Паспорт средства измерений Микроскопы сканирующие зондовые, заводской номер 100201-16-007

ПАСПОРТ СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ

Номер в гос. реестре

28664-10

Наименование типа СИ (обозначение)

Микроскопы сканирующие зондовые (Ntegra SPECTRA, Ntegra PRIMA, Ntegra VITA, Ntegra THERMA, Ntegra AURA, Ntegra MAXIMUS, Ntegra SOLARIS, Ntegra SOLARIS Duo, Ntegra TOMO, Ntegra LIFE)

Назначение средства измерений

 Микроскопы сканирующие зондовые Ntegra SPECTRA, Ntegra PRIMA, Ntegra VITA, Ntegra THERMA, Ntegra AURA, Ntegra MAXIMUS, Ntegra SOLARIS, Ntegra SOLARIS Duo, Ntegra TOMO, Ntegra LIFE (далее C3M Ntegra) предназначены для измерений трехмерной топологии и параметров микрорельефа поверхности конденсированных сред с атомарным разрешением.

Модификация

Микроскоп сканирующий зондовый Ntegra PRIMA

Описание типа

2015-28664-10.pdf

Тип производства

 Серийное

Заводской номер

100201-16-007

Год производства (возраст, лет)

Год производства не указан

Производитель

ЗАО "Нанотехнология МДТ"
Страна - РОССИЯ
Населенный пункт - г.Москва

Все поверки данного средства измерений

Организация поверитель Модификация Условный шифр знака поверки Тип поверки Дата поверки Дейтвительна до Наименование документа, на основании которого выполнена поверка Номер свидетельства (извещения) Владелец СИ Знак поверки в паспорте Знак поверки на СИ
Организация поверитель Модификация Условный шифр знака поверки Тип поверки Дата поверки Дейтвительна до Наименование документа, на основании которого выполнена поверка Номер свидетельства (извещения) Владелец СИ Знак поверки в паспорте Знак поверки на СИ
RA.RU.311409 от 2015-11-19
АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО "НАУЧНО- ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР ПО ИЗУЧЕНИЮ СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТИ И ВАКУУМА"
(АО "НИЦПВ")
ИНН: 7728309630
Прекращен
2022-12-02		Микроскоп сканирующий зондовый Ntegra PRIMAВХЯПериодическая14.12.202113.12.2022МП 28664-10C-ВХЯ/14-12-2021/118213547НИЦ «Курчатовский институт» - ВИАМ Нет Нет
RA.RU.311409 от 2015-11-19
АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО "НАУЧНО- ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР ПО ИЗУЧЕНИЮ СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТИ И ВАКУУМА"
(АО "НИЦПВ")
ИНН: 7728309630
Прекращен
2022-12-02		Микроскоп сканирующий зондовый Ntegra PRIMAВХЯПериодическая26.06.202325.06.2024МП 28664-10C-ВХЯ/26-06-2023/257593917НИЦ "КУРЧАТОВСКИЙ ИНСТИТУТ" - ВИАМ Нет Нет
RA.RU.311409 от 2015-11-19
АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО "НАУЧНО- ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР ПО ИЗУЧЕНИЮ СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТИ И ВАКУУМА"
(АО "НИЦПВ")
ИНН: 7728309630
Прекращен
2022-12-02		Микроскоп сканирующий зондовый Ntegra PRIMAВХЯПериодическая19.09.202418.09.2025МП 28664-10C-ВХЯ/19-09-2024/371868746НИЦ "КУРЧАТОВСКИЙ ИНСТИТУТ" - ВИАМ Нет Нет

Технические и метрологические характеристики СИ -

Микроскопы сканирующие зондовые (Ntegra SPECTRA, Ntegra PRIMA, Ntegra VITA, Ntegra THERMA, Ntegra AURA, Ntegra MAXIMUS, Ntegra SOLARIS, Ntegra SOLARIS Duo, Ntegra TOMO, Ntegra LIFE)

приведены в таблице 3.

