеискатель гелиевый
Рисунок № 1
Внешний вид.
Течеискатель гелиевый
Рисунок № 2
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 141767
ID в реестре СИ - 364167
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Модификации СИ
Течеискатель гелиевый HLT-560,
Производитель
Изготовитель - Фирма "Pfeiffer Vacuum GmbH"
Страна - ГЕРМАНИЯ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Каталог СИ, используемый в сервисе ОЕИ-Аналитика имеет трехуровневую структуру вида: области измерений (более 20), разделы областей измерений (более 250) и группы СИ (более 10 тыс.). При разработке каталога были использованы как существующие кодификаторы: МИ 2803-2014, МИ 2314-2006, МИ 2314-2022, так и собственные наработки. Перед применением каталог был адаптирован и обогащен данными из реального реестра, утвержденных типов СИ ФГИС АРШИН.
Отчет "Количество типов средств измерений в ФГИС АРШИН по областям измерений" предназначен для сравнительного анализа количества утвержденных типов средств измерений, приходящихся на различные области измерений. Отчет состоит из четырех графиков (одной круговой и трех столбчатых диаграмм) и двух интерактивных таблиц. Таблицы обладают функцией поиска и сортировки по любой из колонок.
Стоит отметить, что отнесение того или иного типа СИ к области измерений осуществляется не вручную, а с использованием специального программного алгоритма по ключевым словосочетаниям. При таком подходе качество распределения СИ и покрытие реестра типов СИ АРШИНА зависит от качества, предложенных словосочетаний. По этой причине 20% типов СИ, занесённых в АРШИН автоматически распределить не удалось, что не должно существенно отразиться на процентном соотношении или пропорции между областями измерений.
На круговой диаграмме показано количественное соотношение между областями измерений по количеству утвержденных типов СИ. Ввиду того, что некоторые типы СИ могут входить в разные области измерений, суммарное количество типов СИ, приведенных на диаграмме будет превышать кол-во типов СИ, представленных в ФГИС АРШИН. Как и следовало ожидать, самые большие пропорции занимают классические области измерений (ИЗМЕРЕНИЯ ЭЛЕКТРОТЕХНИЧЕСКИХ И МАГНИТНЫХ ВЕЛИЧИН, ИЗМЕРЕНИЯ ФИЗИКОХИМИЧЕСКОГО СОСТАВА И СВОЙСТВ ВЕЩЕСТВ и т.д.) в отличии от узкоспециализированных (СЧЕТЧИКИ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ЭНЕРГИИ, СИ БИОАНАЛИЗА и др.)
В отличии от круговой диаграммы столбчатая демонстрирует тоже разделение типов СИ по областям измерений, но уже в динамике по годам начиная с 2000 года. Дополнительно, в отдельные графики вынесены такие специализированные и социально важные области измерений как СЧЕТЧИКИ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ЭНЕРГИИ и БЫТОВЫЕ СЧЕТЧИКИ ВОДЫ.
Статистика
Кол-во поверок - 1
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 1
Кол-во средств измерений - 1
Кол-во владельцев - 1
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№42 от 2020.01.21 О переоформлениии свидетельства об утверждении типа и внесении изменений в описание типа Экспресс-анализаторы параметров крови портативные multiCare-in
№1101 от 2012.12.09 Об утверждении типов средств измерений (Регистрационный номер в Гос.реестре СИ 52038-12 по 52041-12)
№1437 от 2018.07.09 О продлении срока действия свидетельств об утверждении типа средств измерений
Наличие аналогов СИ: Течеискатель гелиевый (HLT-560)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Фирма "Pfeiffer Vacuum GmbH"
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
48957-12 |
Вакуумметр тепловой, TPG 201 Фирма "Pfeiffer Vacuum GmbH" (ГЕРМАНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
48958-12 |
Вакуумметр тепловой, TPR 280 Фирма "Pfeiffer Vacuum GmbH" (ГЕРМАНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
52041-12 |
Течеискатель гелиевый, HLT-560 Фирма "Pfeiffer Vacuum GmbH" (ГЕРМАНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
69548-17 |
Течеискатель масс-спектрометрический гелиевый, HLT 570 Фирма "Pfeiffer Vacuum GmbH" (ГЕРМАНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
Отчет позволяет оценить какими эталонами поверяется конкретный тип СИ в различных организациях.
Выводится список эталонов и организаций, а также, количество поверок, выполненных эталоном, выбранного типа СИ
Анализируемый период: 01.01.2020 - н.в.
Анализ проводится по ГЭТ, аттестованным эталонам или СИ, применяемым в качестве эталонов.
Кто поверяет Течеискатель гелиевый (HLT-560)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2025 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 |
Стоимость поверки Течеискатель гелиевый (HLT-560)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Программное обеспечение (ПО) «SmartTest HLT 560» предназначено только для работы с течеискателем и не может быть использовано отдельно от измерительно-вычислительной платформы течеискателя.
Влияние метрологически значимой части ПО на метрологические характеристики те-чеискателя не выходит за пределы согласованного допуска.
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.
