Часть 1. Вакуумметры

Часть 2. Манометры абсолютного давления и барометры.

МИНИСТЕРСТВО ПРОМЫШЛЕННОСТИ И ТОРГОВЛИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ (Госстандарт)

6 декабря 2019 г.                                              _№ 2900

• 4. ФГУП «ВНИИМ им. Д.И.Менделеева» (А.Н.Пронин) направить сведения о ГПС в ФГУП «ВНИИФТРИ» (С .И.Донченко) для их внесения в Федеральный информационный фонд по обеспечению единства измерений.

• 5. Управлению метрологии (Д.В.Гоголев) обеспечить размещение информации об утверждении ГПС на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в информационнотелекоммуникационной сети «Интернет».

• 6. Контроль за исполнением настоящего приказа оставляю за собой.

Заместитель Руководителя

г                              л

Подлинник электронного документа, подписанного ЭП, хранится в системе электронного документооборота Федеральное агентство по техническому регулированию и ________ метрологии.

СВЕДЕНИЯ О СЕРТИФИКАТЕ ЭП

Сертификат: OOE1036E1B07EOFB80EA118900BCB6D090

Кому выдан: Голубев Сергей Сергеевич

Действителен: с 06.11.2019 до 06.11.2020

УТВЕРЖДЕН приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

от «6» декабря 2019 г. № 2900

ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА

ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ АБСОЛЮТНОГО ДАВЛЕНИЯ В ДИАПАЗОНЕ 1-10-¹ - V10⁷ Па

Настоящая Государственная поверочная схема распространяется на средства измерений абсолютного давления в диапазоне от 1 • 10^-1 до 1^10⁷ Па и устанавливает порядок передачи единицы давления от государственного первичного эталона при помощи вторичных и рабочих эталонов рабочим средствам измерений с указанием погрешностей и основных методов поверки.

Государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне от 1^10^-1 до 140⁷ Па графически представлена в Приложении А и состоит из двух частей:

Государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне от 1 • 10^-1 до 1Д10⁵ Па (Часть 1. Вакуумметры);

Государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления до Г10⁷ Па (Часть 2. Манометры абсолютного давления и барометры).

• 2.1. Государственный первичный эталон предназначен для воспроизведения и хранения единицы давления и передачи единицы при помощи вторичных и рабочих эталонов рабочим средствам измерений (СИ) абсолютного давления, применяемым в Российской Федерации, с целью обеспечения единства измерений в стране.

• 2.2. В основу измерений абсолютного давления, выполняемых в Российской Федерации, должна быть положена единица, воспроизводимая указанным государственным эталоном.

• 2.3. Государственный первичный эталон состоит из трех эталонных комплексов:

эталонный комплекс на основе лазерного интерференционного масляного манометра;

эталонный комплекс на основе лазерного интерференционного ртутного манометра;

эталонный комплекс на основе грузопоршневого манометра с газовой смазкой.

• 2.4. Диапазон значений абсолютного давления, воспроизводимых эталоном, составляет от 110^-1 до 740⁵ Па.

• 2.5. Эталонный комплекс на основе лазерного интерференционного масляного манометра обеспечивает воспроизведение единицы давления в диапазоне от 1^10^-1 до V10³ Па со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим 1Д10^-3 Па, определенном при 10-ти независимых измерениях.

Неисключенная систематическая погрешность 9 не превышает 3,2^ 10^-3 Па + 7Д10^-5 • р, где p - измеряемое давление, Па.

Суммарная стандартная неопределенность uc:

3Д10^-3 Па + 5Д10^-5 • р, гдеp - измеряемое давление, Па.

• 2.6. Эталонный комплекс на основе лазерного интерференционного ртутного манометра обеспечивает воспроизведение единицы давления в диапазоне от 1-10² до 1,3-10⁵ Па со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим 2,V10^-2 Па, определенном при 10-ти независимых измерениях.

Неисключенная систематическая погрешность 9 не превышает 4,3-10^-2 Па + 7,0-10^-6- р, где p - измеряемое давление, Па.

Суммарная стандартная неопределенность uc:

5,2-10^-2 Па + 4,9-10^-6 -р, где p - измеряемое давление, Па.

• 2.7. Эталонный комплекс на основе грузопоршневого манометра с газовой смазкой обеспечивает воспроизведение единицы давления в диапазоне от 7-10³ до 7-10⁵ Па со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим 0,2 - 1 Па, определенном при 10-ти независимых измерениях.

