Номер по Госреестру СИ: 87607-22
87607-22 Микроскопы конфокальные
(MarSurf CM)
Программное обеспечение
Программное обеспечение (ПО) «MarSurf MSW» и «MarSurf MFM» является специализированным ПО микроскопов и предназначено для управления механическими частями, для непосредственного измерения, для обработки полученных результатов, построения трехмерных изображений рельефа поверхности, выделения отдельных профилей поверхности в заданном направлении и гистограммы распределения пиков по высоте, а также позволяет рассчитывать параметры шероховатости .
Конструкция СИ исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО систем и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные программного обеспечения (ПО) приведены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения.
Идентификационные данные (признаки) |
Значение | |
Идентификационное наименование ПО |
MarSurf MSW |
MarSurf MFM |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
v. 8.2.2.28469 и выше |
v. 9.0 и выше |
Цифровой идентификатор ПО |
- |
- |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийприведены в разделе «Выполнение измерений» или «Измерение с использованием MarSurf CM» руководств по эксплуатации.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к средству измеренийПриказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 6 ноября 2019 г. № 2657 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 12000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм»;
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 29 декабря 2018 г. № 2840 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений длины в диапазоне от Т10'9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм»;
Техническая документация изготовителя.
ПравообладательMahr GmbH, Германия
Адрес: Max-Planck-Ring 48, 46049 Oberhausen, Германия
Телефон +49 208 62 000-0, факс +49 208 62 000-99
E-mail: info@mahr.de
Изготовитель
Mahr GmbH, ГерманияАдрес: Max-Planck-Ring 48, 46049 Oberhausen, Германия Телефон +49 208 62 000-0, факс +49 208 62 000-99 E-mail: info@mahr.de
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт метрологической службы»Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
Тел.: +7 (495) 437-55-77, факс: +7 (495) 437-56-66
E-mail: office@vniims.ru, web-сайт: www.vniims.ru
Правообладатель
Mahr GmbH, ГерманияАдрес: Max-Planck-Ring 48, 46049 Oberhausen, Германия
Телефон +49 208 62 000-0, факс +49 208 62 000-99
E-mail: info@mahr.de
Таблица 4 - Комплектность средств измерений
Наименование |
Количество |
Обозначение |
Микроскоп конфокальный |
1 шт. |
MarSurf CM |
Объективы* |
- |
3200S, 1600S, 800L, 800S, 800XS, 320L, 320S, 320XS, 160L, 160S, 160XS |
Персональный компьютер |
1 шт. |
- |
Монитор |
1 шт. |
- |
Руководство по эксплуатации |
1 экз. |
- |
* Количество и модели объективов определяются при заказе микроскопа и указываются в руководстве по эксплуатации. |
Таблица 2 - Метрологические характеристики микроскопов
Наименование характеристики |
Значение | ||||
Увеличение |
5х |
10х |
20х |
20х |
20х |
Модель объектива |
3200S |
1600S |
800L |
800S |
800XS |
Диапазон измерений линейных размеров по осям X и Y, мкм |
от 2,67 до 3200 |
от 1,33 до 1600 |
от 0,67 до 800 |
от 0,67 до 800 |
от 0,67 до 800 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по осям X и Y, мкм |
±(6+1750), где L измеряемая величина в мкм |
±(3+1750), где L измеряемая величина в мкм |
±(2,2+1750), где L измеряемая величина в мкм | ||
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
- |
от 1 до 9000 |
от 1 до 9000 |
от 0,2 до 3000 |
от 0,1 до 900 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
±(0,088+4-17100), где L - измеряемая величина в мкм |
±(0,05+4-17100), где L - измеряемая величина в мкм |
±(0,04+3-L/100), где L - измеряемая величина в мкм |
±(0,026+3-L/100), где L - измеряемая величина в мкм | |
Диапазон измерений шероховатости по параметру Ra, мкм |
от 1 до 10 |
от 1 до 5 |
от 0,2 до 5 |
от 0,1 до 5 | |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений шероховатости по параметру Ra, мкм |
±(0,08+4-17100), где L измеряемая величина в мкм |
±(0,04+4-17100), где L измеряемая величина в мкм |
±(0,025+3-L/100), где L измеряемая величина в мкм |
±(0,008+3-L/100), где L измеряемая величина в мкм |
Продолжение таблицы 2
Наименование характеристики |
Значение | |||||
Увеличение |
5 Ох |
5 Ох |
5 Ох |
ЮОх |
ЮОх |
ЮОх |
Модель объектива |
320L |
320S |
320XS |
160L |
160S |
160XS |
Диапазон измерений линейных размеров по осям X и Y, мкм |
от 0,36 до 320 |
от 0,36 до 320 |
от 0,36 до 320 |
от 0,32 до 160 |
от 0,32 до 160 |
от 0,32 до 160 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по осям X и Y, мкм |
±(1,5±1750), где L - измеряемая величина в мкм |
±(1,1+1750), где L - измеряемая величина в мкм | ||||
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
от 0,1 до 9000 |
от 0,05 до 900 |
от 0,01 до 250 |
от 0,05 до 3000 |
от 0,01 до 900 |
от 0,01 до 250 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
±(0,026+4-17100) , где L -измеряемая величина в мкм |
±(0,022+3-L/100) , где L -измеряемая величина в мкм |
±(0,022+3-L/100) , где L -измеряемая величина в мкм |
±(0,022+3-L/100) , где L -измеряемая величина в мкм |
±(0,011+3-L/100), где L -измеряемая величина в мкм |
±(0,011+3-17100), где L -измеряемая величина в мкм |
Диапазон измерений шероховатости по параметру Ra, мкм |
от 0,1 до 2 |
от 0,05 до 2 |
от 0,01 до 2 |
от 0,05 до 1 |
от 0,01 до 1 |
от 0,01 до 1 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений шероховатости по параметру Ra, мкм |
±(0,01+4-17100), где L -измеряемая величина в мкм |
±(0,002+3-17100), где L -измеряемая величина в мкм |
±(0,001+3-17100), где L -измеряемая величина в мкм |
±(0,002+3-L/100), где L -измеряемая величина в мкм |
±(0,001+3-17100), где L -измеряемая величина в мкм |
±(0,001+3-17100), где L -измеряемая величина в мкм |
Таблица 3 - Технические характеристики микроскопов
Наименование характеристики |
Значение характеристики | |||
explorer |
expert |
select |
mobile | |
Габаритные размеры, мм, не более - длина |
383 |
526 |
900 |
417 |
- ширина |
290 |
378 |
750 |
136 |
- высота |
690 |
799 |
1614 |
234 |
Масса, кг, не более |
25 |
50 |
300 |
9 |
Условия эксплуатации
|
от +18 до +22 до 80 |