Номер по Госреестру СИ: 71361-18
71361-18 Генераторы-анализаторы цифровых сигналов с параметрическим измерителем модульные
(NI PXIe-6570)
Назначение средства измерений:
Генераторы-анализаторы цифровых сигналов с параметрическим измерителем модульные NI PXIe-6570 (далее - модули) предназначены для генерации, анализа и измерения параметров сигналов в системах тестирования полупроводниковых приборов.
Программное обеспечение
Программное обеспечение (драйвер “NI-Digital Pattern Driver”) служит для управления режимами модулей, задания параметров и функций, отображения и хранения измерительной информации. Драйвер устанавливается на внешний контроллер с шиной PXIe в базовом блоке (шасси).
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений «низкий» по Р 50.2.077-2014 (класс риска “B” по WELMEC 7.2).
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
Идентификационное наименование |
NI-Digital Pattern Driver |
Номер версии (идентификационный номер) |
17.0 и выше |
«7 «А110МА1 1ЧПЛЛИИП
• Ob
место нанесения знака утверждения типа и знака поверки
Рисунок 1 - Общий вид модулей
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на лицевую панель корпуса модулей в виде наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к генераторам-анализаторам цифровых сигналов с параметрическим измерителем модульным NI PXIe-6570
ГОСТ 8.027-2001. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы
ГОСТ 8.022-91. ГСИ. Государственный первичный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне Т10'16 30 А
ГОСТ Р МЭК 61326-1-2014. Оборудование электрическое для измерения, управления и лабораторного применения. Требования электромагнитной совместимости. Часть 1. Общие требования
Поверка
Поверкаосуществляется по документу М6570МП-2018 «ГСИ. Генераторы-анализаторы цифровых сигналов с параметрическим измерителем модульные NI PXIe-6570. Методика поверки», утвержденному ЗАО «АКТИ-Мастер» 23.04.2018 г.
Основные средства поверки:
-
- мультиметр цифровой модульный NI PXI-4071; рег. № 57582-14;
-
- источник-измеритель напряжения и силы тока модульный NI PXIe-4136; рег. № 69739-17.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.
Знак поверки наносится лицевую панель корпуса модулей в виде наклейки (место нанесения показано на рисунке 1) и/или на свидетельство о поверке.
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «НЭШНЛ ИНСТРУМЕНТС РУС» (ООО «ЭнАй Рус»)
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 42, офис 1201
Тел. (495)783-68-51
Факс (495)783-68-52
E-mail ni.russia@ni.com
Испытательный центр
Закрытое акционерное общество «АКТИ-Мастер» (ЗАО «АКТИ-Мастер»)
Адрес: 127254, г. Москва, Огородный проезд, д. 5, стр. 5
Тел./факс: +7(495)926-71-85
Web-сайт: http://www.actimaster.ru
E-mail post@actimaster.ru
Модули представляют собой многоканальные устройства, в каждом из каналов которых имеются:
-
- драйвер напряжения;
-
- компаратор (логический анализатор) напряжения;
-
- активная нагрузка;
-
- параметрический измеритель напряжения и силы тока (PPMU).
Формирование набора испытательных сигналов производится генератором тестовой последовательности в соответствии с заданной пользователем конфигурацией, параметрами статического и динамического режимов (частота, амплитуда, положения фронта и спада импульсов).
Драйвер предназначен для подачи напряжения (уровни «высокий», «низкий», «земля») на исследуемый объект.
Компаратор осуществляет логический анализ входных сигналов от объекта по задаваемым порогам срабатывания напряжения («высокий», «низкий»).
Активная нагрузка позволяет на заданном уровне поддерживать силу тока от исследуемого объекта.
Параметрический измеритель напряжения и силы тока (PPMU) предназначен для измерения вольт-амперных характеристик объекта в режимах источника напряжения и тока, а также в качестве электронной нагрузки со стабилизацией значений напряжения или силы тока.
Управление модулями осуществляется по шине PXI Express (PXIe).
Конструктивно модули выполнены в виде сборки печатных плат в металлическом корпусе, имеющем лицевую панель с разъемом для присоединения сигнальных кабелей, и заднюю панель с разъемом для присоединения к шине PXI Express. Модули устанавливаются в шасси PXI Express. На панелях модулей отсутствуют элементы регулировки и подстройки, доступные пользователю. Общий вид модулей показан на рисунке 1.
