Номер по Госреестру СИ: 68812-17
68812-17 Установка контроля параметров транзисторных структур
(Agilent 4082F)
Назначение средства измерений:
Установка контроля параметров транзисторных структур Agilent 4082F (далее по тексту -установка) предназначена для измерения и воспроизведения параметров (сила постоянного тока, напряжение постоянного тока) на полупроводниковых пластинах.
Программное обеспечение
Программное обеспечение (далее - ПО) выполняет функции создания, редактирования параметров функционального контроля, задания параметров параметрических измерений, источников питания, универсальных каналов и других устройств установки, а также обработку и документирование измерительной информации.
Идентификационные данные ПО приведены в таблице 1.
Таблица 1 - Характеристики ПО
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
Идентификационное наименование ПО |
Agilent SPECS for Linux |
Номер версии (идентификационный номер ПО), не ниже |
3.x |
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Уровень защиты ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «высокий» в соответствии с рекомендациями Р 50.2.077-2014.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на панель корпуса установки в виде наклейки и на титульный лист паспорта типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений отсутствуют.
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к установке контроля параметров транзисторных структур Agilent 4082F
ГОСТ 22261-94 Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия
ГОСТ 20398.0-83 Транзисторы полевые. Общие требования при измерении электрических параметров
ГОСТ 24461-80 Приборы полупроводниковые силовые. Методы измерений и испытаний
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 68812-17 «Установка контроля параметров транзисторных структур Agilent 4082F. Методика поверки», утвержденному ООО «ИЦРМ» 23.06.2017 г.
Таблица 5 - Основные средства поверки
Наименование СИ |
Регистрационный номер в Федеральном информационном фонде |
Мультиметр 3458А |
25900-03 |
Калибратор универсальный 9100 |
25985-09 |
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится в свидетельство о поверке или в паспорт.
Изготовитель
Фирма «Keysight Technologies International Japan, Ltd. », Япония
Адрес: 9-1 Takakura-cho, Hachioji-shi Tokyo 192-8510 Japan
Web-сайт: http://www.keysight.com
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «Автоматизированные системы контроля ИБИС» (ООО «АСК ИБИС»)
ИНН 7720310746
Адрес: 111123, г. Москва, ш. Энтузиастов, дом 64
Web-сайт: www.acs-inc.ru
Телефон: +7(495) 504-1511
Испытательный центр
Общество с ограниченной ответственностью « разработок в области метрологии»Адрес: 142704, Московская область, Ленинский район, г. Видное, Промзона тер., корпус 526 Телефон: +7 (495) 278-02-48
E-mail: info@ic-rm.ru
Установка контроля параметров транзисторных структур Agilent 4082F состоит из измерительной стойки и тестового блока (test head), который контактируется к зондовой станции Accretech UF2000. Измерительная стойка состоит из анализатора спектра Agilent E4411B, г.р. № 23670-08, измерителя LCR мод. E4980A, г.р. № 40676-09, цифрового мультиметра 3458A, г.р. № 25900-03, и имеет восемь контрольных блоков питания: 6 блоков со средней мощностью и 2 блока с высокой мощностью (MPSMU или HPSMU). Каждый блок является самокалибрующимся и имеет возможность программной настройки как на воспроизведение силы и напряжения постоянного тока, так и на одновременное измерение силы и напряжения постоянного тока.
Внешний вид установки, места пломбирования и нанесения знака поверки представлены на рисунке 1.
Место
пломбирования
Место нанесения знака поверки
Рисунок 1 - Внешний вид установки, места пломбирования и нанесения знака поверки
Основные метрологические и технические характеристики установки приведены в таблицах 2-3.
Таблица 2
Наименование характеристики |
Значение |
Воспроизведение и измерение напряжения постоянного тока при использовании блоков MPSMU или HPSMU | |
Диапазоны измерений/воспроизведений напряжения постоянного тока, В |
от -2 до +2 от -20 до +20 от -40 до +40 от -100 до +100 от -200 до +2001) |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения/воспроизведения напряжения постоянного тока, В:
|
±0,0005-±0,002 ±0,0005-±0,02 ±0,0005-±0,04 ±0,0005-±0,8 ±0,0005-±0,2 |
Воспроизведение и измерение силы постоянного тока при использовании MPSMU, подключенного к портам SMU1 и SMU2 | |
Диапазоны измерения силы постоянного тока, мА |
от -100 до +100 от -10 до +10 от -1 до +1 от -0,1 до +0,1 от -0,01 до +0,01 от -0,001 до +0,001 от -0,0001 до +0,0001 от -0,00001 до +0,00001 от -0,000001 до +0,000001 |
Окончание таблицы 2
Наименование характеристики |
Значение |
Диапазоны воспроизведения силы постоянного |
от -100 до +100 |
тока, мА |
от -10 до +10 от -1 до +1 от -0,1 до +0,1 от -0,01 до +0,01 |
от -0,001 до +0,001 | |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы постоянного тока, мА: для диапазона от -100 до +100 мА |
±0,001-!изм ±0,3 |
для диапазона от -10 до +10 мА |
±0,001-!изм ±0,03 |
для диапазона от -1 до +1 мА |
±0,001-!изм ±0,003 |
для диапазона от -0,1 до +0,1 мА |
±0,001-!изм ±0,0003 |
для диапазона от -0,01 до +0,01 мА |
±0,001-!изм ±0,00003 |
для диапазона от -0,001 до +0,001 мА |
±0,002^ 1изм ±0,000003 |
для диапазона от -0,0001 до +0,0001 мА |
±0,002^ 1изм ±0,0000003 |
для диапазона от -0,00001 до +0,00001 мА |
±0,01Лзм ±0,00000005 |
для диапазона от -0,000001 до +0,000001 мА |
±0,01-!изм ±0,000000005 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока, мА: для диапазона от -100 до +100 мА |
±0,00157воспр ±0,3 |
для диапазона от -10 до +10 мА |
±0,0015-1вОсяр ±0,03 |
для диапазона от -1 до +1 мА |
±0,00157воспр ±0,003 |
для диапазона от -0,1 до +0,1 мА |
±0,00157воспр ±0,0003 |
для диапазона от -0,01 до +0,01 мА |
±0,0015\!воспр ±0,00003 |
для диапазона от -0,001 до +0,001 мА |
±0,003^ 1воспр ±0,000003 |
Примечания 1) при использовании блоков HPSMU; | |
U - измеренное/воспроизводимое значение напряжения постоянного тока; 1изм - измеренное значение силы постоянного тока; 1воспр - воспроизводимое значение силы постоянного тока. |
Таблица 3 - Технические характеристики установки
Наименование характеристики |
Значение |
Габаритные размеры, (длинахширинахвысота), мм, не более: - измерительная стойка |
600х905х1800 |
- зондовая станция Accretech UF2000 |
1142x1229x933 |
Масса, кг, не более: - измерительная стойка |
274 |
- зондовая станция Accretech UF2000 |
800 |
Параметры сети питания переменного тока: - напряжение переменного тока, В |
от 180 до 252 |
- частота переменного тока, Гц |
от 48 до 63 |
Сила потребляемого переменного тока, А, не более |
30 |
Рабочие условия измерений: - температура окружающего воздуха, °С |
от 15 до 30 |
- относительная влажность воздуха без конденсации % |
от 15 до 70 |
Средняя наработка на отказ, ч |
150000 |