Номер по Госреестру СИ: 75055-19
75055-19 Установка для измерения электрофизических параметров полупроводниковых пластин
(CVmap 3093BC)
Назначение средства измерений:
Установка для измерения электрофизических параметров полупроводниковых пластин CVmap 3093BC (далее - установка) предназначена для измерений электрической емкости и силы постоянного электрического тока, а также определения вольт-фарадных и вольт-амперных характеристик.
Внешний вид.
Установка для измерения электрофизических параметров полупроводниковых пластин
Рисунок № 1
Внешний вид.
Установка для измерения электрофизических параметров полупроводниковых пластин
Рисунок № 2
Общие сведения
Дата публикации - 04.07.2019
Срок свидетельства -
Номер записи - 171888
ID в реестре СИ - 615510
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 2 года
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
Нет модификации,
Производитель
Изготовитель - Фирма "Four Dimensions, Inc."
Страна - СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности -
Справочник ФГИС «АРШИН» подведомственных Росстандарту организаций содержит список метрологических институтов и региональных метрологических организаций, подведомственных Росстандарту.
На текущий момент актуальный список "подведов" содержит чуть более 60 организаций, но ввиду того, что база ФГИС АРШИН по факту начала наполняться с 2010 года в ней скопилось множество задвоений наименований, различающихся написанием, дублей организаций, вызванных их объединением, реорганизацией и т.п.
Статистика
Кол-во поверок - 1
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 1
Кол-во средств измерений -
Кол-во владельцев -
Усредненный год выпуска СИ -
МПИ по поверкам - дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№1152 от 2019.05.24 Об утверждении типов средств измерений
Наличие аналогов СИ: Установка для измерения электрофизических параметров полупроводниковых пластин (CVmap 3093BC)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Фирма "Four Dimensions, Inc."
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
75055-19 |
Установка для измерения электрофизических параметров полупроводниковых пластин, CVmap 3093BC Фирма "Four Dimensions, Inc." (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
2 года |
|
74997-19 |
Установка для измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом, 233DC Фирма "Four Dimensions, Inc." (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
2 года |
Справочник является модернизированной копией реестра "Утверждённые типы средств измерений" (https://fgis.gost.ru/fundmetrology/registry/4) и содержит сведения о типах СИ, применяемых в сфере обеспечения единства измерений.
В отличии от официального Реестра справочник имеет систему предварительных фильтров:
- по типу производства (серийное или единичное);
- по группам стран (отечественные, импортные или все типы СИ);
- по наличию поверок в ФГИС АРШИН;
- по областям измерений.
Данные выводятся одной таблицей без необходимости "проваливаться" в каждую из записей для уточнения сведений. При наличии ОТ и МП приводится ссылка на ФГИС АРШИН. В таблице реализована система поиска и сортировки по любому из полей.
Справочник содержит более 100 тыс. записей и актуализируется не реже 1 раза в месяц.
Кто поверяет Установка для измерения электрофизических параметров полупроводниковых пластин (CVmap 3093BC)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ФГУП "ВНИИМ ИМ. Д.И.МЕНДЕЛЕЕВА" (RA.RU.311541) | РСТ | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 |
Стоимость поверки Установка для измерения электрофизических параметров полупроводниковых пластин (CVmap 3093BC)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Установка имеет встроенное и автономное программное обеспечение (ПО). Встроенное ПО выполняет функции сбора, обработки, хранения и передачи измеренных данных. Автономное ПО выполняет функции обработки, отображения, хранения и передачи измеренных данных.
Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствие с Р50.2.077-2014.
Влияние ПО учтено при нормировании метрологических характеристик.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение | |
|
Встроенное ПО |
Автономное ПО | |
|
Идентификационное наименование ПО |
- |
CV map 92 |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
- |
не ниже 1.42 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
- |
Лист № 3 Всего листов 5
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на боковую панель прибора печатью и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийприведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к установке для измерения электрофизических параметров полупроводниковых пластин CVmap 3093BC
Приказ Росстандарта № 146 от 15 февраля 2016 г. «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений электрического сопротивления»
ГОСТ 22261-94 Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия
Техническая документация фирмы изготовителя
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 2202-0074-2018 «ГСИ. Установка для измерения электрофизических параметров полупроводниковых пластин CVmap 3093BC. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» 10 декабря 2018 г.
Основные средства поверки:
-
- измеритель RLC E4980A, диапазон измерений электрической емкости 1 пФ - 10 мФ, диапазон установки частоты тестового сигнала 20 Гц - 2 МГц, пределы допускаемой относительной погрешности измерений электрической емкости в необходимом диапазоне измерений ± (0,07 - 0,1) %, регистрационный номер в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений 62364-15;
-
- измеритель малых токов B2987A, диапазон измерений электрического сопротивления 10 Ом - 10 ПОм, пределы допускаемой относительной погрешности измерений электрического сопротивления в необходимом диапазоне измерений ±(0,135 - 0,285) %, регистрационный номер в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений 68608-17;
-
- мультиметр UTB 171B, диапазон измерений постоянного электрического напряжения
(0 - 1000) В, пределы допускаемой относительной погрешности измерений постоянного электрического напряжения в необходимом диапазоне измерений ± (0,05 - 0,08) %,
регистрационный номер в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений 56475-14.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке или на лицевую стенку установки, как указано на рисунке 1.
