Паспорт средства измерений Меры периода и высоты линейные, заводской номер 909007-13-062

ПАСПОРТ СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ

Номер в гос. реестре

41678-09

Наименование типа СИ (обозначение)

Меры периода и высоты линейные (TGZ1, TGZ2, TGZ3)

Назначение средства измерений

 Меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2, TGZ3 (далее - меры) относятся к классу мер рельефных нанометрового диапазона и предназначены для передачи размера единицы длины в диапазоне от 10-9 до 10-4 м и поверки (калибровки) оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих атомно-силовых микроскопов и других средств измерений малой длины.

Модификация

TGZ3

Описание типа

2014-41678-09.pdf

Тип производства

 Серийное

Заводской номер

909007-13-062

Год производства (возраст, лет)

2013 (11)

Производитель

ЗАО "Нанотехнология МДТ"
Страна - РОССИЯ
Населенный пункт - г.Москва

Все поверки данного средства измерений

Организация поверитель Модификация Условный шифр знака поверки Тип поверки Дата поверки Дейтвительна до Наименование документа, на основании которого выполнена поверка Номер свидетельства (извещения) Владелец СИ Знак поверки в паспорте Знак поверки на СИ
Организация поверитель Модификация Условный шифр знака поверки Тип поверки Дата поверки Дейтвительна до Наименование документа, на основании которого выполнена поверка Номер свидетельства (извещения) Владелец СИ Знак поверки в паспорте Знак поверки на СИ
RA.RU.311493 от 2015-12-28
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МЕТРОЛОГИЧЕСКОЙ СЛУЖБЫ"
(ФГБУ "ВНИИМС")
ИНН: 9729315781
Действует		TGZ3МПериодическая31.08.202330.08.2024раздел 4 Руководства по эксплуатации 3932-013-40349675-2009 РЭC-М/31-08-2023/274543183ФГУП "ВНИИФТРИ" Нет Нет

Технические и метрологические характеристики СИ -

Меры периода и высоты линейные (TGZ1, TGZ2, TGZ3)

приведены в таблице 1.

Таблица 1

Наименование

Значение

Номинальное значение периода структуры меры, мкм

3,00

Допускаемое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры, не более, мкм

± 0,01

Номинальное значение высоты выступов в рельефе шаговых структур,

нм

20

Мера TGZ1

110

Мера TGZ2

Мера TGZ3

520

Пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения высоты выступов в рельефе шаговых структур не более, нм

Мера TGZ1

± 2

Мера TGZ2

± 10

Мера TGZ3

± 20

Условия эксплуатации: а) При работе на воздухе

- температура окружающего воздуха, °С

20 ± 3

- относительная влажность, %

65 ± 15 3

- атмосферное давление, Па

(100 ±4>103

б) При работе в вакуумных условиях

- диапазон значений остаточного давления в камере образцов микроскопа, Па

от 140"4 до 270

- температура держателя образца, оС

20 ± 3

Масса меры не более, г

5

Габаритные размеры меры, мм

5,0х5,0х0,5

Размеры рабочей области меры, мм

3,0х3,0


Заявитель


Испытательный центр


Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт метрологической службы» (ФГУП «ВНИИМС») Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46
Тел./факс: (495)437-55-77 / 437-56-66;
E-mail: office@vniims.ru, www.vniims.ru

Правообладатель


Изготовитель

Закрытое акционерное общество «Нанотехнология МДТ» (ЗАО «НТ-МДТ»)
Адрес: 124482, Москва, Зеленоград, корп.100, E-mail: spm@ntmdt.ru, Телефон: 499-735-03-05, Факс: 499-735-64-10

Внешний вид средства измерений: Меры периода и высоты линейные, заводской номер №909007-13-062
Внешний вид средства измерений: Меры периода и высоты линейные, заводской номер №909007-13-062

Все средства измерений ЗАО "Нанотехнология МДТ"

