Номер по Госреестру СИ: 41678-09
41678-09 Меры периода и высоты линейные
(TGZ1, TGZ2, TGZ3)
Назначение средства измерений:
Меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2, TGZ3 (далее - меры) относятся к классу мер рельефных нанометрового диапазона и предназначены для передачи размера единицы длины в диапазоне от 10-9 до 10-4 м и поверки (калибровки) оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих атомно-силовых микроскопов и других средств измерений малой длины.
Внешний вид.
Меры периода и высоты линейные
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства - 12.11.2019
Номер записи - 129647
ID в реестре СИ - 352047
Тип производства - серийное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Модификации СИ
Мера периода и высоты линейная TGZ3, Мера периода и высоты линейная TGZ2, Мера периода и высоты линейная TGZ1, TGZ3, TGZ2, TGZ1,
Производитель
Изготовитель - ЗАО "Нанотехнология МДТ"
Страна - РОССИЯ
Населенный пункт - г.Москва
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Отчет помогает подобрать поверки с истекающими сроками в заданном интервале по региону, области измерений и наименованиям владельцев.
Статистика
Кол-во поверок - 168
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 118
Кол-во средств измерений - 45
Кол-во владельцев - 14
Усредненный год выпуска СИ - 2013
МПИ по поверкам - 376 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№878 от 2015.07.24 О продлении срока действия свидетельств об утверждении типа средств измерений
№1802 от 2014.11.11 О продлении срока действия свидетельств об утверждении типа средств измерений (ГР 41680-09 - 27242-09)
№1355 от 2020.08.07 ПРИКАЗ о продлении свидетельств об утверж типа СИ 17 шт
Наличие аналогов СИ: Меры периода и высоты линейные (TGZ1, TGZ2, TGZ3)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений ЗАО "Нанотехнология МДТ"
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
28664-05 01.03.2010 |
Микроскопы сканирующие зондовые, Ntegra ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
1 год | |
|
28664-10 07.05.2020 |
Микроскопы сканирующие зондовые, Ntegra SPECTRA, Ntegra PRIMA, Ntegra VITA, Ntegra THERMA, Ntegra AURA, Ntegra MAXIMUS, Ntegra SOLARIS, Ntegra SOLARIS Duo, Ntegra TOMO, Ntegra LIFE ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ МП |
1 год |
|
28665-05 01.04.2015 |
Микроскопы сканирующие зондовые, NanoEducator ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
28666-05 01.03.2010 |
Микроскопы сканирующие зондовые, Solver Pro ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
1 год | |
|
28666-10 07.05.2020 |
Микроскопы сканирующие зондовые, Solver HV, Solver HV-MFM, Solver SNOM, Smena, Solver PRO, Solver PRO-M, Solver FD, Solver P47-PRO, Solver PRO-EC, Solver MFM, Solver BIO-M, Solver OPEN ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ МП |
1 год |
|
40597-09 01.06.2014 |
Микроскопы сканирующие зондовые, SOLVER NEXT ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
41676-09 12.11.2019 |
Меры периода линейные, TDG01 ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
41677-09 12.11.2019 |
Меры периода линейно-угловые, TGG1 ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
41678-09 12.11.2019 |
Меры периода и высоты линейные, TGZ1, TGZ2, TGZ3 ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
41679-09 12.11.2019 |
Меры периода линейно-угловые, TGT1 ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
41680-09 12.11.2019 |
Меры периода и высоты линейные, TGQ1 ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
45580-10 |
Комплекс метрологический для измерения топологии клеточных структур и распределения показателя преломления в нанобиотехнологических процессах, Нет данных ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
Каталог СИ, используемый в сервисе ОЕИ-Аналитика имеет трехуровневую структуру вида: области измерений (более 20), разделы областей измерений (более 250) и группы СИ (более 10 тыс.).
При разработке каталога были использованы как существующие кодификаторы: МИ 2803-2014, МИ 2314-2006, МИ 2314-2022, так и собственные наработки. Перед применением каталог был адаптирован и обогащен данными из реального реестра, утвержденных типов СИ ФГИС АРШИН.
Представленный отчет состоит из круговой и столбчатой диаграмм, а также сводной таблицы. Графики являются интерактивными, а таблица обладает функциями поиска и сортировки по любой из колонок. В отчете использованы не все группы СИ, а только самые крупные группы СИ (5 тыс.), название которых состоят не более чем из двух слов.
