Номер по Госреестру СИ: 46579-11
46579-11 Модули для измерения вакуума, модули для измерения вакуума и контроллеры
(275 (модули), 3хх (модули и контроллеры))
Назначение средства измерений:
Модули для измерения вакуума серии 275, модули для измерения вакуума и контроллеры серии 3хх производства Brooks Automation, Inc. (США), предназначены для измерения абсолютного давления в диапазоне от 3*10-9 до 1,3 *105 Па.
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства - 01.04.2016
Номер записи - 135241
ID в реестре СИ - 357641
Тип производства - серийное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Модификации СИ
СВУ 15, СВУ, СВКМ-15Х, СВКМ-15У, СВКМ-15Г, СВГ-15, СВ-15, РОСКОНТРОЛЬ, Нет модификации, нет данных, Нет, 356 Micro-Ion Plus, 355 Micro-Ion Plus, 355 Micro-Ion, 275 Mini-Convectron, 275 Convectron, 275 (модули), 3хх (модули и контроллеры), 275, 1,
Производитель
Изготовитель - Фирма "Brooks Automation, Inc."
Страна - СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Отчет представляет собой таблицу с перечнем эталонов организаций, применяемых при поверке cредств измерений биоанализа. По каждому эталону приведена статистика поверок СИ по годам. В качестве эталона могут выступать ГЭТ, эталоны единиц величин или СИ, используемые в качестве эталонов.
Статистика
Кол-во поверок - 358
Выдано извещений - 5
Кол-во периодических поверок - 322
Кол-во средств измерений - 120
Кол-во владельцев - 108
Усредненный год выпуска СИ - 2014
МПИ по поверкам - 1814 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№1521 от 2011.03.31 Об утверждении типа средств измерений (Регистрационный номер в Гос.реестре СИ 46579-11)
Наличие аналогов СИ: Модули для измерения вакуума, модули для измерения вакуума и контроллеры (275 (модули), 3хх (модули и контроллеры))
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Фирма "Brooks Automation, Inc."
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
46579-11 01.04.2016 |
Модули для измерения вакуума, модули для измерения вакуума и контроллеры, 275 (модули), 3хх (модули и контроллеры) Фирма "Brooks Automation, Inc." (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
"Справочник географических объектов" представляет собой таблицу, состоящую из 13 колонок и 1112 строк. Справочник используется в проекте "ОЕИ Аналитика" для построения отчетов, связанных с географической привязкой исследуемого объекта и отображения его на карте. Кроме того, данный справочник позволяется осуществлять привязку друг к другу разрозненных таблиц разных баз данных, например, по городу или региону. В таблице присутствуют такие географические понятия, как: субъект РФ, регион, район, город, широта, долгота, федеральный округ и т.д.
Кто поверяет Модули для измерения вакуума, модули для измерения вакуума и контроллеры (275 (модули), 3хх (модули и контроллеры))
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ООО "ТЦ ЭЛЕКТРУМ" (RA.RU.312786) | 1 | 0 | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ООО УК "ЖИЛСЕРВИС" (RA.RU.312627) | 4 | 0 | 4 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ФБУ "ПЕРМСКИЙ ЦСМ" (RA.RU.311363) | РСТ | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| ООО "ПТК" (RA.RU.311923) | 7 | 0 | 5 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ООО "ГК ЖКХ-СЕРВИС" (РОСС RU.0001.310221) | 2 | 0 | 2 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ООО "КАБАРДИНО-БАЛКАРСКИЙ ЦС К" (RA.RU.311840) | 1 | 0 | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ООО «ГОРОДСКАЯ МЕТРОЛОГИЧЕСКАЯ СЛУЖБА» (RA.RU.314237) | 1 | 0 | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ООО "МС-ГИДРО" (RA.RU.312312) | 4 | 0 | 4 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ООО "ТАТМЕТРОЛОГИЯ" (RA.RU.311659) | 39 | 0 | 39 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ООО "СУС" (RA.RU.312520) | 2 | 0 | 2 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ФГУП "ВНИИМ ИМ. Д.И.МЕНДЕЛЕЕВА" (RA.RU.311541) | РСТ | 21 | 1 | 0 | 19 | 4 | 19 | 0 | 17 | |
