ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА

ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ УГЛОВ

МИНИСТЕРСТВО ПРОМЫШЛЕННОСТИ И ТОРГОВЛИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ (Росстандарт)

22 октября 2018 г.                                             „    2221

Москва

Об утверждении государственной поверочной схемы для средств измерений эллипсометрических углов

В соответствии с Положением об эталонах единиц величин, используемых в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений, утвержденным постановлением Правительства Российской Федерации от 23 сентября 2010 г. № 734 «Об эталонах единиц величин, используемых в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений», Временным порядком разработки (пересмотра) и утверждения государственных поверочных схем, утвержденным приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 31 августа 2017 г. № 1832, а также на основании Плана разработки (пересмотра) и утверждения государственных поверочных схем на 2018 г., утвержденного приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 29 декабря 2017 г. № 3021, приказываю:

• 1.  Утвердить прилагаемую Государственную поверочную схему для средств измерений эллипсометрических углов (далее - ГПС).

• 2. Установить, что ГПС применяется для Государственного первичного эталона единиц эллипсометрических углов (ГЭТ 186-2017), средств измерений эллипсометрических углов Дельта в диапазоне от 0° до 360°, углов ПСИ от 0° до 90° и вводится в действие с 1 января 2019 г.

• 3.  Управлению технического регулирования и стандартизации (Д.А.Тощев) обеспечить прекращение применения в качестве национального стандарта Российской Федерации межгосударственного стандарта ГОСТ 8.605-2011 «Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений эллипсометрических углов».

• 4.  ФГУП «ВНИИФТРИ» (С.И. Донченко) внести информацию об утверждении ГПС в Федеральный информационный фонд по обеспечению единства измерений.

• 5.  Управлению метрологии (Д.В.Гоголев) обеспечить размещение информации об утверждении ГПС на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в информационнотелекоммуникационной сети Интернет.

• 6. Контроль за исполнением настоящего приказа оставляю за собой.

Заместитель Руководителя

Подлинник электронного документа, подписанного ЭП, хранится в системе электронного документооборота Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии.

СВЕДЕНИЯ О СЕРТИФИКАТЕ ЭП

Сертификат: OOE1036ECDC011E780DAE0071B1B53CD41

Кому выдан: Голубев Сергей Сергеевич

Действителен: с 20.11.2017 до 20.11.2018

УТВЕРЖДЕНА приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от «22» октября 2018 г. № 2221

ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ УГЛОВ

Государственная поверочная схема для средств измерений эллипсометрических углов Дельта А и Пси ¥ (А - разность фаз между двумя ортогональными р- и 5-компонентами вектора напряженности электрического поля световой волны, отраженной или прошедшей через исследуемый объект, tgT - отношение амплитуд р- и 5-компонент вектора напряженности электрического поля световой волны) и средств измерений пространственного распределения эллипсометрических углов A(x,y) и ¥(x,y) в декартовой системе координат (x,y) для оптического излучения в видимой области спектра устанавливает назначение государственного первичного эталона единиц эллипсометрических углов - градуса, комплекс основных средств измерений, входящих в его состав, основные метрологические характеристики эталона и порядок передачи единиц эллипсометрических углов от государственного первичного эталона с помощью рабочих эталонов 1-го разряда средствам измерений с указанием погрешностей и основных методов передачи единиц.

Графическая часть Государственной поверочной схемы для средств измерений эллипсометрических углов представлена в приложении А.

В настоящем документе использованы следующие сокращения:

ГПЭ - государственный первичный эталон;

СКО -среднее квадратическое отклонение;

НСП - неисключенная систематическая погрешность.

• 3.1 ГПЭ единиц эллипсометрических углов ГЭТ 186-2017 предназначен для воспроизведения, хранения единиц эллипсометрических углов Дельта A и Пси ¥, пространственного распределения эллипсометрических углов A(x,y) и ¥(x,y) и передачи единиц эллипсометрических углов при помощи рабочих эталонов 1-го разряда средствам измерений.

• 3.2 ГПЭ состоит из комплекса следующих средств измерений:

  • 3.2.1 Эталонной установки для воспроизведения, хранения и передачи единиц эллипсометрических углов, в состав которой входят:

спектральный эллипсометр;

эталонные меры эллипсометрических углов A и ¥ в виде эллипсометрических пластинок - кремниевых пластинок с пленкой из двуокиси кремния различной толщины;

эталонные меры эллипсометрического угла A в виде четверть -и полуволновых фазовых пластинок нулевого порядка для контроля стабильности эталона.

