Номер по Госреестру СИ: 40597-09
40597-09 Микроскопы сканирующие зондовые
(SOLVER NEXT)
Назначение средства измерений:
Сканирующие зондовые микроскопы Solver NEXT, предназначены для измерений трехмерной топологии и параметров микрорельефа поверхности конденсированных сред с атомарным разрешением.
Сканирующие зондовые микроскопы Solver NEXT применяются в микро-, опто-, наноэлектронике, нанотехнологии, микромеханике, фармацевтике и микробиологии, производстве полимеров и генной инженерии, создании наноструктурных материалов, запоминающих сред, химии и химической технологии, металлургии, в лабораториях промышленных предприятий, научно-исследовательских и учебных организаций.
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства - 01.06.2014
Номер записи - 128377
ID в реестре СИ - 350777
Тип производства - серийное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Модификации СИ
Нет модификации, нет данных ,
Производитель
Изготовитель - ЗАО "Нанотехнология МДТ"
Страна - РОССИЯ
Населенный пункт - г.Москва
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Статистика
Кол-во поверок - 2
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 1
Кол-во средств измерений - 1
Кол-во владельцев - 2
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 365 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№841 от 2015.07.17 О продлении срока действия свидетельств об утверждении типа средств измерений
№639 от 2020.03.27 ПРИКАЗ. О продлении срока действия свидетельств об утверждении типа средств измерений 49 шт
Наличие аналогов СИ: Микроскопы сканирующие зондовые (SOLVER NEXT)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений ЗАО "Нанотехнология МДТ"
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
28664-05 01.03.2010 |
Микроскопы сканирующие зондовые, Ntegra ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
1 год | |
|
28664-10 07.05.2020 |
Микроскопы сканирующие зондовые, Ntegra SPECTRA, Ntegra PRIMA, Ntegra VITA, Ntegra THERMA, Ntegra AURA, Ntegra MAXIMUS, Ntegra SOLARIS, Ntegra SOLARIS Duo, Ntegra TOMO, Ntegra LIFE ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ МП |
1 год |
|
28665-05 01.04.2015 |
Микроскопы сканирующие зондовые, NanoEducator ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
28666-05 01.03.2010 |
Микроскопы сканирующие зондовые, Solver Pro ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
1 год | |
|
28666-10 07.05.2020 |
Микроскопы сканирующие зондовые, Solver HV, Solver HV-MFM, Solver SNOM, Smena, Solver PRO, Solver PRO-M, Solver FD, Solver P47-PRO, Solver PRO-EC, Solver MFM, Solver BIO-M, Solver OPEN ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ МП |
1 год |
|
40597-09 01.06.2014 |
Микроскопы сканирующие зондовые, SOLVER NEXT ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
41676-09 12.11.2019 |
Меры периода линейные, TDG01 ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
41677-09 12.11.2019 |
Меры периода линейно-угловые, TGG1 ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
41678-09 12.11.2019 |
Меры периода и высоты линейные, TGZ1, TGZ2, TGZ3 ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
41679-09 12.11.2019 |
Меры периода линейно-угловые, TGT1 ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
41680-09 12.11.2019 |
Меры периода и высоты линейные, TGQ1 ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
45580-10 |
Комплекс метрологический для измерения топологии клеточных структур и распределения показателя преломления в нанобиотехнологических процессах, Нет данных ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
Город Уфа расположен в Предуралье, в 1 363 километрах к востоку от Москвы. Уфа - столица Республики Башкортостан, крупный промышленный и культурный центр, железнодорожная станция, узел автомобильных дорог. Население (2010) 1 062 300 жителей. Разница во времени между Уфой и Москвой составляет два часа.
