Номер по Госреестру СИ: 74997-19
74997-19 Установка для измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом
(233DC)
Назначение средства измерений:
Установка для измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом модель 233DC (далее — установка) предназначена для измерений поверхностного электрического сопротивления полупроводниковых пластин.
Внешний вид.
Установка для измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 04.07.2019
Срок свидетельства -
Номер записи - 171830
ID в реестре СИ - 615569
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 2 года
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
Без модификации,
Производитель
Изготовитель - Фирма "Four Dimensions, Inc."
Страна - СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности -
Отчет MI_4 состоит из одной диаграммы и таблицы. Диаграмма является интерактивной, обладает свойством масштабирования и опцией выгрузки данных в эксель. Таблица оснащена поиском и функцией сортировки по любой из колонок.
Пузырьковая диаграмма "Области и разделы областей измерений" наглядно показывает разделы областей измерений в части количества типов СИ. Из диаграммы можно сделать выводы о величине областей изерений, количестве и размерах, входящих в них разделов СИ.
Каталог СИ, используемый в сервисе ОЕИ-Аналитика имеет трехуровневую структуру вида: области измерений (более 20), разделы областей измерений (более 250) и группы СИ (более 10 тыс.). При разработке каталога были использованы как существующие кодификаторы: МИ 2803-2014, МИ 2314-2006, МИ 2314-2022, так и собственные наработки. Перед применением каталог был адаптирован и обогащен данными из реального реестра, утвержденных типов СИ ФГИС АРШИН.
Статистика
Кол-во поверок - 1
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 1
Кол-во средств измерений - 0
Кол-во владельцев - 1
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 730 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№1067 от 2019.05.08 Об утверждении типов средств измерений
Наличие аналогов СИ: Установка для измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом (233DC)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Фирма "Four Dimensions, Inc."
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
75055-19 |
Установка для измерения электрофизических параметров полупроводниковых пластин, CVmap 3093BC Фирма "Four Dimensions, Inc." (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
2 года |
|
74997-19 |
Установка для измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом, 233DC Фирма "Four Dimensions, Inc." (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
2 года |
Кто поверяет Установка для измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом (233DC)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ФБУ "НИЖЕГОРОДСКИЙ ЦСМ" (RA.RU.311315) | РСТ | 1 | 0 | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 |
Стоимость поверки Установка для измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом (233DC)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Установка имеет встроенное и автономное программное обеспечение (ПО). Встроенное ПО выполняет функции сбора, обработки, отображения, хранения и передачи измеренных данных. Автономное ПО выполняет функции обработки, отображения, хранения и передачи измеренных данных.
Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствие с Р50.2.077-2014.
Влияние ПО учтено при нормировании метрологических характеристик.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение | |
|
Встроенное ПО |
Автономное ПО | |
|
Идентификационное наименование ПО |
- |
Auto Four-point Probe 233A DI |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
- |
не ниже 5.51 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
- |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на боковую панель прибора печатью и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к установке для измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом модель 233DC
Приказ Росстандарта № 146 от 15 февраля 2016 г. «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений электрического сопротивления»
ГОСТ 22261-94 Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 2202-0073-2018 «ГСИ. Установка для измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом модель 233DC. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» 10 декабря 2018 г.
Основные средства поверки:
-
- нановольтметр/микроомметр 34420А, диапазон измерений электрического сопротивления 1 мкОм - 1 МОм, пределы допускаемой относительной погрешности измерений электрического сопротивления ±(0,006 - 0,007) %, регистрационный номер в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений 47886-11;
-
- измеритель малых токов B2987A, диапазон измерений электрического сопротивления 10 Ом - 10 ПОм, пределы допускаемой относительной погрешности измерений электрического сопротивления в необходимом диапазоне измерений ±(0,135 - 0,285) %, регистрационный номер в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений 68608-17;
-
- катушка электрического сопротивления Р4030, 1000 МОм, класс точности 0,01, регистрационный номер в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений 2825-72.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемого СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке или на лицевую стенку установки, как указано на рисунке 1.
