Номер по Госреестру СИ: 66426-17
66426-17 Датчик волнового фронта
(ШаГ-3000С)
Назначение средства измерений:
Датчик волнового фронта ШаГ-3000С (далее прибор) предназначен для измерений отклонений от плоскостности элементов оптических систем и отдельных плоских деталей методом анализа формы плоских волновых фронтов.
Внешний вид.
Датчик волнового фронта
Рисунок № 1
Программное обеспечение
Приборы оснащены ПО «Shah».
Вычислительные алгоритмы ПО расположены в заранее скомпилированных бинарных файлах и не могут быть модифицированы, они блокируют редактирование для пользователей и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО приборов
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
Идентификационное наименование ПО |
Shah |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
v.10 и выше |
Цифровой идентификатор ПО |
Guard Stealth II |
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Главной защитой ПО является наличие USB-ключа, что позволяет предотвратить неавторизованное использование ПО.
Защита программного обеспечения приборов соответствует уровню «средний»
в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к датчику волнового фронта ШаГ-3000С
Техническая документация ООО «Визионика», г. Москва
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 203-23-2016 «Датчик волнового фронта ШаГ-3000С. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМС» 07.11.2016 г.
Основное средство поверки:
- мера отклонений от плоскостности (Рег. № 48279-11).
Допускается применение аналогичных средств поверки не приведенных в перечне, но обеспечивающих определение метрологических характеристик средств измерений с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Изготовитель
Общество с ограниченной ответственностью «Визионика» (ООО «Визионика»)
ИНН 7727544574
Адрес: 123100 г. Москва, ул. Анатолия Живова, д.10, стр.2
Тел./факс: +7 (499)213-31-25
E-mail: visio@optics.ru
Web-сайт: www.visionica.ru
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт метрологической службы» (ФГУП «ВНИИМС»)
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46
Тел./факс: (495)437-55-77 / 437-56-66
E-mail: office@vniims.ru, www.vniims.ru
Работа приборов основана на принципе Шака-Гартмана.
Прибор состоит из волоконного источника света, блока датчика волнового фронта и компьютера с программным обеспечением (ПО).
Волоконный источник света предназначен для формирования плоского волнового фронта. Блок датчика волнового фронта предназначен для анализа плоского волнового фронта и состоит из телескопа с матрицей микролинз и фотоприемника, расположенного в фокальной плоскости микролинз.
При измерении сформированный плоский волновой фронт проходит через контролируемую оптическую систему, или отражается от отдельного плоского элемента, попадает в приемную апертуру блока датчика волнового фронта и передается на матрицу микролинз.
Изображение, сформированное в фокальной плоскости микролинз, передается на матрицу фотоприемника, а затем в цифровом виде через соединительный кабель в персональный компьютер, где с помощью специального ПО измеряется отклонение формы волнового фронта, падающего на датчик оптического излучения, характеризующее отклонение от плоскостности.
Рисунок 1 - Внешний вид датчика волнового фронта ШаГ-3000С Пломбирование датчика волнового фронта ШаГ-3000С не предусмотрено.
Таблица 2 - приборов
Наименование характеристики |
Значение |
Диапазон измерений отклонений от плоскостности, мкм |
от 0,08 до 1,26 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений отклонений от плоскостности по параметру RMS , мкм |
± 0,03 |
Пределы допускаемой случайной составляющей погрешности прибора, мкм |
± 0,001 |
Диапазон размеров измеряемых плоских деталей, мм |
от 30 до 50 |
Допустимое значение частоты возмущающих гармонических вибраций, Гц, не более |
30 |
Параметры электропитания Напряжение переменного тока, В |
от 200 до 220 |
Частота, Гц |
от 50 до 60 |
Масса, кг, не более |
6 |
Габаритные размеры блока датчика волнового фронта, мм, не более - длина |
110 |
- ширина |
175 |
- высота |
235 |
Условия эксплуатации - температура окружающей среды, °С |
от +15 до +30 |
- относительная влажность, % |
от 50 до 80 |
*RMS - среднеквадратическое отклонение поверхности от средней плоскости, построенной по методу наименьших квадратов