Уфа занимает площадь 708 км, лежит в долине притока Камы реки Белой при слиянии рек Уфа и Дема, междуречье которых образует Уфимский полуостров. Город расположен на холмистой равнине, протянувшейся на 53 километра с севера на юг и на 28 километров с востока на запад. Для региона характерен умеренно-континентальный климат с довольно холодной и продолжительной зимой, теплыми и влажными летними месяцами. Среднегодовая температура: +3,4C; средняя температура января: -14 C; средняя температура июля: +19 C. Годовое количество осадков: 577 мм.
В настоящее время в структуре городского промышленного производства наибольшую долю занимают нефтепереработка, химическая промышленность и машиностроение. Среди ведущих предприятий города - ООО "Нефтегазодобывающее управление "Уфанефть", ОАО "Уфимский НПЗ", Ново-Уфимский НПЗ, ОАО "Уфанефтехим", Уфимское моторостроительное производственное объединение (УМПО), Уфимское приборостроительное производственное объединение, ОАО "Уфимкабель", ФГУП Уфимский завод микроэлектроники "Магнетрон", ОАО "Уфимский завод "Промсвязь", НПП "Полигон", "Уфимский завод цветных металлов", Уфимский экспериментальный завод "Эталон". Развита деревообрабатывающая промышленность, строительный комплекс, легкая промышленность, пищевая промышленность, энергетика, фармацевтическая промышленность.
Отчет "Анализ рынка поверки в Уфе" предоставляет исчерпывающую информацию по деятельности организаций, аккредитованных в Национальной системе аккредитации на право поверки средств измерений в городе Уфа.
При проведении исследований были введены следующие ограничения:
- в отчете присутствуют организации с первичными или периодическими поверками от 100 шт. с 2017 года и действующими аттестатами аккредитации на текущий год;
- на первом и втором этапах фильтром отсекаются типы СИ с менее чем 10 поверками в год на организацию;
- на первом и втором этапах фильтром отсекаются типы СИ с менее чем 10 поверками в год на организацию;
- место регистрации или осуществления деятельности организаций должно совпадать с выбранным городом;
- топ типов СИ ограничен 500 позициями по каждой организации (сортировка по убыванию количества поверок);
- топ типов СИ ограничен 100 позициями по каждой организации при поиске по видам измерений (сортировка по убыванию количества поверок).
Содержание отчета:
- Список организаций-поверителей, осуществляющих поверку в городе Москва по данным ФСА и ФГИС АРШИН.
- Объемы первичных и периодических поверок за период с 2017г. по н.в.
- Информация о местах осуществления деятельности организаций-поверителей.
- Доля рынка поверок в % среди всех организаций, исследуемого города (предоставление информации в графическом и табличном видах).
- Детальный анализ по каждой из организации, работающей в выбранном городе.
- Анализ деятельности в разрезе первичных, периодических поверок и видов измерений.
- Количество поверок по типам СИ в динамике по годам.
- Индикация импортных аналогов средств поверки (в соответствии с ПЕРЕЧЕНЕМ СИ ОТЕЧЕСТВЕННОГО ПРОИЗВОДСТВА, АНАЛОГИЧНЫХ СРЕДСТВАМ ИЗМЕРЕНИЙ ИМПОРТНОГО ПРОИЗВОДСТВА от 09.2022г)
- Индикация типов СИ по ПП РФ №250 от 20.04.2010 г.
- Быстрый анализ контрагентов организаций-поверителей.
- Анализ цен на поверку СИ по Фед. округу.
Кто поверяет Микроскопы сканирующие зондовые (SOLVER NEXT)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ФГУП "ВНИИОФИ" (RA.RU.311485) | РСТ | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 | ||
| ФГУП «СНИИМ» (73) | РСТ | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
Стоимость поверки Микроскопы сканирующие зондовые (SOLVER NEXT)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится в виде наклейки на заднюю панель контроллера и на заднюю панель измерительного блока, а также на титульный лист руководства по эксплуатации.
