АШНИСТЕРСТВО ПРОМЫШЛЕННОСТИ И ТОРГОВЛИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО

ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ (Росстандарт)

09 сентября 2024 г.

Москва

Об утверждении Государственной поверочной схемы

для средств измерений комплексного показателя преломления и толщины оптических покрытий

В соответствии с пунктом 6 главы II Положения об эталонах единиц величин, используемых в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений, утвержденным постановлением Правительства Российской Федерации от 23 сентября 2010 г. № 734 «Об эталонах единиц величин, используемых в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений», требованиями к содержанию и построению государственных поверочных схем и локальных поверочных схем, в том числе к их разработке, утверждению и изменению, утвержденными приказом Министерства промышленности и торговли Российской Федерации от 11 февраля 2020 г. № 456, Планом разработки, пересмотра и утверждения государственных поверочных схем на 2024 год, утвержденным приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 28 декабря 2023 г. № 2823 (с изменениями, внесенными приказами Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 2 февраля 2024 г. № 286, от 24 апреля 2024 г. № 1089, от 14 августа 2024 г. № 1893), п р и к а з ы в а ю:

• 1. Утвердить прилагаемую Государственную поверочную схему для средств измерений комплексного показателя преломления и толщины оптических покрытий (далее - ГПС).

• 2. Установить, что:

ГПС применяется для Государственного первичного специального эталона единицы комплексного показателя преломления и единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий (ГЭТ 203-2024), прослеживаемых к нему эталонов и средств измерений комплексного

показателя преломления и единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий и вводится в действие с 10 сентября 2024 г.;

эталоны, аттестованные на соответствие требованиям ГОСТ 8.645-2014 «Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений комплексного показателя преломления» (далее - ГОСТ 8.645-2014) или локальным поверочным схемам, применяются до даты окончания срока действия свидетельства об аттестации, выданного до ввода в действие ГПС;

эталоны, аттестованные на соответствие требованиям ГОСТ 8.645-2014, соответствующие по своим метрологическим характеристикам указанному разряду ГПС, подлежат периодической аттестации на соответствие ГПС не позднее срока окончания действия свидетельства об аттестации, в документы на эталоны вносятся соответствующие изменения;

эталоны, аттестованные на соответствие требованиям ГОСТ 8.645-2014, не соответствующие по своим метрологическим характеристикам указанному разряду ГПС, подлежат первичной аттестации не позднее срока окончания действия свидетельства об аттестации и утверждению в соответствии с ГПС;

эталоны, аттестованные на соответствие локальным поверочным схемам, подлежат первичной аттестации не позднее срока окончания действия свидетельства об аттестации и утверждению в соответствии с ГПС;

информация о прекращении применения эталонов по ГОСТ 8.645-2014 или локальным поверочным схемам, или об изменении ГПС для эталонов, не требующих переутверждения, передается держателем эталона в Федеральный информационный фонд по обеспечению единства измерений (далее - Федеральный фонд) после даты окончания срока действия свидетельства об аттестации.

• 3. Федеральному государственному бюджетному учреждению «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» направить сведения о ГПС в федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы» для их внесения в Федеральный фонд.

• 4. Управлению метрологии, государственного контроля и надзора Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии обеспечить размещение информации об утверждении ГПС на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в информационно-телекоммуникационной сети «Интернет».

• 5. Техническому комитету по стандартизации № 206 «Эталоны и поверочные схемы» (федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии им. Д.И. Менделеева») совместно с федеральным государственным бюджетным учреждением «Всероссийский научно-исследовательский институт оптикофизических измерений» обеспечить исполнение в установленном порядке процедур по прекращению применения в качестве национального стандарта Российской Федерации межгосударственного стандарта ГОСТ 8.645-2014 и направление соответствующего комплекта документов в Управление стандартизации Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии.

• 6. Контроль за исполнением настоящего приказа оставляю за собой.

  Заместитель руководителя

< > Подлинник электронного документа, подписанного ЭП, хранится в системе электронного документооборота Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии.

