Номер по Госреестру СИ: 41678-09
41678-09 Меры периода и высоты линейные
(TGZ1, TGZ2, TGZ3)
Назначение средства измерений:
Меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2, TGZ3 (далее - меры) относятся к классу мер рельефных нанометрового диапазона и предназначены для передачи размера единицы длины в диапазоне от 10-9 до 10-4 м и поверки (калибровки) оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих атомно-силовых микроскопов и других средств измерений малой длины.
Внешний вид.
Меры периода и высоты линейные
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства - 12.11.2019
Номер записи - 129647
ID в реестре СИ - 352047
Тип производства - серийное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Модификации СИ
Мера периода и высоты линейная TGZ3, Мера периода и высоты линейная TGZ2, Мера периода и высоты линейная TGZ1, TGZ3, TGZ2, TGZ1,
Производитель
Изготовитель - ЗАО "Нанотехнология МДТ"
Страна - РОССИЯ
Населенный пункт - г.Москва
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Простой и наглдяный отчет, дающий представление о специализации организации-поверителя и ее измерительных возможностях. Отчет строится по данным о поверках, переданных в ФГИС АРШИН за последний год (365 дней) и состоит из таблицы с функцией поиска и сортировки по любой из колонок и круговой диаграммы, визуализирующей данные, представленные в таблице.
Таблица может вклчать до нескольких десятков тысяч строк (для больших ЦСМ).
Таблица включает данные о наименовании и типе СИ (с ссылкой на гос. реестр) по которым проводились поверки, количество выполненных поверок и наименование предприятия-изготовителя средства измерений.
В таблице по каждой из организаций за выбранный временной интервал представлена следующая информация:
Статистика
Кол-во поверок - 145
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 96
Кол-во средств измерений - 45
Кол-во владельцев - 14
Усредненный год выпуска СИ - 2013
МПИ по поверкам - 376 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№878 от 2015.07.24 О продлении срока действия свидетельств об утверждении типа средств измерений
№1802 от 2014.11.11 О продлении срока действия свидетельств об утверждении типа средств измерений (ГР 41680-09 - 27242-09)
№1355 от 2020.08.07 ПРИКАЗ о продлении свидетельств об утверж типа СИ 17 шт
Наличие аналогов СИ: Меры периода и высоты линейные (TGZ1, TGZ2, TGZ3)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений ЗАО "Нанотехнология МДТ"
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
28664-05 01.03.2010 |
Микроскопы сканирующие зондовые, Ntegra ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
1 год | |
|
28664-10 07.05.2020 |
Микроскопы сканирующие зондовые, Ntegra SPECTRA, Ntegra PRIMA, Ntegra VITA, Ntegra THERMA, Ntegra AURA, Ntegra MAXIMUS, Ntegra SOLARIS, Ntegra SOLARIS Duo, Ntegra TOMO, Ntegra LIFE ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ МП |
1 год |
|
28665-05 01.04.2015 |
Микроскопы сканирующие зондовые, NanoEducator ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
28666-05 01.03.2010 |
Микроскопы сканирующие зондовые, Solver Pro ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
1 год | |
|
28666-10 07.05.2020 |
Микроскопы сканирующие зондовые, Solver HV, Solver HV-MFM, Solver SNOM, Smena, Solver PRO, Solver PRO-M, Solver FD, Solver P47-PRO, Solver PRO-EC, Solver MFM, Solver BIO-M, Solver OPEN ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ МП |
1 год |
|
40597-09 01.06.2014 |
Микроскопы сканирующие зондовые, SOLVER NEXT ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
41676-09 12.11.2019 |
Меры периода линейные, TDG01 ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
41677-09 12.11.2019 |
Меры периода линейно-угловые, TGG1 ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
41678-09 12.11.2019 |
Меры периода и высоты линейные, TGZ1, TGZ2, TGZ3 ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
41679-09 12.11.2019 |
Меры периода линейно-угловые, TGT1 ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
41680-09 12.11.2019 |
Меры периода и высоты линейные, TGQ1 ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
45580-10 |
Комплекс метрологический для измерения топологии клеточных структур и распределения показателя преломления в нанобиотехнологических процессах, Нет данных ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
Справочник государственных первичных эталонов РФ является копией соответствующего реестра ФГИС «АРШИН» (https://fgis.gost.ru/fundmetrology/registry/12) и содержит сведения о государственных первичных эталонов РФ.