Сведения о методиках измерений
Нормативные и технические документы
ГОСТ Р 8.628-2007 «ГСП. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления»
ГОСТ Р 8.629-2007 «ГСП. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем. Методика поверки»
ГОСТ Р 8.630-2007 «ГСП. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Методика поверки»
Технические условия «Микроскоп сканирующий зондовый SOLVER NEXT» (ТУ 4254-00440349675-2008)
Заключение
Тип микроскопов сканирующих зондовых SOLVER NEXT утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведёнными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен при выпуске из производства и в эксплуатации.
Сканирующие зондовые микроскопы (СЗМ) представляют собой стационарные автоматизированные многофункциональные измерительные системы.
СЗМ обеспечивает работу как в режиме сканирующего туннельного микроскопа (СТМ), так и атомно-силового микроскопа (АСМ) с использованием различных методик зондовой микроскопии.
Принцип действия СТМ основан на квантовом эффекте туннелирования электронов через узкий потенциальный барьер между исследуемой проводящей поверхностью образца и острием микрозонда. Детектируя туннельный ток, протекающий при постоянном электрическом смещении между микрозондом и образцом, получают информацию о топографии проводящей поверхности в атомном масштабе. АСМ реализует принцип измерений силы, действующей на острие микрозонда со стороны исследуемой поверхности, как проводящих, так и диэлектрических сред. Поддерживая с помощью обратной связи постоянной силу взаимодействия между микрозондом и поверхностью образца, регистрируют положение острия микрозонда, что позволяет получить трехмерное изображение топографии поверхности.
В состав СЗМ входит: электронный блок управления - СЗМ контроллер, базовый блок Solver NEXT (оптическая система регистрации отклонений кантилевера, система сканирования, система автоматической юстировки, модуль СТМ, модуль АСМ, оптическая система видеонаблюдения с моторизованным непрерывным увеличением, фокусировкой и позиционированием рабочей области с разрешением 3 мкм или 1 мкм), USB-кабель для соединения СЗМ контроллера с рабочей станцией, кабель разъема «STEP MOTORS» для управления микроперемещателями, кабель разъема «HEAD», кабель разъема «CONTROLLER 2», программное обеспечение для получения и обработки изображений (NOVA-P9), набор кантилеверов (измерительных зондов), набор кремниевых решеток для калибровки сканера, подложка для крепления образцов, рабочие принадлежности для СЗМ Solver NEXT.
В качестве зонда в АСМ используется чувствительный элемент - кантилевер, который представляет собой кремниевый монокристалл, на котором сформирована балочная структура с острием в виде микроиглы. В СТМ в качестве зонда используется металлическая игла из платиновых сплавов.
Сканирование в различных диапазонах обеспечивается с помощью подачи на пьезотрубку сканера напряжения соответствующего значения. Использование в СЗМ Solver NEXT низкошумящих емкостных датчиков в процессе сканирования позволяет уменьшить влияние нелинейности пьезосканера и обеспечить возможность более точных измерений.
Конструкция СЗМ Solver NEXT обеспечивает автоматический подвод образца к зонду; автоматическую установку АСМ/СТМ головок в рабочее положение без дополнительных приспособлений; простую процедуру замены зондового датчика; простую процедуру замены и установки образца. Приборы позволяют проводить сканирование образцом, комбинированно на воздухе и в жидких средах.
Управление процессом измерений осуществляется от контроллера и PC совместимого компьютера с помощью программного обеспечения. Управляющие сигналы от СЗМ-контроллера поступают в измерительный узел Solver NEXT. Управление СЗМ-контроллером осуществляется с помощью компьютерного программного обеспечения. При помощи программного обеспечения осуществляется настройка прибора, оптимизация его параметров, управление режимами работы, выполнение сканирования, обработка результатов измерений и их хранение.
Конструктивно СЗМ Solver NEXT выполнен в виде настольного прибора с отдельно устанавливаемым компьютером. По заказу прибор оснащается широким набором дополнительных устройств и принадлежностей.