• 3.2.2 Эталонной установки для воспроизведения, хранения и передачи единиц пространственного распределения эллипсометрических углов A(x,y) и ¥(x,y) в декартовой системе координат (x,y), в состав которой входят:

спектральный эллипсометрический комплекс с двухкоординатной системой позиционирования эталонной меры пространственного распределения эллипсометрических углов A(x,y) и ¥(x,y);

эталонная мера пространственного распределения эллипсометрических углов A(x,y) и ¥(x,y) в виде эллипсометрической пластинки в специальном ложементе с координатной привязкой;

интерференционный профилометр для измерения формы поверхности меры пространственного распределения эллипсометрических углов A(x,y) и ¥(x,y) в виде эллипсометрической пластинки в специальном ложементе с координатной привязкой.

• 3.3 Диапазон значений эллипсометрического угла A, воспроизводимых эталоном, составляет от 0° до 360°. Диапазон значений эллипсометрического угла воспроизводимых эталоном, составляет от 0° до 90°. Пространственный диапазон области воспроизведения пространственного распределения эллипсометрических углов A(x,y) и ¥(x,y) (диаметр поля зрения) 30 мм. Диапазон измерений топограммы высот профиля поверхности от 0,006 мкм до 20,000 мкм.

• 3.4 ГПЭ обеспечивает воспроизведение:

  • 3.4.1 Единицы эллипсометрического угла A с СКО результатов измерений S(&) не более 0,02° при 50 независимых измерениях. Границы НСП &(&) не более 0,05°. Расширенная неопределенность и_р(А) не более 0,08° для коэффициента охвата 2 и доверительной вероятности P = 0,95 при 50 независимых измерениях.

  • 3.4.2 Единицы эллипсометрического угла ¥ с СКО результатов измерений S(¥) не более 0,01° при 50 независимых измерениях. Границы НСП 0(Т) не более 0,03°. Расширенная неопределенность U_₽(^) не более 0,06° для коэффициента охвата 2 и доверительной вероятности P = 0,95 при 50 независимых измерениях.

• 3.5 Предел допускаемой абсолютной погрешности измерений координат (x,y) при воспроизведении единиц пространственного распределения эллипсометрических углов A(x,y) и ¥(x,y) составляет 100 мкм.

• 3.6  Предел допускаемой абсолютной погрешности измерения топограммы высот профиля поверхности 0,006 мкм.

• 3.7 Для обеспечения воспроизведения единиц эллипсометрических углов с указанной точностью следует соблюдать правила хранения и применения эталона, утвержденные в установленном порядке.

• 3.8 ГПЭ применяют для передачи единиц эллипсометрических углов рабочим эталонам 1-го разряда методом прямых измерений.

• 4.1 В качестве рабочих эталонов 1-го разряда применяют:

меры эллипсометрических углов A и ¥ в виде эллипсометрических пластинок - кремниевых пластинок с пленкой из двуокиси кремния различной толщины - в диапазонах эллипсометрического угла A от 0° до 360° и эллипсометрического угла ¥ от 0° до 90°;

меры пространственного распределения эллипсометрических углов A(x,y) и ¥(x,y) в виде эллипсометрической пластинки в специальном ложементе с координатной привязкой в диапазонах эллипсометрического угла А от 0° до 360° и эллипсометрического угла ¥ от 0° до 90°;

меры эллипсометрического угла А в виде эллипсометрических фазовых пластинок в диапазоне от 0° до 360°.

• 4.2 Доверительные абсолютные погрешности рабочих эталонов 1-го разряда 5 при доверительной вероятности 0,95 составляют для эллипсометрического угла А от 0,08° до 0,2° и для эллипсометрического угла ¥ от 0,05° до 0,1°.

• 4.3 Рабочие эталоны 1-го разряда применяют для передачи единиц средствам измерений в виде отображающих эллипсометров, эллипсометров, полярископов-поляриметров и компенсаторов методом прямых измерений.

В качестве средств измерений применяют:

• 5.1  Отображающие эллипсометры с диапазонами измерений эллипсометрического угла А от 0° до 360° и эллипсометрического угла ¥ от 0° до 90°.

Пределы допускаемой абсолютной погрешности Д_Д измерений составляют для эллипсометрического угла А от 0,09° до 0,5°.

Пределы допускаемой абсолютной погрешности   Д_¥   для

эллипсометрического угла ¥ от 0,06° до 0,3°.

• 5.2 Эллипсометры с диапазонами измерений эллипсометрического угла А от 0° до 360° и эллипсометрического угла ¥ от 0° до 90°.

Пределы допускаемой абсолютной погрешности ДД измерений составляют для эллипсометрического угла А от 0,09° до 0,5°.

Пределы допускаемой абсолютной погрешности   Д¥   для

эллипсометрического угла ¥ от 0,06° до 0,3°.

• 5.3    Полярископы-поляриметры с диапазоном измерений эллипсометрического угла А от 0° до 360°.

Предел допускаемой абсолютной погрешности  ДД  измерений

эллипсометрического угла А от 0,1° до 2,0°.

• 5.4 Компенсаторы с диапазоном измерений эллипсометрического угла А от 0° до 10800°.

Предел допускаемой абсолютной погрешности ДД измерений эллипсометрического угла А от 1,0° до 6,0°.