Номер по Госреестру СИ: 87355-22
87355-22 Модуль анализа поверхности кристаллов и пластин - стилусный профилометр
(KLA-Tencor P-17)
Назначение средства измерений:
Модуль анализа поверхности кристаллов и пластин - стилусный профилометр KLA-Tencor P-17 (далее - профилометр) предназначен измерений параметров шероховатости поверхностей изделий и линейных высотных размеров неровностей.
Общие сведения
Дата публикации - 21.11.2022
Срок свидетельства -
Номер записи - 189390
ID в реестре СИ - 1403905
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 2 года
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
-,
Производитель
Изготовитель - KLA-Tencor
Страна - КИТАЙ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности -
Отчет "Анализ рынка поверки организаций Воронежской области" предоставляет исчерпывающую информацию об организациях, оказывающих услуги поверки с местом осуществления деятельности Воронеж и Воронежская область.
Параметры исследований:
- фильтр по работающим в регионе организациям-поверителям по данным ФСА и ФГИС АРШИН
- объемы первичных и периодических поверок за период 2017г. по н.в.
- фильтр по местам осуществления деятельности
- предоставление информации в графическом и табличном видах
- детальное рассмотрение деятельности каждой из организаций региона по годам
- анализ в разрезе первичных, периодических поверок и видов измерений
- количество поверок по типам СИ в динамике по годам
- перечень эталонов организаций с отображением нагрузки на эталон в динамике по дням
- индикация импортных аналогов средств поверки (в соответствии с ПЕРЕЧЕНЕМ СИ ОТЕЧЕСТВЕННОГО ПРОИЗВОДСТВА, АНАЛОГИЧНЫХ СРЕДСТВАМ ИЗМЕРЕНИЙ ИМПОРТНОГО ПРОИЗВОДСТВА от 09.2022г)
- индикация типов СИ по ПП РФ №250 от 20.04.2010 г.
- быстрый анализ контрагентов организаций-поверителей
- анализ цен на поверку СИ по региону
Статистика
Кол-во поверок - 1
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 0
Кол-во средств измерений -
Кол-во владельцев -
Усредненный год выпуска СИ -
МПИ по поверкам - дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№2917 от 2022.11.18 ПРИКАЗ_Об утверждении типов средств измерений (16)
Наличие аналогов СИ: Модуль анализа поверхности кристаллов и пластин - стилусный профилометр (KLA-Tencor P-17)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Отчет Дерево связей позволяет получить информацию об организациях, оказывающих услуги поверки выбранному владельцу средств измерений.
Отчет выполнен в виде графа. Красной парной связью показаны связи между владельцем СИ и поверителями, серой парной связью показаны прочие клиенты поверителя.
В целях обеспечения читаемости графа максимальное количество связей ограничено 50 (для владельца СИ и каждого из поверителей). Кроме того, связь отображается только в том случае, если количество поверок между владельцем и поверителем превышает 50 шт. за весь период существования базы (с 2010 года).
Кто поверяет Модуль анализа поверхности кристаллов и пластин - стилусный профилометр (KLA-Tencor P-17)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ФГБУ "ВНИИМС" (RA.RU.311493) | РСТ | 1 | 1 | 0 | 0 | 1 | 1 | 0 |
Стоимость поверки Модуль анализа поверхности кристаллов и пластин - стилусный профилометр (KLA-Tencor P-17)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Система имеет в своем составе программное обеспечение (ПО), встроенное в аппаратное устройство операторского персонального компьютера, разработанное для конкретных измерительных задач, осуществляющее измерительные функции, функции получения и передачи измерительной информации. За метрологически значимое принимается все ПО.
Программное обеспечение Profiler является специализированным ПО профилометра и предназначено для его управления и обработки результатов измерений. ПО не может быть использовано отдельно от профилометра.
Конструкция профилометра исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО профилометра и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений. Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Главной защитой ПО является встроенный менеджер лицензий (специальная программа, направленная на борьбу с нарушением авторских прав на компьютерное пиратство) использует 128-битное шифрование по алгоритму AES (симметричный алгоритм блочного шифрования информации), привязывающая ПО и его модули к аппаратному идентификатору управляющего компьютера и серийному номеру системы, что позволяет предотвратить неавторизованное использование ПО. Оператор системы не имеет прав доступа (на уровне операционной системы) для самостоятельной модификации системных файлов, установленного на управляющий компьютер ПО, а также для установки стороннего ПО.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014. Идентификационные данные (признаки) ПО указаны в таблице 1.
