Паспорт средства измерений Микроскопы сканирующие зондовые, заводской номер 10132

ПАСПОРТ СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ

Номер в гос. реестре

28664-10

Наименование типа СИ (обозначение)

Микроскопы сканирующие зондовые (Ntegra SPECTRA, Ntegra PRIMA, Ntegra VITA, Ntegra THERMA, Ntegra AURA, Ntegra MAXIMUS, Ntegra SOLARIS, Ntegra SOLARIS Duo, Ntegra TOMO, Ntegra LIFE)

Назначение средства измерений

 Микроскопы сканирующие зондовые Ntegra SPECTRA, Ntegra PRIMA, Ntegra VITA, Ntegra THERMA, Ntegra AURA, Ntegra MAXIMUS, Ntegra SOLARIS, Ntegra SOLARIS Duo, Ntegra TOMO, Ntegra LIFE (далее C3M Ntegra) предназначены для измерений трехмерной топологии и параметров микрорельефа поверхности конденсированных сред с атомарным разрешением.

Модификация

Сканирующий зондовый микроскоп Ntegra Aura

Описание типа

2015-28664-10.pdf

Тип производства

 Серийное

Заводской номер

10132

Год производства (возраст, лет)

Год производства не указан

Производитель

ЗАО "Нанотехнология МДТ"
Страна - РОССИЯ
Населенный пункт - г.Москва

Все поверки данного средства измерений

Организация поверитель Модификация Условный шифр знака поверки Тип поверки Дата поверки Дейтвительна до Наименование документа, на основании которого выполнена поверка Номер свидетельства (извещения) Владелец СИ Знак поверки в паспорте Знак поверки на СИ
Организация поверитель Модификация Условный шифр знака поверки Тип поверки Дата поверки Дейтвительна до Наименование документа, на основании которого выполнена поверка Номер свидетельства (извещения) Владелец СИ Знак поверки в паспорте Знак поверки на СИ
RA.RU.311409 от 2015-11-19
АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО "НАУЧНО- ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР ПО ИЗУЧЕНИЮ СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТИ И ВАКУУМА"
(АО "НИЦПВ")
ИНН: 7728309630
Прекращен
2022-12-02		Сканирующий зондовый микроскоп Ntegra AuraВХЯБез статуса20.11.201919.11.2020МП 28664-101119-2019 Нет Нет
RA.RU.311409 от 2015-11-19
АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО "НАУЧНО- ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР ПО ИЗУЧЕНИЮ СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТИ И ВАКУУМА"
(АО "НИЦПВ")
ИНН: 7728309630
Прекращен
2022-12-02		Сканирующий зондовый микроскоп Ntegra AuraВХЯБез статуса19.11.202018.11.2021МП 28664-10847-2020 Нет Нет
RA.RU.311409 от 2015-11-19
АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО "НАУЧНО- ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР ПО ИЗУЧЕНИЮ СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТИ И ВАКУУМА"
(АО "НИЦПВ")
ИНН: 7728309630
Прекращен
2022-12-02		Сканирующий зондовый микроскоп Ntegra AuraВХЯПериодическая15.11.202114.11.2022МП 28664-10C-ВХЯ/15-11-2021/109473991АО "НИЦПВ" Нет Нет
RA.RU.311409 от 2015-11-19
АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО "НАУЧНО- ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР ПО ИЗУЧЕНИЮ СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТИ И ВАКУУМА"
(АО "НИЦПВ")
ИНН: 7728309630
Прекращен
2022-12-02		Сканирующий зондовый микроскоп Ntegra AuraВХЯПериодическая03.11.202202.11.2023МП 28664-10C-ВХЯ/03-11-2022/211100028АО "НИЦПВ" Нет Нет
RA.RU.311409 от 2015-11-19
АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО "НАУЧНО- ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР ПО ИЗУЧЕНИЮ СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТИ И ВАКУУМА"
(АО "НИЦПВ")
ИНН: 7728309630
Прекращен
2022-12-02		Сканирующий зондовый микроскоп Ntegra AuraВХЯПериодическая31.10.202330.10.2024МП 28664-10C-ВХЯ/31-10-2023/293001321АО "НИЦПВ" Нет Нет
RA.RU.311409 от 2015-11-19
АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО "НАУЧНО- ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР ПО ИЗУЧЕНИЮ СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТИ И ВАКУУМА"
(АО "НИЦПВ")
ИНН: 7728309630
Прекращен
2022-12-02		Сканирующий зондовый микроскоп Ntegra AuraВХЯПериодическая29.10.202428.10.2025МП 28664-10C-ВХЯ/29-10-2024/382816382АО "НИЦПВ" Нет Нет

Технические и метрологические характеристики СИ -

Микроскопы сканирующие зондовые (Ntegra SPECTRA, Ntegra PRIMA, Ntegra VITA, Ntegra THERMA, Ntegra AURA, Ntegra MAXIMUS, Ntegra SOLARIS, Ntegra SOLARIS Duo, Ntegra TOMO, Ntegra LIFE)

приведены в таблице 3.

