Номер по Госреестру СИ: 50908-12
50908-12 Микроскоп электронный растровый
(JSM-6460LV)
Назначение средства измерений:
Микроскоп электронный растровый JSM-6460LV (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных объектов и структур, в том числе диэлектрических.
Внешний вид.
Микроскоп электронный растровый
Рисунок № 1
Программное обеспечение
Управление микроскопом осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.
Таблица 1.
Наименование ПО |
Идентификационное наименование ПО |
Номер версии ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений |
TR0104-020 |
6.54 |
79BD56A52F4E65 CF14CC36193B05 85A629861652466 F272F3DB974B2F 378878B |
ГОСТ Р 34.11-94 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится в виде наклейки на электронно-оптическую систему (колонну) микроскопа и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийТехническое описание «Микроскоп электронный растровый JSM-6460LV фирмы «JEOL», Япония».
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к микроскопу электронному растровому JSM-6460LV
Техническая документация фирмы-изготовителя.
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений- применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.
Изготовитель
Фирма «JEOL», Япония.Адрес: 1-2, Musashino 3-chome, Akishima, Tokyo 196-8558, Japan.
Телефон: Tel. +81-42-543-1111. Факс: +81-42-546-3353.
Заявитель
Открытое акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (ОАО «НИЦПВ»)
Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1.
Тел./факс (495) 935-97-77. E-mail: fgupnicpv@mail.ru
Испытательный центр
ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ», аттестат аккредитации № 30036-10.
Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1.
Тел./факс (495) 935-97-77. E-mail: fgupnicpv@mail.ru
Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную многофункциональную измерительную систему и состоит из электронно-оптической системы (колонны), камеры объектов с механизмом перемещения объектов, детектора вторичных и детектора отраженных электронов, вакуумной системы, видеоконтрольного устройства, блока питания.
Принцип получения изображения в микроскопе заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных вторичных отраженных электронов, при сканировании сфокусированного электронного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.
При работе микроскопа обеспечиваются безопасные условия труда оператора. При максимальных значениях ускоряющего напряжения и тока зонда мощность эквивалентной дозы рентгеновского излучения в любой доступной точке на расстоянии 10 см от поверхности колонны и камеры объектов микроскопа не превышает 1 мкЗв/ч.
Рис.1. Общий вид микроскопа электронного растрового JSM-6460LV
В комплект микроскопа входят: микроскоп электронный растровый JSM-6460LV, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.
приведены в Таблице 2 Таблица 2
Наименование характеристики |
Значение |
Эффективный диаметр электронного зонда во вторичных электронах при 30кВ (образец - кремний), нм, не более |
30 |
Диапазон регулировки увеличения, крат |
8-300000 |
Диапазон измерений линейных размеров, мкм |
0,15-5000 |
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, %: - в диапазоне от 0,15 до 0,3 мкм |
±11 |
- в диапазоне от 0,3 до 0,6 мкм |
±7 |
- в диапазоне от 0,6 до 5000 мкм |
±5 |
Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ |
0,3-30 |
Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50±1) Гц, В |
220+22-33 |
Потребляемая мощность, кВ^А |
3 |
Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм: - стенд с колонной, агрегатом вакуумным, ВКУ |
750х960х1480 |
- видеоконтрольный блок |
1150х900х700 |
Масса, кг |
600 |
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С |
20 ± 5 |
- относительная влажность воздуха, %, не более |
60 |
- атмосферное давление, кПа |
84-107 |