Комплект поставки определяется заказом и отражается в спецификации. Основной комплект включает:
|
№ |
Описание |
Кол-во |
|
1 |
Электронный блок управления - СЗМ контроллер. |
1 шт. |
|
2 |
Базовый блок Solver NEXT (оптическая система регистрации отклонений кантилевера, система сканирования, система автоматической юстировки, модуль СТМ, модуль АСМ, оптическая система видеонаблюдения с моторизованным непрерывным увеличением, фокусировкой и позиционированием рабочей области с разрешением 3 мкм или 1 мкм). |
1 шт. |
|
3 |
USB-кабель для соединения СЗМ контроллера с рабочей станцией. |
1 шт. |
|
4 |
Кабель разъема «STEP MOTORS» для управления микроперемещателями. |
1 шт. |
|
5 |
Кабель разъема «HEAD». |
1 шт. |
|
6 |
Кабель разъема «CONTROLLER 2». |
1 шт. |
|
7 |
Программное обеспечение для получения и обработки изображений (NOVA-P9). |
1 шт. |
|
8 |
Набор кантилеверов (измерительных зондов). |
50 шт. |
|
9 |
Набор кремниевых решеток для калибровки сканера. |
3 шт. |
|
10 |
Подложка для крепления образцов. |
5 шт. |
|
11 |
Рабочие принадлежности для СЗМ Solver NEXT. |
1 шт. |
|
12 |
Паспорт «Микроскоп сканирующий зондовый SOLVER NEXT» |
1 шт. |
|
Параметры |
Значение |
|
1 Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм |
от 0 до 90 |
|
2 Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
от 0 до 10 |
|
3 Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY (%) |
±1 |
|
4 Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров по оси Z (%) |
±5 |
|
5 Разрешение в плоскости XY, нм, не более |
0,02 |
|
6 Разрешение в плоскости XY с датчиками обратной связи, нм, не более |
0,3 |
|
7 Нелинейность сканирования в плоскости XY с датчиками обратной связи, %, не более |
0,1 |
|
8 Неортогональность сканера по оси Z, градус, не более |
5 |
|
9 Неортогональность сканера в плоскости XY, градус, не более |
2 |
|
10 Неплоскостность сканирования в плоскости XY, нм, не более |
200 |
|
11 Максимальное число точек сканирования по X и Y, Nx х Ny |
4000 х 4000 |
|
12 Диапазон позиционирования образца в плоскости XY (с минимальным шагом позиционера 0,3 мкм), мм, не менее |
5x5 |
|
13 Разрешающая способность оптической системы видеонаблюдения, мкм, не более |
2 |
|
Параметры |
Значение |
|
14 Разрешение в плоскости XY, нм, не более |
0,24 |
|
15 Дрейф в плоскости XY, А/с, не более |
2 |
|
16 Дрейф по оси Z, А/с, не более |
1,5 |
|
17 Габаритные размеры электронного блока (ДхШ*В), мм, не более |
445x160x500 |
|
18 Габаритные размеры базового блока Solver NEXT (ДхЩхВ), мм, не более |
320x215x470 |
|
19 Длина кабеля, м, не менее:
|
2,0 1,5 1,5 1,5 1,8 |
|
20 Масса, кг, не более:
|
14 30 |
|
21 Номинальное напряжение электропитания (переменного тока), В |
(110 / 220)±10 |
|
22 Потребляемая мощность, Вт, не более |
400 |
|
23 Время выхода прибора на рабочий режим после включения в сеть, мин, не более |
5 |
|
24 Время непрерывной работы прибора, ч, не менее |
8 |
|
25 Размеры исследуемых образцов (диаметр х толщина), мм, не более |
20 х 7 |
|
26 Масса исследуемых образцов, г, не более |
20 |
|
28 Условия эксплуатации:
|
20 ±5 65 ±15 760 ± 30 1 0,5 |