Изготовитель
Фирма «Four Dimensions, Inc.», США
Адрес: 3138 Diablo Ave., Hayward, CA 94545, USA
Телефон: (510) 782-1843
Факс: (510) 786-9321
Web-сайт: www.4dimensions.com
Заявитель
Закрытое акционерное общество «СКАН» (ЗАО «СКАН»)
ИНН 7721212396
Адрес: 119330, г. Москва, ул. Дружбы, д. 10Б
Телефон: (495) 739-5005
Факс: (495) 234-0036
Web-cайт: www.scanru.ru
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт метрологии им. Д.И. Менделеева»Адрес: 190005, г. Санкт-Петербург, Московский пр., 19
Телефон: (812) 251-76-01
Факс: (812) 713- 01-14
Web-сайт: www.vniim.ru
E-mail: info@vniim.ru
Принцип действия установки основан на четырехзондовом методе измерения поверхностного сопротивления. На плоскую поверхность пластины опускается зондовая головка с четырьмя игольчатыми зондами. Через зонды «1» и «4» пропускается ток, а между зондами «2» и «3» измеряется падение напряжения. Результаты измерений автоматически пересчитываются в значения поверхностного сопротивления. Установка позволяет проводить последовательные измерения пластин диаметром до 200 мм, размещенных в кассете. Для обеспечения перемещения пластин из кассеты в кассету, а также их загрузки-выгрузки требуется подключение вакуумной системы и подачи сжатого воздуха.
Установка конструктивно выполнена в виде стойки-моноблока и состоит из автоматической системы измерения электрического сопротивления зондовым методом, видеосистемы Cognex для определения центра пластины и лифта, управляющего вертикальным движением кассеты. В стойке обеспечена возможность размещения ПК и принтера.
На дисплее установки отображаются результаты измерений поверхностного электрического сопротивления в Ом на квадрат поверхности объекта измерения.
Общий вид средства измерений представлен на рисунке 1. Пломба в виде
неразрушаемой наклейки клеится на дверцу корпуса установки, перекрывая зазор между
дверцей и корпусом.
место
пломбирования
Рисунок 1 - Общий вид установки
место нанесения знака поверки
Таблица 4 - Комплектность установки
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Установка |
233DC |
1 шт. |
|
Калибровочный набор из 11 резисторов: | ||
|
20 мОм |
CAL-1 |
1 шт. |
|
0,2 Ом |
CAL 0 |
1 шт. |
|
2 Ом |
CAL 1 |
1 шт. |
|
20 Ом |
CAL 2 |
1 шт. |
|
0,2 кОм |
CAL 3 |
1 шт. |
|
2 кОм |
CAL 4 |
1 шт. |
|
20 кОм |
CAL 5 |
1 шт. |
|
0,2 МОм |
CAL 6 |
1 шт. |
|
2 МОм |
CAL 7 |
1 шт. |
|
20 МОм |
CAL 8 |
1 шт. |
|
0,2 ГОм |
CAL 9 |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации (на CD диске) |
- |
1 экз. |
|
Программное обеспечение (на CD диске) |
Auto Four-point Probe 233A DI |
1 экз. |
|
Методика поверки |
МП 2202-0073-2018 |
1 экз. |
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение | |
|
Диапазон измерений поверхностного электрического постоянному току (на квадрат поверхности), Ом |
сопротивления |
от 140"3 до 8409 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений поверхностного электрического сопротивления постоянному току, % |
±1,0 | |
|
Пределы допускаемых относительных отклонений действительных значений электрического сопротивления резисторов калибровочного набора от их номинальных значений, % | ||
|
20 мОм |
±0,3 | |
|
0,2 Ом |
±0,2 | |
|
2 Ом |
±0,04 | |
|
20 Ом |
±0,04 | |
|
0,2 кОм |
±0,04 | |
|
2 кОм |
±0,04 | |
|
20 кОм |
±0,04 | |
|
0,2 МОм |
±0,1 | |
|
2 МОм |
±0,3 | |
|
20 МОм |
±0,3 | |
|
0,2 ГОм |
±0,3 | |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Напряжение питающей сети переменного тока, В |
220±22 |
|
Частота питающей сети, Гц |
50/60 |
|
Потребляемая мощность, Вт, не более |
1000 |
|
Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм, не более |
600 х 1055 х 1645 |
|
Масса, кг, не более |
100 |
|
Средний срок службы, лет |
10 |
|
Средняя наработка на отказ, ч |
20000 |
|
Условия эксплуатации: температура окружающей среды, °С относительная влажность, % атмосферное давление, кПа |
от +20 до +24 от 40 до 60 50±10 от 97 до 105 |