Таблица 1
|
Наименование ПО |
Идентификационное наименование ПО |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления идентификатора ПО |
|
ПО управления течеиска-телем и обработки результатов измерений |
«SmartTest HLT 560» |
7.50 |
E628711208C79773A D6FBCBBAE8 |
ГОСТ Р34.11-94 |
Метрологически значимая часть ПО течеискателя и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений. Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «А» по МИ 3286-2010.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типаЗнак утверждения типа наносится на лицевую панель течеискателя в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийТечеискатель гелиевый HLT-560. АЕСН. 440224.002. Руководство по эксплуатации.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к течеискателю гелиевому HLT-560-
1 ГОСТ 28517-90 «Контроль неразрушающий. Масс-спектрометрический метод течеи-скания. Общие требования».
-
2 ГОСТ Р 53177-2008 «Вакуумная техника. Определение характеристик масс-спектрометрического метода контроля герметичности».
-
3 Течеискатель гелиевый HLT-560. АЕСН. 440224.002 РЭ. Руководство по эксплуатации.
Поверка
Поверкаосуществляется по документу «Инструкция. Течеискатель гелиевый HLT-560. Методика поверки. АЕСН.440224.002 МП», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» 14.08.2012 г .
Основные средства поверки:
-
- меры потока (течи гелиевые) Гелит 1, Гелит 2 (значение воспроизводимого потока при температуре (27 ± 0,5) 0С, м3\Па/с, Гелит 1 (от 7*10-10 до 2*10-8), Гелит 2 (от 3*10-11 до 7*10-10); пределы относительной погрешности воспроизведения потока, Гелит 1 - ± 15 %), Ге-лит 2 - ± 20 %).
Заявитель
Закрытое акционерное общество «Зеленоградский нанотехнологический центр» (ЗАО «ЗНТЦ»)Адрес: 124498, г. Москва (г. Зеленоград), проезд 4806, д. 5, стр. 23
Тел/факс: (499)720-69-44/(499)720-69-69 E-mail: www.zntc.ru
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений открытое акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ»)Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1,
Тел./Факс (495) 935-97-77, E-mail: nicpv@mail.ru
Течеискатель гелиевый HLT-560 представляет собой тестовую камеру из специально обработанного алюминиевого сплава, обладающим стойкостью к сорбции атомов гелия в течение длительного периода. Камера используется с фланцевым фитингом, имеет внутренний диаметр 150 мм, глубину 75 мм, и съемную крышку с «О»-образным уплотнителем.
Принцип работы течеискателя состоит в масс-спектрографическом детектировании атомов гелия или фторуглерода при создании высокого вакуума в тестовой камере. При наличии атомов тестового газа в откачиваемой среде делается вывод о негерметичности тестируемого изделия.
Течеискатель оборудован современными электронными и электрическими компонентами (управляемым микропроцессором). Поэтому все процессы в приборе управляются автоматически.
Конструктивно течеискатель выполнен в виде настольного моноблочного прибора. Органы управления и подстыковочные разъемы расположены на передней и задней панели соответственно. Внешний вид течеискателя приведен на рисунке 1.
4
Рисунок 1 - Общий вид
*) Места для пломбировки от несанкционированного доступа. **) Места для нанесения наклеек.
(1 - подключение объектов тестирования, 2 - задняя сторона с сетевыми подключениями, интерфейсами, подключениями для дистанционного контроля, зонд течеискателя и вентиляция, 3 - дисплей и контрольный блок, 4 - динамик, 5 - отверстие для притока свежего воздуха, 6 -отверстие для отвода отработанных газов)
Комплект поставки включает:
- течеискатель гелиевый HLT-560 - 1 шт.;
- комплект эксплуатационной документации (Течеискатель гелиевый HLT-560. АЕСН.440224.002 ФО. Формуляр; Течеискатель гелиевый HLT-560. АЕСН.440224.002 РЭ. Руководство по эксплуатации) - 1 комплект;
-
- методика поверки - 1 шт.
Основные метрологические и технические характеристики течеискателя приведены в
таблицах 2 и 3.
Таблица 2 - Основные метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Режимы работы установки |
Режим вакуума Режим анализа |
|
Для режима вакуума | |
|
Диапазон измерений утечки газов, м3\Па/с: 4He |
от 5*10’12 до 1 |
|
3He |
от 5х10’10 до 1Х10’2 |
|
H2 |
от 5х10-8 до 1х10-2 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений утечки газов, % |
± 20 |
|
Для режима анализа | |
|
Диапазон измерений утечки газов, м^Па/с: 4He |
от 5х10-8 до 1 |
|
3He, H2 |
от 5х10-8 до 1х10-2 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений утечки газов, % |
± 15 |
Таблица 3 - Габаритные размеры, масса и эксплуатационные характеристики течеиска-
теля
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Габаритные размеры (длина x ширина x высота), мм |
550x460x304 |
|
Масса, кг |
44 |
|
Рабочий диапазон температур окружающей среды, °С |
от 10 до 35 |
|
Относительная влажность воздуха при температуре 20 °С, % |
до 85 |
|
Атмосферное давление, кПа |
от 97 до 105 |
|
Напряжение питания от сети переменного тока частотой 50 Гц, В |
220 ± 22 |
|
Потребляемая мощность, В •А, не более |
400 |