Таблица 3

Параметр

Значение

Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY не менее, мкм

0-90*

Диапазон измерений линейных размеров по оси Z не менее, мкм

0-10*

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY не более, %

±1

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров по оси Z не более, %

±5

Пределы допускаемой абсолютной погрешности сличения геометрических размеров в режиме компаратора (при номинальных размерах более 10 нм), нм

±(1+0,001L)

У гол между осями сканирования X и Y, градус

90,0±1,5

У гол между осью Z и нормалью к плоскости XY не более, градус

5

Нелинейность сканирования в плоскости XY не более, %

0,5

Неплоскостность сканирования в плоскости XY не более, нм

100

Разрешение в плоскости XY не более, нм

0,15

Разрешение по оси Z не более, нм

0,1

Дрейф в плоскости XY не более, нм/с

0,2

Дрейф по оси Z не более, нм/с

0,15

Максимальное число точек сканирования по X и Y

4000x4000

Размеры исследуемых образцов (диаметр х толщина) не более, мм

100 х 20

Напряжение питания переменного тока, В

110/220

(+10/-15%)

Потребляемая мощность не более, Вт

120

Г абаритные размеры электронного блока не более, мм

445x160x500

Г абаритные размеры СЗМ не более, мм

240x345x280

Масса не более, кг

60

*Метрологические характеристики указаны для СЗМ семейства Ntegra с измерительной головкой типа «СМЕНА». При использовании других измерительных головок и сканеров из комплекта СЗМ семейства Solver показатели точности измерений метрологически не нормируются. Соотношение между техническими возможностями различных типов измерительных головок и сканеров представлены таблице 4 и 5.

Таблица 4. Микроскопы снабженные сканерами с емкостными датчиками перемещения

Технические характеристики

ИГ   типа

«Смена»

Нижний

сканер

ИГ   типа

«СНОМ»

Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм

100±10

100±10

100±10

Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм

10±1

10±1

10±1

У гол между осями сканирования X и Y, градус

90,0±1,5

90,0±1,5

90,0±1,5

Угол между осью Z и нормалью к плоскости XY не более, градус

5,0

5,0

5,0

Величина нелинейности сканирования в плоскости XY не более, %

0,5

0,5

0,5

Величина неплоскостности сканирования по XY не более, нм

100

200

400

Таблица 5. Микроскопы снабженные сканерами без емкостных датчиков перемещения

Технические характеристики

Нижние сканеры

ИГ   типа

«Смена»

1 мкм

3 мкм

10 мкм

100 мкм

100 мкм

Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм

1,0±0,1

3,0±0,3

10,0±1,0

100±10

100±10

Диапазон измерений линейных размеров по оси Z не менее, мкм

1.1

1.5

2

3.5

3.5

У гол между осями сканирования X и Y, градус

-

90,0±2,0

90,0±2,0

90,0±2,0

90,0±2,0

У гол между осью Z и нормалью к плоскости XY не более, градус

-

5,0

5,0

5,0

5,0

Величина нелинейности сканирования в плоскости XY не более, %

-

1,0

1,0

1,0

1,0

Величина неплоскостности сканирования по XY не более, нм

-

20

20

200

200


Заявитель


Испытательный центр

Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт метрологической службы» (ФГУП «ВНИИМС»)
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46
Тел./факс: (495)437-55-77 / 437-56-66;
E-mail: office@vniims.ru, www.vniims.ru

Правообладатель


Изготовитель


Закрытое акционерное общество «Нанотехнология МДТ» (ЗАО «НТ-МДТ»)
Адрес: 124482, Москва, Зеленоград, корп.100,
E-mail: spm@ntmdt.ru,
Телефон: 499-735-03-05, Факс: 499-735-64-10

Внешний вид средства измерений: Микроскопы сканирующие зондовые, заводской номер №10132
Внешний вид средства измерений: Микроскопы сканирующие зондовые, заводской номер №10132

Все средства измерений ЗАО "Нанотехнология МДТ"

