Сведения о средстве измерений: 51413-12 Микроскоп электронный просвечивающий

Номер по Госреестру СИ: 51413-12
51413-12 Микроскоп электронный просвечивающий
(JEM-2100)

Назначение средства измерений:
Микроскоп электронный просвечивающий JEM-2100 (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров деталей структуры тонкопленочных объектов.

сертификация программного обеспечения
Внешний вид. Микроскоп электронный просвечивающий, http://oei-analitika.ru рисунок № 1
Внешний вид.
Микроскоп электронный просвечивающий
Рисунок № 1

Общие сведения

Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 141020
ID в реестре СИ - 363420
Тип производства - единичное
Описание типа

Поверка

Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да

Модификации СИ

нет модификации, JEM-2100,

Производитель

Изготовитель - Фирма "Jeol"
Страна - ЯПОНИЯ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да

Отчет позволяет оценить частоту использования эталонов в РФ.
Период исследований: 01.01.2020 - н.в.
Анализ проводится по ГЭТ, аттестованным эталонам или СИ, применяемым в качестве эталонов.
Отчет будет особенно полезен при осуществлении надзорной деятельности.
Входными фильтрами являются: минимальное количество поверок в год, год исследования (с функцией множественного выбора) и вид эталона(с функцией множественного выбора).
В отчете присутствуют перекрестные ссылки на иные отчеты.

Стоимость 200 руб. или по подписке

Статистика

Кол-во поверок - 2
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 1
Кол-во средств измерений - 2
Кол-во владельцев - 2
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.

Наличие аналогов СИ: Микроскоп электронный просвечивающий (JEM-2100)

ИМПОРТНОЕ СИ
№ в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ
№ в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель

Все средства измерений Фирма "Jeol"

№ в реестре
cрок св-ва
Наименование СИ, обозначение, изголовитель ОТ, МП МПИ
18995-99

Масс-спектрометр с хроматографом "Jeol", JMS-D 300
Фирма "Jeol" (ЯПОНИЯ )
1 год
37836-08

Микроскоп электронный растровый, JSM-7401F
Фирма "Jeol" (ЯПОНИЯ )
ОТ
1 год
39763-08

Микроскоп электронный растровый, JSM-7001F
Фирма "Jeol" (ЯПОНИЯ )
ОТ
1 год
39772-08

Микроскоп электронный просвечивающий, JEM-2100F
Фирма "Jeol" (ЯПОНИЯ )
ОТ
1 год
50908-12

Микроскоп электронный растровый, JSM-6460LV
Фирма "Jeol" (ЯПОНИЯ )
ОТ
1 год
50909-12

Микроскоп электронно-ионный растровый, JIB-4500
Фирма "Jeol" (ЯПОНИЯ )
ОТ
1 год
51413-12

Микроскоп электронный просвечивающий, JEM-2100
Фирма "Jeol" (ЯПОНИЯ )
ОТ
1 год
61320-15
21.08.2025
Анализаторы биохимические автоматические, Bio Majesty JCA-BM6010/C
Фирма "Jeol" (ЯПОНИЯ )
ОТ
МП
1 год

Отчет позволяет оценить частоту использования эталонов в РФ.
Период исследований: 01.01.2020 - н.в.
Анализ проводится по ГЭТ, аттестованным эталонам или СИ, применяемым в качестве эталонов.
Отчет будет особенно полезен при осуществлении надзорной деятельности.
Входными фильтрами являются: минимальное количество поверок в год, год исследования (с функцией множественного выбора) и вид эталона(с функцией множественного выбора).
В отчете присутствуют перекрестные ссылки на иные отчеты.

Стоимость 200 руб. или по подписке

Кто поверяет Микроскоп электронный просвечивающий (JEM-2100)

Наименование организации Cтатус Поверенные модификации Кол-во поверок Поверок в 2024 году Первичных поверок Периодических поверок Извещений Для юриков Для юриков первичные Для юриков периодические
ООО "ИНЭКС СЕРТ"
(RA.RU.312302)
  • нет модификации
  • 1 0 1 0 1 0 1
    ОАО "НИЦПВ".
    (01.00317-2011)
  • JEM-2100
  • 1 0 0 0 0 0 0

    Стоимость поверки Микроскоп электронный просвечивающий (JEM-2100)

    Организация, регион Стоимость, руб Средняя стоимость

    Программное обеспечение

    Управление микроскопом осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).

    Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.

    Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.

    Таблица 1.

    Наименование ПО

    Идентификационное наименование ПО

    Номер версии

    ПО

    Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма)

    Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО

    Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений

    TEM Basic Sys

    tem V 2.8.0 VEM0434-090

    2.8.0

    71D14355FFFAA96

    5D100F75272C1378

    ACDCCDBC3A237

    D2A23939D708C72 44D32

    ГОСТ Р 34.11-94


    Знак утверждения типа

    Знак утверждения типа

    Знак утверждения типа наносится в виде наклейки на электронно-оптическую колонну микроскопа и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя типографским способом.


