Паспорт средства измерений Меры периода и высоты линейные, заводской номер 909006-13-74

ПАСПОРТ СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ

Номер в гос. реестре

41678-09

Наименование типа СИ (обозначение)

Меры периода и высоты линейные (TGZ1, TGZ2, TGZ3)

Назначение средства измерений

Меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2, TGZ3 (далее - меры) относятся к классу мер рельефных нанометрового диапазона и предназначены для передачи размера единицы длины в диапазоне от 10-9 до 10-4 м и поверки (калибровки) оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих атомно-силовых микроскопов и других средств измерений малой длины.

Модификация

TGZ2

Описание типа

2014-41678-09.pdf

Тип производства

Серийное

Заводской номер

909006-13-74

Год производства (возраст, лет)

2013 (11)

Производитель

ЗАО "Нанотехнология МДТ"
Страна - РОССИЯ
Населенный пункт - г.Москва

Все поверки данного средства измерений

Организация поверитель Модификация Условный шифр знака поверки Тип поверки Дата поверки Дейтвительна до Наименование документа, на основании которого выполнена поверка Номер свидетельства (извещения) Владелец СИ Знак поверки в паспорте Знак поверки на СИ
Организация поверитель Модификация Условный шифр знака поверки Тип поверки Дата поверки Дейтвительна до Наименование документа, на основании которого выполнена поверка Номер свидетельства (извещения) Владелец СИ Знак поверки в паспорте Знак поверки на СИ
01.00225-2011 от
ФГУП "ВНИИМС"
Архивный
TGZ2МПериодическая09.04.202008.04.2021раздел 4 Руководства по эксплуатации 3932-013-40349675-2009 РЭC-М/09-04-2020/46241340ООО "ТЕСКАН" Нет Нет
01.00225-2011 от
ФГУП "ВНИИМС"
Архивный
TGZ1МПериодическая12.04.202111.04.2022раздел 4 Руководства по эксплуатации 3932-013-40349675-2009 РЭC-М/12-04-2021/56561279ООО «ТЕСКАН» Нет Нет
RA.RU.311493 от 2015-12-28
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МЕТРОЛОГИЧЕСКОЙ СЛУЖБЫ"
(ФГБУ "ВНИИМС")
ИНН: 9729315781
Действует
TGZ1МПериодическая29.04.202228.04.2023раздел 4 Руководства по эксплуатации 3932-013-40349675-2009 РЭC-М/29-04-2022/152662707ООО «ТЕСКАН» Нет Нет
RA.RU.311493 от 2015-12-28
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МЕТРОЛОГИЧЕСКОЙ СЛУЖБЫ"
(ФГБУ "ВНИИМС")
ИНН: 9729315781
Действует
TGZ1МПериодическая29.04.202228.04.2023раздел 4 Руководства по эксплуатации 3932-013-40349675-2009 РЭC-М/29-04-2022/152663053ООО «ТЕСКАН» Нет Нет
RA.RU.311493 от 2015-12-28
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МЕТРОЛОГИЧЕСКОЙ СЛУЖБЫ"
(ФГБУ "ВНИИМС")
ИНН: 9729315781
Действует
TGZ2МПериодическая29.04.202228.04.2023раздел 4 Руководства по эксплуатации 3932-013-40349675-2009 РЭC-М/29-04-2022/158296357юридическое лицо Нет Нет
RA.RU.311493 от 2015-12-28
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МЕТРОЛОГИЧЕСКОЙ СЛУЖБЫ"
(ФГБУ "ВНИИМС")
ИНН: 9729315781
Действует
TGZ2МПериодическая22.05.202321.05.2024раздел 4 Руководства по эксплуатации 3932-013-40349675-2009 РЭC-М/22-05-2023/248008233юридическое лицо Нет Нет

Технические и метрологические характеристики СИ -

Меры периода и высоты линейные (TGZ1, TGZ2, TGZ3)

приведены в таблице 1.