Таблица 3

Параметр

Значение

Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY не менее, мкм

0-90*

Диапазон измерений линейных размеров по оси Z не менее, мкм

0-10*

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY не более, %

±1

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров по оси Z не более, %

±5

Пределы допускаемой абсолютной погрешности сличения геометрических размеров в режиме компаратора (при номинальных размерах более 10 нм), нм

±(1+0,001L)

У гол между осями сканирования X и Y, градус

90,0±1,5

У гол между осью Z и нормалью к плоскости XY не более, градус

5

Нелинейность сканирования в плоскости XY не более, %

0,5

Неплоскостность сканирования в плоскости XY не более, нм

100

Разрешение в плоскости XY не более, нм

0,15

Разрешение по оси Z не более, нм

0,1

Дрейф в плоскости XY не более, нм/с

0,2

Дрейф по оси Z не более, нм/с

0,15

Максимальное число точек сканирования по X и Y

4000x4000

Размеры исследуемых образцов (диаметр х толщина) не более, мм

100 х 20

Напряжение питания переменного тока, В

110/220

(+10/-15%)

Потребляемая мощность не более, Вт

120

Г абаритные размеры электронного блока не более, мм

445x160x500

Г абаритные размеры СЗМ не более, мм

240x345x280

Масса не более, кг

60

*Метрологические характеристики указаны для СЗМ семейства Ntegra с измерительной головкой типа «СМЕНА». При использовании других измерительных головок и сканеров из комплекта СЗМ семейства Solver показатели точности измерений метрологически не нормируются. Соотношение между техническими возможностями различных типов измерительных головок и сканеров представлены таблице 4 и 5.

Таблица 4. Микроскопы снабженные сканерами с емкостными датчиками перемещения

Технические характеристики

ИГ   типа

«Смена»

Нижний

сканер

ИГ   типа

«СНОМ»

Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм

100±10

100±10

100±10

Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм

10±1

10±1

10±1

У гол между осями сканирования X и Y, градус

90,0±1,5

90,0±1,5

90,0±1,5

Угол между осью Z и нормалью к плоскости XY не более, градус

5,0

5,0

5,0

Величина нелинейности сканирования в плоскости XY не более, %

0,5

0,5

0,5

Величина неплоскостности сканирования по XY не более, нм

100

200

400

Таблица 5. Микроскопы снабженные сканерами без емкостных датчиков перемещения

Технические характеристики

Нижние сканеры

ИГ   типа

«Смена»

1 мкм

3 мкм

10 мкм

100 мкм

100 мкм

Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм

1,0±0,1

3,0±0,3

10,0±1,0

100±10

100±10

Диапазон измерений линейных размеров по оси Z не менее, мкм

1.1

1.5

2

3.5

3.5

У гол между осями сканирования X и Y, градус

-

90,0±2,0

90,0±2,0

90,0±2,0

90,0±2,0

У гол между осью Z и нормалью к плоскости XY не более, градус

-

5,0

5,0

5,0

5,0

Величина нелинейности сканирования в плоскости XY не более, %

-

1,0

1,0

1,0

1,0

Величина неплоскостности сканирования по XY не более, нм

-

20

20

200

200


Заявитель


Испытательный центр

Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт метрологической службы» (ФГУП «ВНИИМС»)
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46
Тел./факс: (495)437-55-77 / 437-56-66;
E-mail: office@vniims.ru, www.vniims.ru

Правообладатель


Изготовитель


Закрытое акционерное общество «Нанотехнология МДТ» (ЗАО «НТ-МДТ»)
Адрес: 124482, Москва, Зеленоград, корп.100,
E-mail: spm@ntmdt.ru,
Телефон: 499-735-03-05, Факс: 499-735-64-10

Внешний вид средства измерений: Микроскопы сканирующие зондовые, заводской номер №100201-16-007
Внешний вид средства измерений: Микроскопы сканирующие зондовые, заводской номер №100201-16-007

Все средства измерений ЗАО "Нанотехнология МДТ"