    Сведения о методиках измерений

    Сведения о методиках (методах) измерений

    Техническое описание «Микроскоп электронный просвечивающий JEM-2100 фирмы «JEOL», Япония»


    Нормативные и технические документы

    Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопу электронному просвечивающему JEM-2100

    Т ехническая документация фирмы—изготовителя «JEOL», Япония.

    Поверка

    Поверка

    осуществляется по документу МП 51413-12 «Микроскоп электронный просвечивающий JEM-2100. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в сентябре 2012 г.

    Средства поверки: СО параметров шаговой структуры в тонком слое монокристаллического кремния (ГСО 10030-2011).


    Изготовитель

    Фирма «JEOL», Япония.
    Адрес: 1-2, Musashino 3-chome, Akishima, Tokyo 196-8558, Japan.
    Телефон: Tel. +81-42-543-1111. Факс: +81-42-546-3353.

    Заявитель

    Открытое акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума».
    Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1.
    Тел./Факс: (495) 935-97-77. E-mail: fgupnicpv@mail.ru

    Испытательный центр


    ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ», аттестат аккредитации № 30036-10.
    Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1.
    Тел./Факс: (495) 935-97-77. E-mail: fgupnicpv@mail.ru

    Принцип действия микроскопа основан на том, что электроны, испускаемые катодом, ускоряются электронной пушкой и сводятся в пучок, который дополнительно фокусируется конденсорными линзами и проецируется на объект. При прохождении через объект параллельного пучка быстрых электронов происходит их рассеяние на неоднородностях структуры или состава исследуемого объекта. В плоскости изображения объективной линзы, расположенной непосредственно за образцом, формируется действительное изображение объекта, а в ее фокальной плоскости формируется дифракционная картина, каждая точка которой соответствует определенному углу выхода электронов из образца.

    Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную многофункциональную измерительную систему, в состав которой входят: электронно-оптическая колонна; светло-темнопольный детектор электронов; широкоугловой темнопольный детектор; рабочий стол с блоками управления электроники, который вместе с электронно-оптической колонной образует главную консоль прибора; вакуумная система с отдельно расположенным форвакуумным механическим насосом; стабилизированный источник высокого напряжения; компрессор сжатого воздуха для управления пневмоклапанами; рабочая станция микроскопа на базе специализированного компьютера; система замкнутого водяного охлаждения; программное обеспечение для управления микроскопом; комплект запчастей и расходных материалов.

    Электронно-оптическая колонна содержит электронную пушку и три блока электронных линз (осветительный, формирующий изображение и проекционный). Первый из них составлен из двух линз. Основным элементом второго блока является объективная линза, в которую путем шлюзования вводится объектодержатель с объектом. Объективная линза дополнена управляемой диафрагмой. Блок, формирующий изображение, содержит промежуточные линзы, позволяющие, получать картины электронной дифракции. Блок проекционных линз обеспечивает требуемое увеличение изображений.

    На нижней части колонны установлена камера с флуоресцентным экраном, в которой выполнены окна для наблюдения изображения. Над центральным окном установлен оптический бинокулярный микроскоп, который обеспечивает просмотр фрагментов изображения на экране и фокусировку.

    Управление работой микроскопа осуществляется с помощью рабочей станции на базе специализированного компьютера.

    При работе микроскопа обеспечиваются безопасные условия труда оператора. При максимальных значениях ускоряющего напряжения и тока зонда мощность эквивалентной дозы рентгеновского излучения в любой доступной точке на расстоянии 10 см от поверхности колонны и камеры объектов микроскопа не превышает 1 мкЗв/ч.

    Внешний вид. Микроскоп электронный просвечивающий (JEM-2100), http://oei-analitika.ru

    Рис.1. Общий вид микроскопа электронного просвечивающего JEM-2100


    В комплект поставки входят: микроскоп электронный просвечивающий JEM-2100, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.


    приведены в Таблице 2.

    Таблица 2.

    Наименование характеристики

    Значение

    Диапазон измерений линейных размеров, мкм

    от 0,003 до 50

    Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, %:

    - в диапазоне от 0,003 до 0,005 мкм

    ±18

    - в диапазоне от 0,005 до 0,015 мкм

    ±11

    - в диапазоне от 0,015 до 50 мкм

    ±6

    Диапазон регулировки увеличения, крат

    от 50 до 1500000

    Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ

    от 80 до 200

    Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50±1) Гц, В

    220+22-зз

    Потребляемая мощность, кВА

    10

    Г абаритные размеры (длина х ширина х высота), мм

    2440х2250х1570

    Масса, кг

    1900

    Условия эксплуатации:

    - температура окружающей среды, °С

    20 ± 5

    - относительная влажность воздуха, %, не более

    60

    - атмосферное давление, кПа

    84-107


    Настройки внешнего вида
    Цветовая схема

    Ширина

    Левая панель