Таблица 1

Наименование

Значение

Номинальное значение периода структуры меры, мкм

3,00

Допускаемое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры, не более, мкм

± 0,01

Номинальное значение высоты выступов в рельефе шаговых структур,

нм

20

Мера TGZ1

110

Мера TGZ2

Мера TGZ3

520

Пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения высоты выступов в рельефе шаговых структур не более, нм

Мера TGZ1

± 2

Мера TGZ2

± 10

Мера TGZ3

± 20

Условия эксплуатации: а) При работе на воздухе

- температура окружающего воздуха, °С

20 ± 3

- относительная влажность, %

65 ± 15 3

- атмосферное давление, Па

(100 ±4>103

б) При работе в вакуумных условиях

- диапазон значений остаточного давления в камере образцов микроскопа, Па

от 140"4 до 270

- температура держателя образца, оС

20 ± 3

Масса меры не более, г

5

Габаритные размеры меры, мм

5,0х5,0х0,5

Размеры рабочей области меры, мм

3,0х3,0


Заявитель


Испытательный центр


Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт метрологической службы» (ФГУП «ВНИИМС») Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46
Тел./факс: (495)437-55-77 / 437-56-66;
E-mail: office@vniims.ru, www.vniims.ru

Правообладатель


Изготовитель

Закрытое акционерное общество «Нанотехнология МДТ» (ЗАО «НТ-МДТ»)
Адрес: 124482, Москва, Зеленоград, корп.100, E-mail: spm@ntmdt.ru, Телефон: 499-735-03-05, Факс: 499-735-64-10

Внешний вид средства измерений: Меры периода и высоты линейные, заводской номер №909006-13-74
Внешний вид средства измерений: Меры периода и высоты линейные, заводской номер №909006-13-74

Все средства измерений ЗАО "Нанотехнология МДТ"

№ в реестре
cрок св-ва
Наименование СИ, обозначение, изголовитель ОТ, МП МПИ
28664-05
01.03.2010
Микроскопы сканирующие зондовые, Ntegra
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва)
1 год
28664-10
07.05.2020
Микроскопы сканирующие зондовые, Ntegra SPECTRA, Ntegra PRIMA, Ntegra VITA, Ntegra THERMA, Ntegra AURA, Ntegra MAXIMUS, Ntegra SOLARIS, Ntegra SOLARIS Duo, Ntegra TOMO, Ntegra LIFE
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва)
ОТ
МП
1 год
28665-05
01.04.2015
Микроскопы сканирующие зондовые, NanoEducator
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва)
ОТ
1 год
28666-05
01.03.2010
Микроскопы сканирующие зондовые, Solver Pro
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва)
1 год
28666-10
07.05.2020
Микроскопы сканирующие зондовые, Solver HV, Solver HV-MFM, Solver SNOM, Smena, Solver PRO, Solver PRO-M, Solver FD, Solver P47-PRO, Solver PRO-EC, Solver MFM, Solver BIO-M, Solver OPEN
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва)
ОТ
МП
1 год
40597-09
01.06.2014
Микроскопы сканирующие зондовые, SOLVER NEXT
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва)
ОТ
1 год
41676-09
12.11.2019
Меры периода линейные, TDG01
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва)
ОТ
1 год
41677-09
12.11.2019
Меры периода линейно-угловые, TGG1
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва)
ОТ
1 год
41678-09
12.11.2019
Меры периода и высоты линейные, TGZ1, TGZ2, TGZ3
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва)
ОТ
1 год
41679-09
12.11.2019
Меры периода линейно-угловые, TGT1
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва)
ОТ
1 год
41680-09
12.11.2019
Меры периода и высоты линейные, TGQ1
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва)
ОТ
1 год
45580-10

Комплекс метрологический для измерения топологии клеточных структур и распределения показателя преломления в нанобиотехнологических процессах, Нет данных
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва)
ОТ
1 год

Статистика

Кол-во поверок - 153
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 103
Кол-во средств измерений - 45
Кол-во владельцев - 14
Усредненный год выпуска СИ - 2013
МПИ по поверкам - 376 дн.

Кто поверяет Меры периода и высоты линейные (TGZ1, TGZ2, TGZ3)

Наименование организации Cтатус
ФГУП "ВНИИМС"
(01.00225-2011)
РСТ
ФГУП "ВНИИМС"
(RA.RU.311493)
РСТ
АО "НИЦПВ"
(RA.RU.311409)
АО "НИЦПВ"
(RA.RU.311409)
ФГУП «ВНИИМС»
(RA.RU.311493)
РСТ
ФГБУ "ВНИИМС"
(RA.RU.311493)
РСТ

Стоимость поверки Меры периода и высоты линейные (TGZ1, TGZ2, TGZ3)

Организация, регион Стоимость, руб Средняя стоимость

Какие модификации данного типа СИ еще существуют

TGZ1; TGZ2; TGZ3; Мера периода и высоты линейная TGZ1; Мера периода и высоты линейная TGZ2; Мера периода и высоты линейная TGZ3;

Настройки внешнего вида
Цветовая схема

Ширина

Левая панель