Номер по Госреестру СИ: 51413-12
51413-12 Микроскоп электронный просвечивающий
(JEM-2100)
Назначение средства измерений:
Микроскоп электронный просвечивающий JEM-2100 (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров деталей структуры тонкопленочных объектов.
Внешний вид.
Микроскоп электронный просвечивающий
Рисунок № 1
Программное обеспечение
Управление микроскопом осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.
Таблица 1.
Наименование ПО |
Идентификационное наименование ПО |
Номер версии ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений |
TEM Basic Sys tem V 2.8.0 VEM0434-090 |
2.8.0 |
71D14355FFFAA96 5D100F75272C1378 ACDCCDBC3A237 D2A23939D708C72 44D32 |
ГОСТ Р 34.11-94 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типаЗнак утверждения типа наносится в виде наклейки на электронно-оптическую колонну микроскопа и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
Техническое описание «Микроскоп электронный просвечивающий JEM-2100 фирмы «JEOL», Япония»
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопу электронному просвечивающему JEM-2100Т ехническая документация фирмы—изготовителя «JEOL», Япония.
Заявитель
Открытое акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума».Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1.
Тел./Факс: (495) 935-97-77. E-mail: fgupnicpv@mail.ru
Испытательный центр
ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ», аттестат аккредитации № 30036-10.
Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1.
Тел./Факс: (495) 935-97-77. E-mail: fgupnicpv@mail.ru
Принцип действия микроскопа основан на том, что электроны, испускаемые катодом, ускоряются электронной пушкой и сводятся в пучок, который дополнительно фокусируется конденсорными линзами и проецируется на объект. При прохождении через объект параллельного пучка быстрых электронов происходит их рассеяние на неоднородностях структуры или состава исследуемого объекта. В плоскости изображения объективной линзы, расположенной непосредственно за образцом, формируется действительное изображение объекта, а в ее фокальной плоскости формируется дифракционная картина, каждая точка которой соответствует определенному углу выхода электронов из образца.
Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную многофункциональную измерительную систему, в состав которой входят: электронно-оптическая колонна; светло-темнопольный детектор электронов; широкоугловой темнопольный детектор; рабочий стол с блоками управления электроники, который вместе с электронно-оптической колонной образует главную консоль прибора; вакуумная система с отдельно расположенным форвакуумным механическим насосом; стабилизированный источник высокого напряжения; компрессор сжатого воздуха для управления пневмоклапанами; рабочая станция микроскопа на базе специализированного компьютера; система замкнутого водяного охлаждения; программное обеспечение для управления микроскопом; комплект запчастей и расходных материалов.
Электронно-оптическая колонна содержит электронную пушку и три блока электронных линз (осветительный, формирующий изображение и проекционный). Первый из них составлен из двух линз. Основным элементом второго блока является объективная линза, в которую путем шлюзования вводится объектодержатель с объектом. Объективная линза дополнена управляемой диафрагмой. Блок, формирующий изображение, содержит промежуточные линзы, позволяющие, получать картины электронной дифракции. Блок проекционных линз обеспечивает требуемое увеличение изображений.
На нижней части колонны установлена камера с флуоресцентным экраном, в которой выполнены окна для наблюдения изображения. Над центральным окном установлен оптический бинокулярный микроскоп, который обеспечивает просмотр фрагментов изображения на экране и фокусировку.
Управление работой микроскопа осуществляется с помощью рабочей станции на базе специализированного компьютера.
При работе микроскопа обеспечиваются безопасные условия труда оператора. При максимальных значениях ускоряющего напряжения и тока зонда мощность эквивалентной дозы рентгеновского излучения в любой доступной точке на расстоянии 10 см от поверхности колонны и камеры объектов микроскопа не превышает 1 мкЗв/ч.
Рис.1. Общий вид микроскопа электронного просвечивающего JEM-2100
В комплект поставки входят: микроскоп электронный просвечивающий JEM-2100, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.
приведены в Таблице 2.
Таблица 2.
Наименование характеристики |
Значение |
Диапазон измерений линейных размеров, мкм |
от 0,003 до 50 |
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, %: - в диапазоне от 0,003 до 0,005 мкм |
±18 |
- в диапазоне от 0,005 до 0,015 мкм |
±11 |
- в диапазоне от 0,015 до 50 мкм |
±6 |
Диапазон регулировки увеличения, крат |
от 50 до 1500000 |
Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ |
от 80 до 200 |
Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50±1) Гц, В |
220+22-зз |
Потребляемая мощность, кВА |
10 |
Г абаритные размеры (длина х ширина х высота), мм |
2440х2250х1570 |
Масса, кг |
1900 |
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С |
20 ± 5 |
- относительная влажность воздуха, %, не более |
60 |
- атмосферное давление, кПа |
84-107 |