| ООО "СПЕЦГИДРОСЕРВИС" (RA.RU.312180) | 7 | 0 | 7 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ООО "РЦСМ" (RA.RU.312866) | 5 | 0 | 5 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ООО "АКВАТЕХНИКА" (RA.RU.312333) | 4 | 0 | 4 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ООО "ГК КОНТРОЛЬ" (RA.RU.312788) | 1 | 0 | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ФБУ "РОСТЕСТ-МОСКВА" (RA.RU.311341) | 4 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ИП Дьяченко Алексей Олегович (RA.RU.320019) | 1 | 0 | 1 | 1 | 0 | 0 | 0 | |||
| ООО "ЕДИНЫЙ РЕСУРС" (RA.RU.312113) | 4 | 0 | 4 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ФГБУ "ГНМЦ" МИНОБОРОНЫ РОССИИ (RA.RU.310690) | 7 | 0 | 7 | 0 | 7 | 0 | 7 | |||
| ООО "ИМЦ" (RA.RU.311684) | 2 | 0 | 2 | 0 | 2 | 0 | 2 | |||
| ООО «АНВИР» (RA.RU.312927) | 2 | 0 | 2 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ФБУ "КРЫМСКИЙ ЦСМ" (RA.RU.310576) | РСТ | 1 | 0 | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| ООО "ЭКОНОМ-РЕСУРС" (RA.RU.312445) | 1 | 0 | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ООО "ЦЕНТР МЕТРОЛОГИИ" (RA.RU.320058) | 13 | 0 | 12 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ООО "БЮРО ПОВЕРКИ" (RA.RU.312621) | 9 | 0 | 9 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ООО "МС-РЕСУРС" (RA.RU.312581) | 46 | 0 | 41 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ООО "ГОРВОДОУЧЕТ" (RA.RU.312363) | 10 | 0 | 8 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ООО "ВОДОМЕР СЕРВИС" (RA.RU.311194) | 16 | 2 | 0 | 16 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| ФБУ «Ростест-Москва» (RA.RU.311320) | РСТ | 13 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| ФБУ "КАЛИНИНГРАДСКИЙ ЦСМ" (RA.RU.311465) | РСТ | 1 | 0 | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| ОАО "МЕДТЕХНИКА" (RA.RU.311401) | 6 | 0 | 6 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ООО "АКВАТЕХНИК" (RA.RU.312268) | 2 | 0 | 2 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ООО "ДЕЗ 1" (RA.RU.311603) | 8 | 0 | 8 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ООО "САЯНЫЭНЕРГОМОНТАЖ" (RA.RU.311918) | 2 | 0 | 2 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ООО "СЦМ" (RA.RU.311870) | 26 | 0 | 26 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ООО "ЭТАЖИ СЕРВИС" (RA.RU.312424) | 37 | 0 | 37 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ФБУ «Брянский ЦСМ» (RA.RU.311364) | РСТ | 3 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| ФГУП "РФЯЦ ВНИИТФ им. академика Е.И.Забабахина" (RA.RU.311874) | 3 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ООО МС "ПРОФТЕХКОМ" (RA.RU.312822) | 2 | 0 | 2 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ИП Субоч А.М. (RA.RU.313429) | 4 | 0 | 4 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ООО "ЦЕНТР МЕТРОЛОГИИ+" (RA.RU.313620) | 4 | 0 | 4 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ООО "ГОСВОДОУЧЕТ" (RA.RU.312565) | 12 | 0 | 12 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ООО "МЕТРОСТАНДАРТ" (RA.RU.312729) | 5 | 4 | 0 | 5 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| АО «ИСС» (РОСС СОБ 3.00092.2013) | 4 | 0 | 4 | 0 | 4 | 0 | 4 | |||
| ИП РЯЗАНОВ П.А. (RA.RU.314180) | 1 | 0 | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ООО "СЕРВИСПОС" (RA.RU.314409) | 1 | 0 | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ООО "ИНЭКС СЕРТ" (RA.RU.312302) | 8 | 0 | 8 | 0 | 8 | 0 | 8 |
Стоимость поверки Модули для измерения вакуума, модули для измерения вакуума и контроллеры (275 (модули), 3хх (модули и контроллеры))
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|---|---|
|
ФБУ Брянский ЦСМ Брянская область |
2748 | 2983 |
|
ФБУ Брянский ЦСМ Брянская область |
2955 | 2983 |
|
ФБУ Брянский ЦСМ Брянская область |
3245 | 2983 |
Программное обеспечение
Встроенное программное обеспечение модулей для измерения вакуума серии 275, модулей для измерения вакуума и контроллеров серии 3хх имеют одинаковую структурную схему.