Неисключенная систематическая погрешность 9 не превышает 0,3 - 7 Па.

Суммарная стандартная неопределенность uc: 0,5 - 7,8 Па.

• 2.8. Для обеспечения воспроизведения единицы абсолютного давления с указанной точностью должны быть соблюдены правила содержания и применения эталона, утвержденные в установленном порядке.

• 2.9. Государственный первичный эталон применяют для международных сличений и передачи размера е'днннцы давления вторичным эталонам и рабочим эталонам класса точности 0,003 непосредственным сличением.

• 2.10.  Государственный первичный эталон возглавляет обе части государственной поверочной схемы (ГПС) для средств измерений абсолютного давления (Часть 1. Вакуумметры, Часть 2. Манометры абсолютного давления и барометры).

• 2.11. Расширение диапазона ГПС до V10⁷ Па происходит за счет экстраполяции, в основе проведения которой лежат теория и принцип действия грузопоршневых манометров.

• 3. Государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1*10^-1 - 1,340⁵ Па (Часть 1. Вакуумметры)

• 3.1.1. В качестве вторичных эталонов в части 1 поверочной схемы применяют вакуумметры мембранно-емкостные и манометры грузопоршневые абсолютного давления.

• 3.1.2. Предел допускаемой абсолютной погрешности Л вакуумметров мембранно-емкостных составляет 3,6-10^-3 Па + 1,0-10^-4 •р, где р - измеряемое давление, Па, в диапазоне от 1,0-10^-1 до 1,3-10³ Па.

• 3.1.3.  Предел допускаемой абсолютной погрешности Л манометров грузопоршневых абсолютного давления составляет 7,0-10^-2 Па + 5,0-10^-5-р, где р - измеряемое давление, Па, в диапазоне от 1,0 • 10³ до 1,3 -10⁵ Па.

• 3.1.4. Вторичные эталоны применяют для поверки (калибровки) разрядных рабочих эталонов и рабочих средств измерений непосредственным сличением и в качестве устройств сравнения при проведении сличений эталонов.

• 3.1.5. Соотношение пределов допускаемых абсолютных погрешностей при передаче единицы от вторичных эталонов разрядным рабочим эталонам и рабочим СИ должно быть не более 1:2 при одном и том же значении давления.

• 3.2. Рабочие эталоны (разрядные)

• 3.2.1.1. В качестве рабочих эталонов 1-го разряда (Часть. 1. Вакуумметры) применяют вакуумметры ме'мбранно-е'мкостные' и преобразователи абсолютного давления измерительные в диапазоне измерений от 1-10’¹ до 1Д10⁵ Па, а также вакуумметры .деформационные' в диапазоне измерений от 1,3 до 1,3-10³ Па.

• 3.2.1.2. Нре'де'лы допускаемых относительных погрешностей Л_о рабочих эталонов 1-го разряда составляют от 0,5^10^-2 до 540^-2.

• 3.2.1.3. Рабочие эталоны 1-го разряда применяют для поверки (калибровки) рабочих эталонов 2-го разряда и рабочих средств измерений непосредственным сличением.

• 3.2.1.4.  Соотношение пределов допускаемых относительных погрешностей рабочих эталонов 1-го разряда и поверяемых разрядных эталонов и СИ должно быть не более 1:2.

• 3.2.2.1. В качестве рабочих эталонов 2-го разряда применяют вакуумметры компрессионные' в диапазоне измерений от 1-10"¹ до 1Д10² Па, деформационно-термопарные в диапазоне измерений от 1-10"¹ до 1,07 •Ю⁵ Па, тепловые струнные в диапазоне измерений от 5J0^-1 до 740³ Па и вязкостные в диапазоне измерений от 1-10^-1 до Г10² Па, а также преобразователи абсолютного давления измерительные в диапазоне измерений от 1-10^-1 до 1Д10⁵ Па.

• 3.2.2.2. Пределы допускаемых относительных погрешностей Л_о рабочих эталонов 2-го разряда в зависимости от типа средства измерений и диапазона измерений составляют от 1,3-10’² до 1(?10^-2. Пределы допускаемой приведенной погрешности \,_11И1: вакуумметров компрессионных в зависимости от диапазона измерений составляют от 1,5-10"² до 540^-2.