№ в реестре
cрок св-ва 		Наименование СИ, обозначение, изголовитель ОТ, МП МПИ
28664-05
01.03.2010
 Микроскопы сканирующие зондовые, Ntegra
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		1 год
28664-10
07.05.2020
 Микроскопы сканирующие зондовые, Ntegra SPECTRA, Ntegra PRIMA, Ntegra VITA, Ntegra THERMA, Ntegra AURA, Ntegra MAXIMUS, Ntegra SOLARIS, Ntegra SOLARIS Duo, Ntegra TOMO, Ntegra LIFE
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		ОТ
МП 		1 год
28665-05
01.04.2015
 Микроскопы сканирующие зондовые, NanoEducator
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		ОТ
1 год
28666-05
01.03.2010
 Микроскопы сканирующие зондовые, Solver Pro
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		1 год
28666-10
07.05.2020
 Микроскопы сканирующие зондовые, Solver HV, Solver HV-MFM, Solver SNOM, Smena, Solver PRO, Solver PRO-M, Solver FD, Solver P47-PRO, Solver PRO-EC, Solver MFM, Solver BIO-M, Solver OPEN
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		ОТ
МП 		1 год
40597-09
01.06.2014
 Микроскопы сканирующие зондовые, SOLVER NEXT
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		ОТ
1 год
41676-09
12.11.2019
 Меры периода линейные, TDG01
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		ОТ
1 год
41677-09
12.11.2019
 Меры периода линейно-угловые, TGG1
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		ОТ
1 год
41678-09
12.11.2019
 Меры периода и высоты линейные, TGZ1, TGZ2, TGZ3
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		ОТ
1 год
41679-09
12.11.2019
 Меры периода линейно-угловые, TGT1
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		ОТ
1 год
41680-09
12.11.2019
 Меры периода и высоты линейные, TGQ1
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		ОТ
1 год
45580-10

 Комплекс метрологический для измерения топологии клеточных структур и распределения показателя преломления в нанобиотехнологических процессах, Нет данных
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		ОТ
1 год

Статистика

Кол-во поверок - 21
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 11
Кол-во средств измерений - 5
Кол-во владельцев - 5
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.

Кто поверяет Микроскопы сканирующие зондовые (Ntegra SPECTRA, Ntegra PRIMA, Ntegra VITA, Ntegra THERMA, Ntegra AURA, Ntegra MAXIMUS, Ntegra SOLARIS, Ntegra SOLARIS Duo, Ntegra TOMO, Ntegra LIFE)

Наименование организации Cтатус
АО "НИЦПВ"
(RA.RU.311409)
ООО "ИНЭКС СЕРТ"
(RA.RU.312302)
ФГУП «СНИИМ»
(73)		 РСТ
ФГУП «УНИИМ»
(01.00258-2011)		 РСТ
ФГУП «ВНИИМС»
(RA.RU.311493)		 РСТ

Стоимость поверки Микроскопы сканирующие зондовые (Ntegra SPECTRA, Ntegra PRIMA, Ntegra VITA, Ntegra THERMA, Ntegra AURA, Ntegra MAXIMUS, Ntegra SOLARIS, Ntegra SOLARIS Duo, Ntegra TOMO, Ntegra LIFE)

Организация, регион Стоимость, руб Средняя стоимость

Какие модификации данного типа СИ еще существуют

Ntegra MAXIMUS; Ntegra PRIMA; Микроскоп сканирующий зондовый Ntegra PRIMA; нет данных ; нет модификации; Сканирующий зондовый микроскоп Ntegra Aura;

Изучите паспорта на средства измерений

  1. #50784023
  2. #177065058
  3. #30500468
  4. #167820637
  5. #236336702
  6. #187442349
  7. #8472748
  8. #152408665
  9. #140900415
  10. #179866325
  11. #47700213
  12. #80696172
  13. #261209319
  14. #170261293
  15. #18918390
  16. #197643912
  17. #96962236
  18. #112066195
  19. #230602847
  20. #134726597
  21. #143327585
  22. #39783894
  23. #223444015
  24. #164954625
  25. #104023679
  26. #136433521
  27. #182833172
  28. #149840880
  29. #102471960
  30. #274822602
  31. #255455016
  32. #113510023
  33. #25441726
  34. #185444570
  35. #17085664
  36. #110076521
  37. #195505017
  38. #90568789
  39. #256044848
  40. #51448479
Настройки внешнего вида
Цветовая схема
Ширина
Левая панель