аблица 1 - Идентификационные данные ПО профилометра
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
Profiler |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО, не ниже |
v 8.0 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в разделе 9 «Порядок работы» руководства по эксплуатации.
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к средству измеренийГосударственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 12000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм, утвержденная приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 6 ноября 2019 г. № 2657
Правообладатель
KLA-Tencor, Китай
Адрес: 518129, Китай, Шензен, Индустриальный парк
Тел./факс: +1 (408) 875-3000
Web-сайт: https://www.kla.com, E-mail: info@kla.com
Изготовитель
KLA-Tencor, КитайАдрес: 518129, Китай, Шензен, Индустриальный парк
Тел./факс: +1 (408) 875-3000
Web-сайт: https://www.kla.com/
E-mail: info@kla.com
Испытательный центр
Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научноисследовательский институт метрологической службы» (ФГБУ «ВНИИМС»)ИНН 9729315781
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
Тел.: +7 (495) 437-55-77, факс: +7 (495) 437-56-66
E-mail: office@vniims.ru, web-сайт: www.vniims.ru
Правообладатель
KLA-Tencor, Китай
Адрес: 518129, Китай, Шензен, Индустриальный парк
Тел./факс: +1 (408) 875-3000
Web-сайт: https://www.kla.com, E-mail: info@kla.com
Принцип действия профилометра основан на ощупывании неровностей исследуемой поверхности алмазной иглой (щупом) и преобразовании возникающих при этом механических колебаний щупа в изменения емкостного сопротивления, пропорциональные этим колебаниям, которые усиливаются и преобразуются в процессоре. Результаты измерений выводятся на экран персонального компьютера (в виде профилограммы и числовых значений параметров шероховатости). Питание профилометра осуществляется от сети переменного тока через адаптер или от батареи.
Профилометр является стационарным измерительным устройством и состоит из блока привода с емкостным датчиком и блока обработки информации.
Управление и настройка профилометра осуществляются с помощью мышки и клавиатуры компьютера, подключаемого к блоку электроники. Все данные и изображения могут быть выведены на монитор или сохранены в компьютере.
Заводской (серийный) номер профилометра имеет цифровое обозначение и нанесен на корпус профилометра в виде шильды с УФ-печатью и нанесенным вручную заводским номером. Пломбирование профилометра не предусмотрено. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке. Общий вид профилометра приведен на рисунке 1.
К прибору модуль анализа поверхности кристаллов и пластин - стилусный профилометр KLA-Tencor P-17 данного типа относится прибор с заводским номером № 7092007.
KL/J^encor
р -17
Рисунок 1 - Внешний вид модуля анализа поверхности кристаллов и пластин - стилусного профилометра KLA-Tencor P-17
Таблица 2 - Метрологические характеристики профилометра
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений шероховатости по параметру Ra, мкм |
от 0,001 до 90 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений параметра Ra, % |
±5 |
|
Диапазон измерений высот неровностей, мкм |
от 0,003 до 327 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений высот неровностей, мкм |
±(0,006 +L/20), где L -измеряемая высота, нм |
|
Повторяемость результатов измерений высоты ступени (для неровностей высотой не более 1 мкм), не более, нм |
2,5 |
|
Повторяемость результатов измерений высоты ступени (для неровностей высотой свыше 1 мкм), не более, % |
0,25 |
Таблица 3 - Технические характеристики профилометра
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Максимальный диаметр образцов, мм |
200 |
|
Угол поворота образца вокруг оси, ° |
360 |
|
Максимальная толщина образцов, мм |
55 |
|
Габаритные размеры, не более, мм: -длина, |
780 |
|
-ширина, |
570 |
|
-высота |
450 |
|
Питающее напряжение, В |
от 210 до 230 |
|
Частота, Г ц |
50 |
|
Потребляемая мощность, В^А, не более |
1500 |
Таблица 4 — Условия эксплуатации
|
Диапазон рабочих температур, °С |
от +18 до + 22 |
|
Относительная влажность, %, не более, без конденсата |
80 |