Сертификат: 525EEF525B83502D7A69D9FC03064C2A

Кому выдан: Лазаренко Евгений Русланович

Действителен: с 06.03.2024 до 30.05.2025

\______________

УТВЕРЖДЕНА приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от «09» сентября 2024 г. № 2154

ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ КОМПЛЕКСНОГО ПОКАЗАТЕЛЯ ПРЕЛОМЛЕНИЯ И ТОЛЩИНЫ ОПТИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ

Настоящий документ распространяется на государственную поверочную схему для средств измерений комплексного показателя преломления (п = п — ik , где i - комплексная единица) и толщины оптических покрытий d, устанавливает порядок передачи единицы комплексного показателя преломления п и единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий d от государственного первичного специального эталона ГЭТ 203-2024 при помощи рабочих эталонов средствам измерений с указанием погрешностей и основных методов передачи единиц.

Графическая часть Государственной поверочной схемы для средств измерений комплексного показателя преломления и толщины оптических покрытий представлена в приложении А.

п - показатель преломления (действительная часть комплексного показателя преломления п по ГОСТ Р 70973-2023);

к - главный показатель поглощения (мнимая часть комплексного показателя преломления п по ГОСТ Р 70973-2023).

• 2.1 Государственный первичный специальный эталон единицы комплексного показателя преломления и единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий (далее - ГПСЭ) предназначен для воспроизведения, хранения и передачи единицы комплексного показателя преломления и единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий при помощи рабочих эталонов средствам измерений.

• 2.2 ГПСЭ состоит из комплекса следующих технических средств и вспомогательных устройств:

цифрового спектрального эллипсометра;

цифрового спектрального многоуглового эллипсометра;

мер комплексного показателя преломления и толщины оптических покрытий в виде подложек плоской или цилиндрической формы из различных материалов с однослойными или двухслойными покрытиями разной номинальной толщины из разных материалов, а также массивные заготовки из различных материалов - как материальных носителей единицы комплексного показателя преломления и единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий.

• 2.3 ГПСЭ обеспечивает воспроизведение единицы комплексного показателя преломления и единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий d с метрологическими характеристиками, указанными Таблицах 1, 2.

Таблица 1  - Метрологические характеристики ГПСЭ при

оизведении единицы комплексного показателя преломления

Таблица 2 - Метрологические характеристики ГПСЭ при воспроизведении единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий d

• 2.4 Для обеспечения воспроизведения единицы комплексного показателя преломления и единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий с указанной точностью следует соблюдать правила содержания и применения ГПСЭ, утвержденные в установленном порядке.

• 2.5 ГПСЭ применяют для передачи единицы комплексного показателя преломления и единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий рабочим эталонам методом косвенных измерений.

• 3.1 В качестве рабочих эталонов применяют меры комплексного показателя преломления и толщины оптических покрытий в виде подложек плоской или цилиндрической формы из различных материалов с однослойными или двухслойными покрытиями разной номинальной толщины из разных материалов, а также массивные заготовки из различных материалов в диапазонах:

для показателя преломления n от 0,5 до 5,0;

для главного показателя поглощения k от 0,01 до 8,00;

для толщины оптических покрытий d от 1 до 50000 нм.

• 3.2 Доверительные границы абсолютной погрешности рабочих эталонов S при доверительной вероятности 0,95 составляют для показателя преломления <5_п = 0,003, а для главного показателя поглощения Si = 0,005.

• 3.3 Доверительные границы абсолютной погрешности рабочих эталонов S при доверительной вероятности 0,95 для толщины оптических покрытий Sd составляют 0,5 нм для диапазона значений d от 1 до 1000 нм.

Доверительные границы относительной погрешности рабочих эталонов S при доверительной вероятности 0,95 для толщины оптических покрытий S_d составляют 0,7 % для диапазона значений d от 1000 до 50000 нм.

• 3.4 Рабочие эталоны применяют для поверки средств измерений методом прямых измерений.

• 4.1 В качестве средств измерений применяют эллипсометры, в том числе лазерные, спектральные, многоугловые и спектральные рефлектометры в диапазонах:

для показателя преломления n от 0,5 до 5,0;

для главного показателя поглощения k от 0,01 до 8,00;

для толщины оптических покрытий d от 1 до 50000 нм.

• 4.2 Пределы допускаемых абсолютных погрешностей средств измерений для показателя преломления ^_п составляют от 0,004 до 0,005, а для главного показателя поглощения ^_к от 0,01 до 0,03.

Пределы допускаемых абсолютных погрешностей средств измерений толщины оптических покрытий составляют от 0,8 до 10 нм для диапазона значений d от 1 до 1000 нм.

Пределы допускаемых относительных погрешностей средств измерений толщины оптических покрытий ^d составляют от 1 до 5% для диапазона значений d от 1000 до 50000 нм.