№ в реестре
cрок св-ва 		Наименование СИ, обозначение, изголовитель ОТ, МП МПИ
28664-05
01.03.2010
 Микроскопы сканирующие зондовые, Ntegra
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		1 год
28664-10
07.05.2020
 Микроскопы сканирующие зондовые, Ntegra SPECTRA, Ntegra PRIMA, Ntegra VITA, Ntegra THERMA, Ntegra AURA, Ntegra MAXIMUS, Ntegra SOLARIS, Ntegra SOLARIS Duo, Ntegra TOMO, Ntegra LIFE
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		ОТ
МП 		1 год
28665-05
01.04.2015
 Микроскопы сканирующие зондовые, NanoEducator
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		ОТ
1 год
28666-05
01.03.2010
 Микроскопы сканирующие зондовые, Solver Pro
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		1 год
28666-10
07.05.2020
 Микроскопы сканирующие зондовые, Solver HV, Solver HV-MFM, Solver SNOM, Smena, Solver PRO, Solver PRO-M, Solver FD, Solver P47-PRO, Solver PRO-EC, Solver MFM, Solver BIO-M, Solver OPEN
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		ОТ
МП 		1 год
40597-09
01.06.2014
 Микроскопы сканирующие зондовые, SOLVER NEXT
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		ОТ
1 год
41676-09
12.11.2019
 Меры периода линейные, TDG01
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		ОТ
1 год
41677-09
12.11.2019
 Меры периода линейно-угловые, TGG1
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		ОТ
1 год
41678-09
12.11.2019
 Меры периода и высоты линейные, TGZ1, TGZ2, TGZ3
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		ОТ
1 год
41679-09
12.11.2019
 Меры периода линейно-угловые, TGT1
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		ОТ
1 год
41680-09
12.11.2019
 Меры периода и высоты линейные, TGQ1
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		ОТ
1 год
45580-10

 Комплекс метрологический для измерения топологии клеточных структур и распределения показателя преломления в нанобиотехнологических процессах, Нет данных
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		ОТ
1 год

Статистика

Кол-во поверок - 150
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 100
Кол-во средств измерений - 45
Кол-во владельцев - 14
Усредненный год выпуска СИ - 2013
МПИ по поверкам - 376 дн.

Кто поверяет Меры периода и высоты линейные (TGZ1, TGZ2, TGZ3)

Наименование организации Cтатус
ФГУП "ВНИИМС"
(01.00225-2011)		 РСТ
ФГУП "ВНИИМС"
(RA.RU.311493)		 РСТ
АО "НИЦПВ"
(RA.RU.311409)
АО "НИЦПВ"
(RA.RU.311409)
ФГУП «ВНИИМС»
(RA.RU.311493)		 РСТ
ФГБУ "ВНИИМС"
(RA.RU.311493)		 РСТ

Стоимость поверки Меры периода и высоты линейные (TGZ1, TGZ2, TGZ3)

Организация, регион Стоимость, руб Средняя стоимость

Какие модификации данного типа СИ еще существуют

TGZ1; TGZ2; TGZ3; Мера периода и высоты линейная TGZ1; Мера периода и высоты линейная TGZ2; Мера периода и высоты линейная TGZ3;

Изучите паспорта на средства измерений

  1. #137190720
  2. #178729327
  3. #7195395
  4. #93295755
  5. #15790832
  6. #219835003
  7. #66941972
  8. #189072674
  9. #181566992
  10. #274090851
  11. #244082571
  12. #172238653
  13. #225459562
  14. #275329155
  15. #13863229
  16. #275502418
  17. #269002658
  18. #32771738
  19. #43489451
  20. #265087254
  21. #25750076
  22. #156059965
  23. #46343914
  24. #275584988
  25. #174861425
  26. #225943302
  27. #256523164
  28. #238352552
  29. #207685427
  30. #46988240
  31. #223065245
  32. #43074262
  33. #265770415
  34. #40326620
  35. #83728124
  36. #17068167
  37. #259118010
  38. #60395304
  39. #257390082
  40. #159107787
Настройки внешнего вида
Цветовая схема
Ширина
Левая панель