• 3.2.2.3. Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для поверки (калибровки) рабочих средств измерений непосредственным сличением.

• 3.2.2.4. Соотношение пределов допускаемых относительных погрешностей рабочих эталонов 2-го разряда и рабочих средств измерений при поверке должно быть не более 1:2.

• 3.3.1. В качестве рабочих средств измерений применяют вакуумметры термопарные' в диапазоне измерений от 1-10"¹ до Г10² Па, вакуумметры дееформацтюнные' в диапазоне измерений от 1-10^-1 до 1-10¹ Па, вакуумметры электронные в диапазоне измерений от 1-10"¹ до 7,6 Па, вакуумметры тепловые в диапазоне измерений от 1-10"¹ до Г10⁴ Па, вакуумметры магнитные' в диапазоне измерений от 1-10’¹ до 4^10³Па, вакуумметры широкодиапазонные в диапазоне измерений от 1-10"¹ до Г10⁵ Па, вакуумметры комбинированные в диапазоне измерений от 1-10"¹ до 1,3П0⁵ Па, вакуумметры сопротивления в диапазоне измерений 1-10"¹ до 1-10³ Па, а также преобразователи абсолютного давления измерительные в диапазоне измерений от 1-10"¹ до 1,3-10⁵ Па.

• 3.3.2. Пределы допускаемых относительных погрешностей Л_о рабочих средств измерений составляют от 10 •Ю^-2 до 100^ 10^-2.

• 4. Государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления до П10⁷ Па (Часть 2. Манометры абсолютного давления и барометры).

• 4.1.1.  В качестве вторичных эталонов в части 2 поверочной схемы применяют манометры грузопоршневые абсолютного давления в диапазоне измерений от 1 •Ю² до 1^10⁷ Па.

• 4.1.2.  Среднее квадратическое отклонение результата измерений вторичных эталонов S₀ не превышает 3П0^-6.

• 4.1.3. Вторичные эталоны применяют для поверки (калибровки) рабочих эталонов класса точности 0,005 непосредственным сличением.

• 4.1.4.  Соотношение пределов допускаемых абсолютных погрешностей вторичных эталонов и рабочих эталонов должно быть не более 1:2 при одном и том же значении давления.

• 4.2.1.   В качестве рабочих эталонов применяют манометры грузопоршневые, калибраторы и манометры цифровые абсолютного давления с пределами измерений от V10² до V10⁷ Па класса точности 0,003 и 0,005.

• 4.2.2. Пределы допускаемой основной приведенной погрешности рабочих эталонов составляют ±0,003% и ±0,005%.

• 4.2.3. Рабочие эталоны класса точности 0,003 и 0,005 применяют для поверки (калибровки) рабочих разрядных эталонов и СИ непосредственным сличением.

• 4.2.4. Нормирование погрешности рабочих эталонов в виде класса точности, аналогичное нормированию погрешности в государственной поверочной схеме для СИ избыточного давления, является одним из возможных вариантов представления погрешности. У допущенных к применению в Российской Федерации СИ абсолютного давления может нормироваться как приведенная, так и относительная, абсолютная и комбинированная погрешность. Возможно также различное представление погрешностей в поддиапазонах СИ.

• 4.2.5.  Соотношение пределов допускаемых абсолютных погрешностей вторичных эталонов и рабочих эталонов, а также - рабочих эталонов и рабочих эталонов 1-го разряда при одном и том же значении давления должно быть не более 1:2.

• 4.2.6. Допускается возможность поверки (калибровки) рабочих эталонов с помощью эталонов того же разряда при условии, что соотношение пределов их допускаемых абсолютных погрешностей составляет не более 1:2 при одном и том же значении давления.

• 4.3. Рабочие эталоны (разрядные)

• 4.3.1.1. В качестве рабочих эталонов 1-го разряда применяют барометры вибрационно-частотные в диапазоне измерений от 5^10² до 2,840⁵ Па, манометры грузопоршневые абсолютного давления в диапазоне измерений от 2,7Ч0² до 1^10⁷ Па с классом точности 0,008 и 0,01, калибраторы абсолютного давления, манометры цифровые и преобразователи абсолютного давления измерительные в диапазоне измерений от 0 до 1^10⁷ Па с классом точности 0,008 и 0,01.