Конструктивно модули для измерения вакуума серии 275 и 3хх представляют собой единую конструкцию, состоящую из одного или двух сменных датчиков и блока обработки
Лист № 3
Всего листов 8 сигнала. Электронный блок подает питающее напряжение на датчик и считывает аналоговый сигнал. В дальнейшем производится оцифровка и обработка сигнала микросхемами поддержки процессора.
Контроллеры серии 3хх представляют собой электронный блок, состоящий из кроссплаты, платы расширения, цифрового жидкокристаллического индикатора и панели управления. С датчиками контроллер связан посредством специальных кабелей различной длины. Электронный блок выдает питающее напряжение на датчики и получает с них аналоговый сигнал, который преобразуется в цифровой код и поступает на обработку микропроцессором и микросхемами поддержки процессора.
В обоих случаях реализуется «жесткая» логика обработки сигнала, которая реализуется при помощи специализированных микросхем.
Программа обработки цифрового кода реализована в машинном коде (ассемблере) микропроцессора.
Метрологически значимая часть встроенного программного обеспечения имеет сле-
Модуль для измерения вакуума серии 356 Micro-Ion Plus
Модуль для измерения вакуума серии 354 Micro-Ion
|
дующие характе |
ристики: | |||
|
Наименование программного обеспечения |
Идентификационное наименование программного обеспечения |
Номер версии |
Цифровой идентификатор программного обеспечения |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора программного обеспечения |
|
AN&DCP27 |
AN&DCP27 |
1.00 |
DD47228C |
CRC32 по IEEE 1059-1993 |
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню А по МИ 3286-2010.
|
Модуль для измерения вакуума серии 347 Stabil-Ion |
Модуль для измерения вакуума серии 275 Mini-Convectron |
Модуль для измерения вакуума серии 385 Convectron АТМ
|
Контроллер серии 316 |
Контроллер серии 370 Stabil-Ion в комплекте вакуумными датчиками серии 370 и 275 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типаЗнак утверждения типа наносится типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
Сведения о методиках (методах) измерений изложены в руководствах по установке, эксплуатации, техническому обслуживанию и ремонту на модули для измерения вакуума и контроллеры.
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к модулям для измерения вакуума серии 275, модулям для измерения вакуума и контроллерам серии Зхх-
1. ГОСТ 27758-88 «Вакуумметры. Общие технические требования»;
-
2. ГОСТ 8.107-81 «ГСП. Государственный специальный эталон и государственная общесоюзная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1х10’84- 1х103 Па»;
При выполнении работ по оценке промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.
Поверка
Поверка осуществляется по МИ 140-89 “ГСИ. Вакуумметры. Методика поверки”.Основные средства поверки:
• установка вакуумная градуировочная с расширяющими объёмами ГУ-5, с диапазоном измерений абсолютного давления от 0,0133 до 4х104 Па, с пределом допускаемой погрешности ± 2% от измеряемой величины;
• вакуумметр ионизационный образцовый ВИО-1 в комплекте с преобразователем ПМИ-39-2, с диапазоном измерений от 1х10-1 до 1х10-9 Па, с пределами допускаемой погрешности: ± 11 % от измеряемой величины, в диапазонах от 1х10-1 до 1х10-3 Па и от
Контроллер серии 358 Micro-Ion в комплекте вакуумными датчиками серии 355 и 275
Контроллер серии 375 Convectron в комплекте в комплекте с вакуумным датчиком серии 275
Лист № 8 Всего листов 8 1х10’7 до 1х10’9 Па; ± 6 % от измеряемой величины, в диапазоне от 1х10'3 до 1х10’5 Па; ± 8% от измеряемой величины, в диапазоне от 1 х 10‘5 до 1 х 10’7 Па.
Изготовитель
Brooks Automation, Inc. (США),15 Elizabeth Dr. Chelmsford, MA 01824 USA.