№ в реестре
cрок св-ва 		Наименование СИ, обозначение, изголовитель ОТ, МП МПИ
28664-05
01.03.2010
 Микроскопы сканирующие зондовые, Ntegra
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		1 год
28664-10
07.05.2020
 Микроскопы сканирующие зондовые, Ntegra SPECTRA, Ntegra PRIMA, Ntegra VITA, Ntegra THERMA, Ntegra AURA, Ntegra MAXIMUS, Ntegra SOLARIS, Ntegra SOLARIS Duo, Ntegra TOMO, Ntegra LIFE
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		ОТ
МП 		1 год
28665-05
01.04.2015
 Микроскопы сканирующие зондовые, NanoEducator
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		ОТ
1 год
28666-05
01.03.2010
 Микроскопы сканирующие зондовые, Solver Pro
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		1 год
28666-10
07.05.2020
 Микроскопы сканирующие зондовые, Solver HV, Solver HV-MFM, Solver SNOM, Smena, Solver PRO, Solver PRO-M, Solver FD, Solver P47-PRO, Solver PRO-EC, Solver MFM, Solver BIO-M, Solver OPEN
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		ОТ
МП 		1 год
40597-09
01.06.2014
 Микроскопы сканирующие зондовые, SOLVER NEXT
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		ОТ
1 год
41676-09
12.11.2019
 Меры периода линейные, TDG01
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		ОТ
1 год
41677-09
12.11.2019
 Меры периода линейно-угловые, TGG1
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		ОТ
1 год
41678-09
12.11.2019
 Меры периода и высоты линейные, TGZ1, TGZ2, TGZ3
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		ОТ
1 год
41679-09
12.11.2019
 Меры периода линейно-угловые, TGT1
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		ОТ
1 год
41680-09
12.11.2019
 Меры периода и высоты линейные, TGQ1
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		ОТ
1 год
45580-10

 Комплекс метрологический для измерения топологии клеточных структур и распределения показателя преломления в нанобиотехнологических процессах, Нет данных
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (РОССИЯ г.Москва) 		ОТ
1 год

Статистика

Кол-во поверок - 22
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 12
Кол-во средств измерений - 5
Кол-во владельцев - 5
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.

Кто поверяет Микроскопы сканирующие зондовые (Ntegra SPECTRA, Ntegra PRIMA, Ntegra VITA, Ntegra THERMA, Ntegra AURA, Ntegra MAXIMUS, Ntegra SOLARIS, Ntegra SOLARIS Duo, Ntegra TOMO, Ntegra LIFE)

Наименование организации Cтатус
АО "НИЦПВ"
(RA.RU.311409)
ООО "ИНЭКС СЕРТ"
(RA.RU.312302)
ФГУП «СНИИМ»
(73)		 РСТ
ФГУП «УНИИМ»
(01.00258-2011)		 РСТ
ФГУП «ВНИИМС»
(RA.RU.311493)		 РСТ

Стоимость поверки Микроскопы сканирующие зондовые (Ntegra SPECTRA, Ntegra PRIMA, Ntegra VITA, Ntegra THERMA, Ntegra AURA, Ntegra MAXIMUS, Ntegra SOLARIS, Ntegra SOLARIS Duo, Ntegra TOMO, Ntegra LIFE)

Организация, регион Стоимость, руб Средняя стоимость

Какие модификации данного типа СИ еще существуют

Ntegra MAXIMUS; Ntegra PRIMA; Микроскоп сканирующий зондовый Ntegra PRIMA; нет данных ; нет модификации; Сканирующий зондовый микроскоп Ntegra Aura;

Изучите паспорта на средства измерений

  1. #175363714
  2. #82628774
  3. #174384704
  4. #195423924
  5. #233579649
  6. #28171546
  7. #112191919
  8. #198486568
  9. #255835446
  10. #18578741
  11. #139106820
  12. #101262387
  13. #132862328
  14. #174099152
  15. #119246158
  16. #135116117
  17. #274636103
  18. #108900956
  19. #244287584
  20. #131389282
  21. #34387108
  22. #243323872
  23. #253881411
  24. #101677478
  25. #205161487
  26. #229900702
  27. #203562788
  28. #118248872
  29. #21665423
  30. #247367178
  31. #69758848
  32. #126066647
  33. #208863284
  34. #242266796
  35. #38216311
  36. #152565638
  37. #113202362
  38. #200828472
  39. #267102032
  40. #179402299
Настройки внешнего вида
Цветовая схема
Ширина
Левая панель