Справочник содержит более 150 записей и актуализируется не реже 1 раза в месяц.
Кто поверяет Меры периода и высоты линейные (TGZ1, TGZ2, TGZ3)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ФГУП "ВНИИМС" (01.00225-2011) | РСТ | 41 | 6 | 26 | 0 | 22 | 6 | 16 | ||
| ФГУП "ВНИИМС" (RA.RU.311493) | РСТ | 2 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 15 | 3 | 0 | 15 | 0 | 15 | 0 | 15 | ||
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 3 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ФГУП «ВНИИМС» (RA.RU.311493) | РСТ | 28 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| ФГБУ "ВНИИМС" (RA.RU.311493) | РСТ | 56 | 4 | 1 | 55 | 0 | 53 | 1 | 52 |
Стоимость поверки Меры периода и высоты линейные (TGZ1, TGZ2, TGZ3)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульный лист паспорта и на футляр.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
Меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2, TGZ3. Руководство по эксплуатации.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к мерам периода и высоты линейным TGZ1, TGZ2, TGZ3
Технические условия 3932-013-40349675-2009 ТУ и руководство по эксплуатации (паспорт) 3932-013-40349675-2009 РЭ.
Поверка
Поверкаосуществляется в соответствии с методикой, изложенной в разделе 4 Руководства по эксплуатации 3932-013-40349675-2009 РЭ и согласованной ФГУП «ВНИИМС 06.08.2009 г.
Основное средство поверки: микроскоп сканирующий зондовый атомно-силовой Solver Pro (Госреестр № 28666-10).
Изготовитель
Закрытое акционерное общество «Нанотехнология МДТ» (ЗАО «НТ-МДТ»)Адрес: 124482, Москва, Зеленоград, корп.100, E-mail: spm@ntmdt.ru, Телефон: 499-735-03-05, Факс: 499-735-64-10
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт метрологической службы» (ФГУП «ВНИИМС») Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46
Тел./факс: (495)437-55-77 / 437-56-66;
E-mail: office@vniims.ru, www.vniims.ru
Меры представляет собой совокупность шаговых структур на поверхности квадратной кремниевой монокристаллической пластины с размерами квадрата со стороной не более 5 мм, поверхность которой ориентирована параллельно кристаллографической плоскости (100). Мера состоит из одинаковых шаговых структур с прямоугольной геометрической формой элемента рельефа шаговой структуры
Внешний меры представлен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Внешний вид меры периода и высоты линейной TGZ1, TGZ2, TGZ3.
Мера TGZ - 1шт.;
Специальный футляр - 1 шт.;
Руководство по эксплуатации (паспорт) - 1шт.
Таблица 1
|
Наименование |
Значение |
|
Номинальное значение периода структуры меры, мкм |
3,00 |
|
Допускаемое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры, не более, мкм |
± 0,01 |
|
Номинальное значение высоты выступов в рельефе шаговых структур, | |
|
нм |
20 |
|
Мера TGZ1 |
110 |
|
Мера TGZ2 Мера TGZ3 |
520 |
|
Пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения высоты выступов в рельефе шаговых структур не более, нм Мера TGZ1 |
± 2 |
|
Мера TGZ2 |
± 10 |
|
Мера TGZ3 |
± 20 |
|
Условия эксплуатации: а) При работе на воздухе - температура окружающего воздуха, °С |
20 ± 3 |
|
- относительная влажность, % |
65 ± 15 3 |
|
- атмосферное давление, Па |
(100 ±4>103 |
|
б) При работе в вакуумных условиях - диапазон значений остаточного давления в камере образцов микроскопа, Па |
от 140"4 до 270 |
|
- температура держателя образца, оС |
20 ± 3 |
|
Масса меры не более, г |
5 |
|
Габаритные размеры меры, мм |
5,0х5,0х0,5 |
|
Размеры рабочей области меры, мм |
3,0х3,0 |