Tel. (978) 262-2400, Fax (978) 262-2500, www.broors.com
Заявитель
ООО «Криогенные и вакуумные системы»117105, г. Москва, Нагорный проезд, дом 7 Тел. (495) 543-73-60, тел./факс (495) 543-73-61 E-mail: mfo@crvosystems.com.ru, www.cryosystems.com.ru
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений -ФГУ «Российский центр испытаний и сертификации - Москва»
(ГЦИ СИ - ФГУ «Ростест - Москва»),
117418, г. Москва, Нахимовский проспект, дом 31
Тел. (499) 129-19-11, тел./факс (499) 124-99-96, Email: info@rostest.ru
Модуль для измерения вакуума серии 356 Micro-Ion Plus состоит из двух измерительных датчиков: теплопотери и ионизационного. Датчик теплопотери состоит из двух компланарных проводных элементов (компенсационного и считывания), встроенного контроллера, поддерживающего температуру проводного элемента считывания и усилителя сигнала ошибки. Ионизационный датчик включает в себя: двойную иридиевую нить накала (катод), сетку (анод) и приемник ионов. Для настройки модуля для измерения вакуума серии 356 Micro-Ion Plus используется встроенное реле управления. Показания абсолютного давления отображаются на высококонтрастном зелено-голубом дисплее. Модуль для измерения вакуума серии 356 MicroIon Plus имеет линейный аналоговый выход от 0 до 10 В и оснащен цифровым интерфейсом RS 485 и DeviceNet.
Модули для измерения вакуума серии 354 Micro-Ion и 347 Stabil-Ion в отличие от модуля для измерения вакуума серии 356 Micro-Ion Plus состоят только из ионизационного датчика. Ионизационный датчик у модуля для измерения вакуума серии 354 Micro-Ion, как и у модуля для измерения вакуума серии 356 Micro-Ion Plus, включает в себя: двойную иридиевую нить накала (катод), сетку (анод) и приемник ионов. Ионизационный датчик у модуля для измерения вакуума серии 347 Stabil-Ion, в отличие от ионизационного датчика модуля для измерения вакуума серии 354 Micro-Ion, включает в себя двойную иридиевую спираль накаливания и анод, расположенный в центре спирали. Для настройки модулей для измерения вакуума серии 354 Micro-Ion и 347 Stabil-Ion используется встроенное реле управления. Показания абсолютного давления отображаются на высококонтрастном зелено-голубом дисплее. Модуль для измерения вакуума серии 354 Micro-Ion имеет линейный аналоговый выход от 0 до 10 В и оснащен цифровым интерфейсом RS 485. Модуль для измерения вакуума серии 347 Stabil-Ion оснащен цифровым интерфейсом RS 485 или DeviceNet.
Модуль для измерения вакуума серии 385 Convectron АТМ состоит из двух измерительных датчиков: конвекционного и дифференциального диафрагменного, что позволяет ему измерять не только абсолютное давление, но и разность давления в диапазоне от минус 100 кПа до 33,3 кПа. Показания абсолютного давления и разности давлений отображаются на высококонтрастном зелено-голубом дисплее. Модуль для измерения вакуума серии 385 Convectron АТМ имеет нелинейный аналоговый выход от 0,375 до 5,659 В и оснащен цифровым интерфейсом RS 485.
Модуль для измерения вакуума серии 275 Mini-Convectron в отличие модуля для измерения вакуума серии 385 Convectron АТМ состоит только из конвекционного датчика. Показания абсолютного давления отображаются на высококонтрастном зелено-голубом дисплее. Модуль для измерения вакуума серии 275 Mini-Convectron имеет аналоговый выход: нелинейный
Лист № 2 Всего листов 8 от 0,375 до 5,659 В или линейный от 0 до 10 В и оснащен цифровым интерфейсом RS 485 или DeviceNet.
Конвекционный датчик измеряет абсолютное давление при помощи определения теплоотдачи от нити накаливания, при поддержании постоянной температуры.
У датчика теплопотери сопротивление проводного элемента считывания увеличивается с повышением температуры, при этом встроенный в него контроллер постоянно настраивает тепловой ток, проходящий через этот элемент для поддержки контролируемой температуры. Компенсационный проводной элемент контролирует температуру окружающей среды. Таким образом, при повышении абсолютного давления, потеря тепла при прохождение тока от датчика через газ увеличивается, а температура датчика уменьшается, что вызывает уменьшение сопротивления. В этом случае усилитель сигнала ошибки определяет изменение дифференциала сопротивлений между проводным элементом считывания и компенсационным проводным элементом и вызывает увеличение теплового тока, проходящего через элемент считывания, что влечет за собой увеличение температуры и сопротивления.