Таблица 4 - Комплектность модулей
Наименование и обозначение |
Кол-во |
Генератор-анализатор цифровых сигналов с параметрическим измерителем модульный NI PXIe-6570 |
1 шт. |
NI PXIe-6570 Getting Started Guide |
1 шт. |
Руководство по эксплуатации 376528A-01R (на компакт-диске) |
1 шт. |
Методика поверки М6570МП-2018 |
1 шт. |
Принадлежности |
по заказу |
Таблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристики |
Значение |
1 |
2 |
Количество независимых каналов |
32 |
ГЕНЕРАТОР ТЕСТОВОЙ ПОСЛЕДОВАТ |
ЕЛЬНОСТИ |
Максимальная длина тестовой последовательности, Мбит |
128 |
Максимальная частота смены векторов тестовой последовательности, МГц |
100 |
Период тестовой последовательности |
от 10 нс до 40 мкс |
ДРАЙВЕР (ГЕНЕРАТОР НАПРЯЖЕНИЯ) | |
Программируемые уровни напряжения: «высокий» (VIH), «низкий» (VIL), «земля» (VTERM) | |
Диапазон уровней постоянного напряжения, В |
от -2 до +6 |
Разрешение по напряжению, мкВ |
122 |
Выходное сопротивление, Ом |
50 |
Минимальный перепад напряжения (VIH - VIL), В |
0,4 (на нагрузке 1 МОм) |
Диапазон силы тока в нагрузке, мА |
±32 |
П Продолжение таблицы 2
1 |
2 | ||||
Время нарастания/спада импульсов напряжения, нс |
1,2 1) | ||||
Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки постоянного напряжения, мВ |
±15 (на нагрузке 1 МОм) | ||||
КОМПАРАТОР (ЛОГИЧЕСКИЙ АНАЛИЗАТОР) НАПРЯЖЕНИЯ | |||||
Программируемые уровни порогов срабатывания: «высокий» |
(Voh), «низкий» (Vol) | ||||
Диапазон установки порогов срабатывания, В |
от -2 до +6 | ||||
Разрешение по напряжению, мкВ |
122 | ||||
Пределы допускаемой абсолютной погрешности порогов срабатывания, мВ |
±25 2) | ||||
АКТИВНАЯ НАГРУЗКА | |||||
Программируемые уровни силы тока: «высокий» (IOH), «низкий» (IOL) | |||||
Диапазон установки силы тока, мА |
от 1,5 до 24 | ||||
Разрешение по силе тока, нА |
488 | ||||
Диапазон входного напряжения, В |
от -2 до +6 | ||||
Разрешение по напряжению, мкВ |
122 | ||||
Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки силы тока, мА |
±1 3) | ||||
ПАРАМЕТРИЧЕСКИЙ ИЗМЕРИТЕЛЬ (PPMU) | |||||
Диапазон временной апертуры |
от 4 мкс до 65 мс | ||||
Разрешение временной апертуры, мкс |
4 | ||||
Диапазон установки напряжения, В |
от -2 до +6 | ||||
Разрешение установки напряжения, мкВ |
122 | ||||
Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки постоянного напряжения, мВ |
±15 (на нагрузке 1 МОм) | ||||
Диапазон измерения напряжения, В |
от -2 до +6 | ||||
Разрешение измерения напряжения, мкВ |
228 | ||||
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения постоянного напряжения, мВ |
±5 | ||||
Верхние пределы диапазонов DI, разрешение RI и пределы допускаемой абсолютной погрешности AI установки силы постоянного тока PPMU | |||||
Di |
Ri |
AI | |||
±2 мкА |
60 пА |
0,01- Di 4) | |||
±32 мкА |
980 пА | ||||
±128 мкА |
3,9 нА | ||||
±2 мА |
60 нА | ||||
±32 мА |
980 нА | ||||
Диапазон ограничения по напряжению, В |
от -2 до +6 | ||||
Разрешение по напряжению, мкВ |
122 | ||||
|
П Продолжение таблицы 2
Верхние пределы диапазонов DI, разрешение RI и пределы допускаемой абсолютной погрешности AI измерения силы постоянного тока PPMU | ||||
Di |
Ri |
AI | ||
±2 мкА |
460 пА |
0,01- Di п 0,015- Di 2) | ||
±32 мкА |
7,3 нА | |||
±128 мА |
30 нА | |||
±2 мА |
460 нА | |||
±32 мА |
7,3 мкА | |||
|
Рисунок 2 - Зоны значений силы тока и напряжения по горизонтальной оси - значения напряжения, В по вертикальной оси - значения силы тока, % от верхнего предела диапазона
Таблица 3 - Основные технические характеристики
Наименование характеристики |
Значение |
1 |
2 |
Потребляемая мощность от шасси PXI Express, Вт, не более |
68 |
Габаритные размеры, мм | |
высота |
131 |
глубина |
216 |
ширина |
42 |
Масса, г, не более |
920 |
Рабочие условия применения | |
температура окружающего воздуха, °C |
от 0 до 45 |
относительная влажность воздуха, % |
от 10 до 90 (без конденсата) |
Электромагнитная совместимость |
по ГОСТ Р МЭК 61326-1-2014 |
Лист № 5 Всего листов 6