Изготовитель
Фирма «Four Dimensions, Inc.», СШААдрес: 3138 Diablo Ave., Hayward, CA 94545, USA
Телефон: (510) 782-1843
Факс: (510) 786-9321
Web-сайт: www.4dimensions.com
Заявитель
Закрытое акционерное общество «СКАН» (ЗАО «СКАН»)
ИНН 7721212396
Адрес: 119330, г. Москва, ул. Дружбы, д. 10Б
Телефон: (495) 739-50-05
Факс: (495) 234-00-36
Web-сайт: www.scanru.ru
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт метрологии им. Д. И. Менделеева»
Адрес: 190005, г. Санкт-Петербург, Московский пр., 19
Телефон: (812) 251-76-01
Факс: (812) 713-01-14
Web-сайт: www.vniim.ru
E-mail: info@vniim.ru
Принцип действия установки основан на измерении интегратором электрического заряда, прошедшего через измеряемый объект, при генерации последовательных импульсов внешнего напряжения. Контакт с измеряемым объектом обеспечивается ртутным зондом различной конфигурации - точка, точка и кольцо или точка и два кольца.
Установка позволяет проводить последовательные измерения для пластин диаметром до 300 мм, размещенных в кассете. Для обеспечения перемещения пластин из кассеты в кассету, а также их загрузки-выгрузки требуется подключение вакуумной системы и подачи сжатого воздуха.
Установка конструктивно выполнена в виде стойки-моноблока и состоит из системы измерения электрофизических параметров полупроводниковых пластин, роботизированной системы Genmark с устройством предварительного размещения и камеры считывания идентификационного номера пластины. В стойке обеспечена возможность размещения ПК и принтера.
Вольт-фарадные и вольт-амперные характеристики могут определяться с использованием как встроенного зонда, так и при подключении внешнего зонда. Установка обеспечивает возможность измерения электрической емкости при синусоидальном изменении внешнего напряжения частотой 1 МГц с применением внешних СИ - RLC-метров и анализаторов импеданса.
Общий вид средства измерений представлен на рисунке 1.
место нанесения
знака поверки
Рисунок 1 - Общий вид установки
Пломбы в виде неразрушаемых наклеек клеятся на дверцы корпуса установки, перекрывая зазор между дверцами и корпусом. Места пломбирования указаны на рисунке 2.
|
место пломбирования |
место пломбирования |
место пломбирования |
а б в а - левая сторона, б - лицевая сторона, в - правая сторона
Рисунок 2 - Места пломбирования от несанкционированного доступа
Таблица 4 - Комплектность установки
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Установка |
CVmap 3093BC |
1 шт. |
|
Калибровочный блок (конденсатор 1000 пФ, резисторы 100 кОм, 1 МОм, 1 ГОм) |
- |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации (на CD диске) |
- |
1 экз. |
|
Программное обеспечение (на CD диске) |
CV map 92 |
1 экз. |
|
Методика поверки |
МП 2202-0074-2018 |
1 экз. |
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений электрической емкости, нФ |
от 0,01 до 100 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений электрической емкости, % |
±2,0 |
|
Диапазон установки электрического напряжения, В |
от -100 до +100 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности установки электрического напряжения, % |
±1,2 |
|
Диапазон измерений силы постоянного электрического тока, мА |
от 5,0-10-11 до 1 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений силы постоянного электрического тока, % |
±1,4 |
|
Пределы допускаемых отклонений действительных значений электрической емкости конденсатора калибровочного блока от его номинального значения, % | |
|
1000 пФ |
±0,5 |
|
Пределы допускаемых отклонений действительных значений электрического сопротивления резисторов калибровочного блока от их номинальных значений, % | |
|
100 кОм |
±0,5 |
|
1 МОм |
±0,5 |
|
1 ГОм |
±0,5 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Напряжение питающей сети переменного тока, В |
220±22 |
|
Частота питающей сети, Гц |
50/60 |
|
Потребляемая мощность, Вт, не более |
1500 |
|
Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм, не более |
915 х 1168 х 1778 |
|
Масса, кг, не более |
360 |
|
Средний срок службы, лет |
10 |
|
Средняя наработка на отказ, ч |
20000 |
|
Условия эксплуатации: температура окружающей среды, °С |
22±2 |
|
относительная влажность, % |
50±10 |
|
атмосферное давление, кПа |
101±4 |