Ионизационный датчик измеряет абсолютное давление, ионизируя остаточный газ в ионизационной камере. Двойная иридиевая нить накаливания или двойная иридиевая спираль накаливания с иттриевым покрытием (катод) нагревается до такой температуры, что электроды излучаются и ускоряются навстречу аноду. Разогнанные электроны, сталкиваясь с молекулами газа и получив положительный заряд, ускоряются по направлению к приемнику ионов. При этом частота, с которой электроны сталкиваются с молекулами газа, прямо пропорциональна плотности молекул, поэтому ионный ток пропорционален плотности газа или абсолютному давлению, при постоянной температуре.
Контроллеры серии 358 Micro-Ion и 370 Stabil-Ion являются модульными приборами, работают в комплекте с несколькими вакуумными датчиками, имеют аналоговый выход и цифровой интерфейс. Показания абсолютного давления отображаются на трех дисплеях одновременно, расположенных на передней панели контроллеров.
Контроллер серии 358 Micro-Ion работает в комплекте с одни высоковакуумным ионизационным датчиком серии 355 Micro-Ion и двумя вакуумными конвекционными датчиками серии 275 Convectron. Контроллер серии 358 Micro-Ion оснащен цифровым интерфейсом RS 232 или RS 485.
Контроллер серии 370 Stabil-Ion работает в комплекте с двумя высоковакуумными ионизационными датчиками серии 370 Stabil-Ion и двумя вакуумными конвекционными датчиками серии 275 Convectron. Контроллер серии 370 Stabil-Ion оснащен цифровым интерфейсом RS 232, RS 485 или DeviceNet.
Контроллеры серии 375 Convectron и 316 являются модульными приборами, имеют аналоговый выходной сигнал и оснащены цифровым интерфейсом RS 232 или RS 485. Контроллер серии 375 Convectron работает в комплекте с одни вакуумным конвекционным датчиком серии 275 Convectron, а контроллер серии 316 работает в комплекте с тремя вакуумными конвекционными датчиками серии 275 Convectron. Контроллер серии 316 может комплектоваться ёмкостными манометрами или термопарными вакуумметрами.
Пломбировка корпусов модулей серии 275, модулей и контроллеров серии 3хх от несанкционированного доступа производится путем приклеивания разрушающихся наклеек на съемные крышки корпусов. Все приборы имеют защитную блокировку. При вскрытом корпусе функционирование приборов невозможно.
В комплект поставки входят:
• модуль для измерения вакуума или контроллер
1 комплект;
1 шт.;
1 экз.
• кабель (параметры указываются при заказе)
• руководство по эксплуатации
|
Наименование характеристики |
Модули для измерения вакуума | ||||
|
серии 275 Mini Convectron |
серии 356 Micro-Ion Plus |
серии 385 Convectron ATM |
серии 354 Micro-Ion |
серии 347 Stabil-Ion | |
|
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
|
Диапазон измерений абсолютного давления, Па (мм рт. ст.) |
от 1,3Х10’2 до 1,3*105 (от 1х10’4 до 1х103) |
от 1,3х10’7 до 1х105 (от 1х10-9 до 760) |
от 1,3 10-2 до 3х105 (от 1х10-4 до 2х103) |
от 1,3 10-7 до 6,7х100 (от 1х10-9 до 5 10-2) |
от 3 х10-9 до 3х100 (от 2х10-11 до 2 10-2) |
|
Диапазон измерений разности давлений, кПа |
от - 100 до 33,3 | ||||
|
Аналоговый выходной сигнал: линейный, В нелинейный, В |
от 0 до 10 от 0,375 до 5,659 |
от 0 до 10 |
от 0,375 до 5,659 |