• 4.3.1.2. Пределы допускаемой основной погрешности рабочих эталонов

• 1 разряда (кроме барометров) составляют ±0,008% и ±0,01%.

• 4.3.1.3. Пределы допускаемых абсолютных погрешностей Л барометров вибрационно-частотных в зависимости от диапазона измерений составляют от 10 до 28 Па.

• 4.3.1.4. Рабочие эталоны 1-го разряда применяют для поверки (калибровки) рабочих эталонов 2-го и 3-го разрядов и рабочих средств измерений непосредственным сличением.

• 4.3.1.5. Соотношение пределов допускаемых абсолютных погрешностей рабочих эталонов 1-го разряда и поверяемых рабочих разрядных эталонов и СИ при одном и том же значении давления должно быть не более 1:2.

• 4.3.1.6. Допускается возможность поверки (калибровки) рабочих разрядных эталонов с помощью эталонов того же разряда при условии, что соотношение пределов их допускаемых абсолютных погрешностей составляет не более 1:2 при одном и том же значении давления.

• 4.3.2.1. В качестве рабочих эталонов 2-го разряда применяют барометры вибрационно-частотные в диапазоне измерений от 5^10² до 2,840⁵ Па, манометры грузопоршневые абсолютного давления в диапазоне измерений от Ы0¹ до 1-10⁷ Па с классом точности от 0,015 до 0,025, калибраторы абсолютного давления, манометры цифровые и преобразователи абсолютного давления измерительные с диапазонами измерений от 0 до 1-10⁷ Па с классом точности от 0,015 до 0,025.

• 4.3.2.2. Пределы допускаемой основной погрешности рабочих эталонов

• 2 разряда (кроме барометров) составляют от ±0,015 до ±0,025%.

• 4.3.2.3. Пределы допускаемых абсолютных погрешностей А барометров вибрационно-частотных в зависимости от диапазона измерений составляют от 20 до 56 Па.

• 4.3.2.4. Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для поверки (калибровки) рабочих эталонов З-го разряда и рабочих средств измерений непосредственным сличением.

• 4.3.2.5. Соотношение пределов допускаемых абсолютных погрешностей рабочих эталонов 2-го разряда и поверяемых рабочих разрядных эталонов и СИ при одном и том же значении давления должно быть не более 1:3.

• 4.3.3.1. В качестве рабочих эталонов 3-го разряда применяют калибраторы абсолютного давления, манометры цифровые и преобразователи абсолютного давления измерительные с диапазонами измерений от 0 до 1-10⁷ Па с классами точности от 0,03 до 0,5.

• 4.3.3.2. Пределы допускаемой основной погрешности рабочих эталонов 3 разряда составляют от ±0,03 до ±0,5%.

• 4.3.3.3. Рабочие эталоны 3-го разряда применяют для поверки (калибровки) рабочих средств измерений непосредственным сличением.

• 4.3.3.4. Соотношение пределов допускаемых абсолютных погрешностей рабочих эталонов и рабочих средств измерений при одном и том же значении давления должно быть не более 1:4 и не более 1:3 при поверке барометров вибрационно-частотных.

• 4.3.3.5. Допускается возможность поверки (калибровки) рабочих эталонов 3-го разряда с помощью эталонов того же разряда при условии, что соотношение пределов их допускаемых абсолютных погрешностей составляет не более 1:4 при одном и том же значении давления.

• 4.4.1. В качестве рабочих средств измерений применяют барометры и барографы деформационные в диапазоне измерений от 7Ч0² до 1,0940⁵ Па, барометры вибрационно-частотные в диапазоне измерений от 5^10² до 2,840⁵ Па, преобразователи абсолютного давления измерительные деформационные в диапазоне измерений от 0 до 140⁷ Па с классами точности от 0,6 до 4, микробарометры и микробарографы деформационные в диапазоне измерений от 440⁴ до 1,0640⁵ Па, манометры абсолютного давления деформационные и цифровые в диапазоне измерений от 0 до 1-10⁷ Па с классами точности от 0,6 до 4.

• 4.4.2.  Нре'де'лы допускаемых абсолютных погрешностей измерений А барометров, барографов, микробарометров и микробарографов в зависимости от типа средства измерений и диапазона измерений составляют от 26 до 200 Па.

• 4.4.3.  Пределы допускаемой основной погрешности измерений манометров и преобразователей абсолютного давления составляют от ±0,6 до ±4 %.