Номер по Госреестру СИ: 69548-17
69548-17 Течеискатель масс-спектрометрический гелиевый
(HLT 570)
Назначение средства измерений:
Течеискатель масс-спектрометрический гелиевый HLT 570 (далее по тексту -течеискатель) предназначен для измерений потоков гелия при проведении неразрушающего контроля герметичности, обнаружения мест нарушения герметичности различных систем и объектов, допускающих откачку внутренней полости, заполнение гелием или смесью газов, содержащих гелий.

Внешний вид.
Течеискатель масс-спектрометрический гелиевый
Рисунок № 1

Внешний вид.
Течеискатель масс-спектрометрический гелиевый
Рисунок № 2

Внешний вид.
Течеискатель масс-спектрометрический гелиевый
Рисунок № 3
Программное обеспечение
Течеискатель имеет встроенное программное обеспечение (ПО), разработанное изготовителем специально для решения задач измерения потоков гелия при проведении неразрушающего контроля герметичности, обнаружения мест нарушения герметичности различных систем и объектов, допускающих откачку внутренней полости или заполнение её гелием, либо смесью газов, содержащих гелий.
ПО служит для управления работой течеискателя. ПО выполняет следующие функции:
- управление работой вакуумной системы течеискателя (работой вакуумных насосов, клапанов) и масс-спектрометрического анализатора (определение чувствительности, настройка на пик гелия);
- прием и обработка измерительной информации от модуля масс-спектрометрического анализатора;
- формирование выходных сигналов, передача их на ЖК-дисплей течеискателя;
- автоматическая диагностика состояния течеискателя.
Информация о версии ПО доступна через меню прибора: номер версии отображается на дисплее течеискателя.
Влияние встроенного ПО течеискателей учтено при нормировании метрологических характеристик. Уровень защиты ПО от преднамеренных или непреднамеренных изменений течеискателей - «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные встроенного ПО представлены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные встроенного ПО
Идентификационные данные (признаки) ПО |
Значение |
Идентификационное наименование ПО |
MC68 SW |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
не ниже 2.32 |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
B35Chex (CRC16) |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации и методом наклейки или иным методом на корпус течеискателя.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений приведены в эксплуатационном документе.Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к течеискателю масс-спектрометрическому гелиевому HLT 570ГОСТ 28517-90 Контроль неразрушающий. Масс-спектрометрический метод течеискания. Общие требования
ГОСТ Р 53177-2008 Вакуумная техника. Определение характеристик масс-спектрометрического метода контроля герметичности
Техническая документация фирмы «Pfeiffer Vacuum GmbH», Германия
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 231-0041-2017 «Течеискатель масс-спектрометрический гелиевый HLT 570. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» 01.06.2017 г.
Основные средства поверки:
Государственный вторичный (рабочий) эталон единицы потока газа в вакууме в диапазоне 10-12 - 1 Па^м3/с ГВЭТ 49-2-2006, СКО: в диапазоне от 10-12 до 10-9 Па^м3/с не более (0,1 - 0,015); в диапазоне свыше 10-9 до 1 Па^м3/с не более 0,015.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на корпус течеискателя, если это позволяют условия эксплуатации и (или) на свидетельство о поверке.
Изготовитель
Фирма «Pfeiffer Vacuum GmbH», Германия Адрес: Berliner Strasse 43, 35614 Asslar, GermanyWeb-сайт: www.pfeiffer-vacuum.com
Заявитель
Акционерное общество «Российский научно-исследовательский институт «Электронстандарт» (АО «РНИИ «Электронстандарт»)ИНН 7810196298 Адрес:196084, г. Санкт-Петербург, ул. Цветочная, д. 25, к. 3 Телефон: (812) 676-29-29, факс: (812) 676-29-64
Web-сайт: www. el standart.spb. ru
E-mail: info@elstandart.spb.ru
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт метрологии им. Д.И. Менделеева»Адрес: 190005, Санкт-Петербург, Московский пр., д.19
Телефон: (812) 251-76-01, факс: (812) 713-01-14
Web-сайт: www.vniim.ru
E-mail: info@vniim.ru
Течеискатель представляет собой высокочувствительный магнитный масс-спектрометр, настроенный на регистрацию потока пробного газа (гелия). Натекание (утечка) определяется потоком гелия, проникающего в испытуемый объём при вакуумных испытаниях, или вытекающего из испытуемого объёма при избыточном давлении в нём.
В корпусе течеискателя находятся масс-спектрометрический анализатор, настроенный на регистрацию ионов гелия в качестве пробного газа, вакуумная система в сборе, высоковакуумный насос. Подключение испытуемого объекта к вакуумной системе течеискателя осуществляется с помощью присоединительного фланца (испытательный порт), расположенного на верхней панели корпуса течеискателя. Молекулы газа, попадая в масс-спектрометр ионизируются ионным источником. Данные положительно заряженные частицы ускоряются в магнитном поле по окружности, радиус которой зависит от относительной атомной массы иона. При выборе массы гелия (по умолчанию) только ионы гелия могут проходить через фильтр и достигать ионного коллектора, на котором измеряется поток ионов, в виде электрического сигнала. При выборе другой массы, изменяется проводимость ионного фильтра на выбранный газ.
Управление работой течеискателя и цифровой контроль результатов измерений осуществляется с помощью панели управления, состоящей из ЖК-дисплея и функциональных кнопок.
Течеискатель может применяться для обнаружения мест нарушения герметичности различных систем и объектов, допускающих откачку внутренней полости или заполнение её гелием, либо смесью газов, содержащих гелий. Также в течеискателе реализован режим поиска течей способом щупа. Течеискатель оснащен двухступенчатым мембранным насосом.
Пломбировка корпуса течеискателя не предусмотрена.
Внешний вид и место нанесения знака поверки течеискателя приведены на рисунке 1. На рисунке 2 изображена задняя панель течеискателя на которой расположена наклейка с маркировкой и заводским номером, изображенная на рисунке 3.
Место знака
поверки