На круговой диаграмме показано распределение поверок СИ по группам. Диаграмма строится по всем поверкам, имеющимся в АРШИН. Стоит отметить, что сумма всех поверок по группам СИ, существенно превышает объём поверок, загруженных в АРШИН. Это связано с тем, что многие типы СИ входят одновременно в несколько групп.
Столбчатая диаграмма демонстрирует то же распределение поверок по группам СИ, что и круговая, но в динамике по годам. Причем, для удобства читаемости графика есть возможность посредством фильтра выбрать только нужные года.
В завершении отчета приведена сводная таблица с данными для возможности самостоятельной обработки информации.
Кто поверяет Меры периода и высоты линейные (TGZ1, TGZ2, TGZ3)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2025 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ФГУП "ВНИИМС" (01.00225-2011) | РСТ | 41 | 6 | 26 | 0 | 22 | 6 | 16 | ||
| ФГУП "ВНИИМС" (01.00225-2011) | РСТ | 2 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 18 | 3 | 0 | 18 | 0 | 18 | 0 | 18 | ||
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 3 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ФГУП «ВНИИМС» (RA.RU.311493) | РСТ | 28 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| ФГБУ "ВНИИМС" (RA.RU.311493) | РСТ | 64 | 2 | 62 | 0 | 64 | 2 | 62 | ||
| ФБУ "НИЦ ПМ - РОСТЕСТ" (RA.RU.311341) | 12 | 3 | 0 | 12 | 0 | 12 | 0 | 12 |
Стоимость поверки Меры периода и высоты линейные (TGZ1, TGZ2, TGZ3)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульный лист паспорта и на футляр.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
Меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2, TGZ3. Руководство по эксплуатации.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к мерам периода и высоты линейным TGZ1, TGZ2, TGZ3
Технические условия 3932-013-40349675-2009 ТУ и руководство по эксплуатации (паспорт) 3932-013-40349675-2009 РЭ.
Поверка
Поверкаосуществляется в соответствии с методикой, изложенной в разделе 4 Руководства по эксплуатации 3932-013-40349675-2009 РЭ и согласованной ФГУП «ВНИИМС 06.08.2009 г.
Основное средство поверки: микроскоп сканирующий зондовый атомно-силовой Solver Pro (Госреестр № 28666-10).
Изготовитель
Закрытое акционерное общество «Нанотехнология МДТ» (ЗАО «НТ-МДТ»)Адрес: 124482, Москва, Зеленоград, корп.100, E-mail: spm@ntmdt.ru, Телефон: 499-735-03-05, Факс: 499-735-64-10
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт метрологической службы» (ФГУП «ВНИИМС») Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46
Тел./факс: (495)437-55-77 / 437-56-66;
E-mail: office@vniims.ru, www.vniims.ru
Меры представляет собой совокупность шаговых структур на поверхности квадратной кремниевой монокристаллической пластины с размерами квадрата со стороной не более 5 мм, поверхность которой ориентирована параллельно кристаллографической плоскости (100). Мера состоит из одинаковых шаговых структур с прямоугольной геометрической формой элемента рельефа шаговой структуры
Внешний меры представлен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Внешний вид меры периода и высоты линейной TGZ1, TGZ2, TGZ3.
Мера TGZ - 1шт.;
Специальный футляр - 1 шт.;
Руководство по эксплуатации (паспорт) - 1шт.
Таблица 1
|
Наименование |
Значение |
|
Номинальное значение периода структуры меры, мкм |
3,00 |
|
Допускаемое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры, не более, мкм |
± 0,01 |
|
Номинальное значение высоты выступов в рельефе шаговых структур, | |
|
нм |
20 |
|
Мера TGZ1 |
110 |
|
Мера TGZ2 Мера TGZ3 |
520 |
|
Пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения высоты выступов в рельефе шаговых структур не более, нм Мера TGZ1 |
± 2 |
|
Мера TGZ2 |
± 10 |
|
Мера TGZ3 |
± 20 |
|
Условия эксплуатации: а) При работе на воздухе - температура окружающего воздуха, °С |
20 ± 3 |
|
- относительная влажность, % |
65 ± 15 3 |
|
- атмосферное давление, Па |
(100 ±4>103 |
|
б) При работе в вакуумных условиях - диапазон значений остаточного давления в камере образцов микроскопа, Па |
от 140"4 до 270 |
|
- температура держателя образца, оС |
20 ± 3 |
|
Масса меры не более, г |
5 |
|
Габаритные размеры меры, мм |
5,0х5,0х0,5 |
|
Размеры рабочей области меры, мм |
3,0х3,0 |