от 0 до 10 |
- |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности, % а) модуля для измерения вакуума серии 356:
б) модуля для измерения вакуума серии 354 в) модуля для измерения вакуума серии 347:
|
±15 ±25 |
±15 |
±15 ±10 | ||
|
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
|
г) модулей для измерения вакуума серии 275 и 385: - в диапазонах от 1,3х10-2 до 1,3х103 Па и от 2,7 х104 до 1,3х105 Па |
±5 |
±5 | |||
|
- в остальном диапазоне |
±15 |
±15 | |||
|
Пределы допускаемой по- |
±(0,33 кПа | ||||
|
грешности разности давле- |
+ 2,5% от | ||||
|
ний |
- |
- |
показаний) |
- |
- |
|
Напряжение питания, В |
от 11,5 |
от 20,4 |
от 11,5 |
от 20,4 |
от 20,4 |
|
до 26,5 |
до 27,6 |
до 26,5 |
до 27,6 |
до 27,6 | |
|
Потребляемая мощность, Вт |
3,3 |
26 |
3,3 |
26 |
75 |
|
Габаритные размеры: длина, не более, мм |
102 |
92 |
102 |
71,2 |
91 |
|
ширина, не более, мм |
36 |
74 |
36 |
86 |
97 |
|
высота, не более, мм |
86,4 |
98 |
86,4 |
76,2 |
247 |
|
Масса, не более, кг |
0,22 |
0,567 |
0,34 |
0,4 |
0,8 |
|
Диапазон рабочих температур, °С |
от 4 до 50 |
от 10 до 40 |
от 4 до 50 |
от 0 до 40 |
от 10 до 40 |
|
Диапазон температуры хра- | |||||
|
нения, °С |
от |
минус 40 до 70 | |||
|
Относительная влажность, % |
от 30 до 80 | ||||
|
Наименование характеристики |
Контроллеры | |||
|
серии 370 Sta-bil-Ion |
серии 316 |
серии 375 Convec tron |
серии 358 Micro-Ion | |
|
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
|
Диапазон измерений абсо- |
от 1,3х10’7 |
от 1,3х10’2 |
от 6,7х10-7 | |
|
лютного давления, Па |
до 1,3х105 |
до 1,3х105 |
до 1,3х105 | |
|
(мм рт. ст.) |
(от 1х10-9 |
(от 1х10-4 до 1х103) |
(от 5х10-9 | |
|
до 1х103) |
до 1х103) | |||
|
Аналоговый выходной сигнал: линейный, В |
от 0 до 10 |
от 0 до 10 |
от 0 до 7 |
от 0 до 7 |
|
нелинейный, В |
- |
- |
- |
- |
|
логарифмический, В/декада |
- |
- |
1 |
1 |
|
Напряжение питания, В |
от 12 до 24 |
от 105 |
от 12 |
220 |
|
до 125 |
до 24 | |||
|
Частота, Г ц |
- |
50 |
- |
50 |
|
Потребляемая мощность, Вт |
6 |
100 |
6 |
50 |
|
Габаритные размеры: длина, не более, мм |
96 |
241 |
96 |
241 |
|
ширина, не более, мм |
168 |
279 |
168 |
275 |
|
высота, не более, мм |
48 |
76 |
48 |
99 |
|
Масса, не более, кг |
1,8 |
3,0 |
0,72 |
1,8 |
|
Диапазон рабочих температур, °С |
от 0 до 40 |
от 0 до 40 |
от 0 до 40 |
от 0 до 40 |
|
1 |
2 |
3 |
4 |
5 | ||
|
Диапазон температуры хранения, °С |
от минус 40 до 70 | |||||
|
Относительная влажность, % |
от 30 до 80 | |||||
|
Тип используемых датчиков вакуумных |
ионизационные серии 370 Stabil-Ion |
конвекционные серии 275 Convectron |
ионизационные серии 355 Micro-Ion | |||
|
Количество датчиков вакуум ных |
два |
два |
три |
один |
два |
один |
|
Диапазон измерений абсолютного давления, Па (мм рт. ст.) |
от 1,3х10"7 до 1,3х105 (от 1х10-9 до 1х103) |
от 1,3х10-2 до 1,3х105 (от 1х10-4 до 1х103) |
от 6,7х10-7 до 6,7 -9 (от 5х10-9 до 5 |0-2) | |||
|
Пределы допускаемой относительной погрешности контроллеров, % • в комплекте с датчиком ва-куумметрическим серии 355 |
±15 | |||||
|
в комплекте с датчиком ваку-умметрическим серии 275:
• в комплекте с датчиком ва-куумметрическим серии 370:
|
±15 ±10 |
±5 ±15 | ||||