Рисунок 1 - Внешний вид течеискателя


Рисунок 3 - Наклейка с маркировкой и заводским номером течеискателя
Таблица 2 - Метрологические характеристики течеискателя
Наименование характеристики |
Значения |
Диапазон измерений потока газа в вакууме по входу течеискателя, Па^м3/с* |
от 140-12 до 140-5 |
Диапазон показаний потока газа в вакууме по входу течеискателя, Па^м3/с* |
от 540-13 до 1-10’1 |
Диапазон показаний потока газа в вакууме при работе способом щупа, Па^м3/с |
от 140-9 до 1-10-1 |
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений, % от измеряемой величины (где Qhhh - значение нижнего предела измерений, Qkjm - значение измеренного потока, Па^м3/с) |
±(0,15 + ^^нпи/^^изм)^ 100 |
* Производная единица величины потока газа в вакууме П с п.5.2.1. ГОСТ 8.417-2002 на основании уравнения из уравнения состояния идеального газа. |
а^м3/с образована в соответствии вязи (измерений), полученного |
Таблица 3 - Основные технические характеристики течеискателя
Наименование характеристики |
Значения |
Время установления выходного сигнала, мин, не более |
3 |
Питание от сети переменного тока - напряжение, В |
230±23 |
- частота, Гц |
50±1 |
Габаритные размеры, мм, не более - высота |
304 |
- ширина |
460 |
- длина |
550 |
Масса, кг, не более |
44 |
Потребляемая мощность, В • А, не более |
300 |
Средняя наработка до метрологического отказа, ч |
15000 |
Средний срок службы, лет |
10 |
Условия эксплуатации: - диапазон рабочих температур окружающего воздуха, °С |
от +10 до +35 |
- относительная влажность воздуха (без конденсации), %, не более |
80 |
- атмосферное давление, кПа |
от 84,0 до 106,7 |