Наименование изделия или составной части

Количество, шт.

Примечание

Источник излучения

1

Модернизированный гониометр ГУР-8

1

Бартельс-монохроматор для использования источника с медным анодом

1

для CuKa1

Система водяного охлаждения с датчиком протока воды

1

Приставка-держатель пластин 5-осная

1

Кронштейн детектора

1

Кронштейн коллиматора и монохроматора

1

Опора кожуха трубки

1

Сцинтилляционный детектор SCSD-4.01

1

Блок управления

1

Сетевой фильтр-разветвитель

1

Программное обеспечение RDPW/DSO-2 и макросы

1

Соединительные кабели

-

комплект

Наименование изделия или составной части

Количество,

шт.

Примечание

Диафрагмы для Бартельс-монохроматора, мм:

0,05

2

0,1

2

0,5

2

1,0

3

3,0

2

Адаптер для Бартельс-монохроматора

1

Прорезные кристаллы-монохроматоры

2

Ge(220) симм.

Комплект рабочей документации:

-Руководство по эксплуатации НГМК.430207.002РЭ с приложениями.

-Инструкция по использованию программного обеспечения

- Методика измерений рассогласования параметров кристаллических решеток эпитаксиальных пленок железо-иттриевого граната и подложек гадолиний-галлиевого граната на установке для анализа состава монокристаллических пленок зав. №НГМК.430207.002

Комплект инструментов:

- разводной ключ

1

- шестигранные ключи

-

комплект

Запасные части и вспомогательные принадлежности: - держатель пластин

2

- кольцевой держатель (шайба-переходник)

1

- прижим для пластин

3

- индекс

1

запасной

- плата расширения

1

-персональный компьютер

1

Наименование

Кол-во

Средства метрологического обеспечения:

Комплект стандартных образцов дифракционных свойств, используемых при поверке и контроля определения межугловых позиций в различных диапазонах углов включает***:

• - СО для контроля угловых позиций и параметров решетки монокристаллических пластин -ГСО ПРФ4 (ПРФ3)

• - комплект СО для определения диапазона углов ПРМ-17(А1₂О₃), ПРМ-19 (ГГГ))

1 шт.

1 (один) комплект

Примечание:*** возможно использование других типов стандартных образцов дифракционных свойств утвержденного типа, обеспечивающих определение состава с теми же уровнями погрешности результатов измерений рассогласования параметров решетки.

Дополнительные стандартные образцы и меры могут быть использованы для более полного метрологического обеспечения, например, с учетом атомного номера и межугловых позиций анализируемых веществ, длины волны используемого излучения и при дополнительных применениях.

Диапазон измерений составов эпитаксиальных структур относительно состава (параметра кристаллической решетки) подложки, %

от -0,06

до +0,06

Диапазоны сканирования для регистрации отражённого излучения по шкале углов «2Q», градус:

от 10 до 65 от 100 до 169

Пределы допускаемой абсолютной погрешности определения относительной величины рассогласования параметров кристаллических решёток эпитаксиальных структур, %

±0,02

Пределы допускаемой абсолютной погрешности определения параметров кристаллической решетки (размеров элементарной ячейки) в диапазоне от 0,01 до 0,20 нм, нм

±0,0002

Систематическая (аппаратурная) погрешность определения параметра кристаллической решетки, нм

±0,00005

Среднеквадратичное отклонение случайной составляющей (СКО) относительной величины рассогласования параметров кристаллической решётки, %

0,007

Среднеквадратичное отклонение случайной составляющей (СКО) погрешности определения параметра кристаллической решётки эпитаксиальных пленок, нм

0,00008

Среднеквадратичное отклонение случайной составляющей (СКО) погрешности определения параметров кристаллической решетки, нм

0,00005

Предельные значения среднеквадратических отклонений случайной составляющей (СКО) погрешности определения максимумов угловых позиций брэгговских отражений по шкале 2Q, градус:

в диапазоне от 10 до 65 градусов

в диапазоне от 100 до 169 градус

0,005

0,006

Дискретность угловых датчиков по J и 2J (на осях червяков), градусов

0,0005

Диапазон интенсивностей, регистрируемых детектором, имп/сек

от 1 до 500000

Экспозиция в режиме счёта импульсов, с

от 0,1 до 500

Время прогрева, мин, не более

5

Время непрерывной работы

не ограничено

Напряжение электрического питания, В Частота, Гц

от 200 до 240

(50±1)

Потребляемая мощность блока управления, Вт, не более

170

Масса блока управления, кг, не более

14

Масса сцинтилляционного детектора, кг, не более

0,7

Г абариты устройства ПДП в сборе с гониометром и трубкой на плите (Д*Ш*В), мм, не более

1110x845x813

Габариты блока управления, (ДхШ*В), мм, не более

482x263x310

Г абариты сцинтилляционного детектора, мм

195x97x45

Автоматическое перекрывание рентгеновского излучения заслонкой при открывании защитного кабинета

есть

Световая индикация наличия высокого напряжения

есть

Световая индикация открытия заслонки

есть