Номер по Госреестру СИ: 63646-16
63646-16 Интерферометр
(GPI XP/D)
Назначение средства измерений:
Интерферометр GPI XP/D (далее прибор) предназначен для измерений отклонений от плоскостности оптических поверхностей в научно-исследовательских институтах, оптическом приборостроении.
Внешний вид.
Интерферометр
Рисунок № 1
Программное обеспечение
Прибор оснащен программным обеспечением MetroPro версии v.8.2. Вычислительные алгоритмы MetroPro расположены в заранее скомпилированных бинарных файлах и не могут быть модифицированы, они блокируют редактирование для пользователей и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО интерферометра GPI XP/D
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
Идентификационное наименование ПО |
MetroPro |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
v.8.2 и выше |
Цифровой идентификатор ПО |
Код доступа |
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Главной защитой ПО является отсутствие возможности установки его на компьютер, к которому не подключен контроллер видео измерительной системы, что позволяет предотвратить неавторизованное использование ПО.
Защита программного обеспечения прибора соответствует уровню «высокий» в
соответствии с Р 50.2.077-2014.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом, а также на торец корпуса прибора методом наклейки.
Лист № 3 Всего листов 3
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
содержатся в документе «Интерферометр GPI XP/D. Руководство по эксплуатации».
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к интерферометру GPI XP/D
Техническая документация фирмы-производителя.
Поверка
Поверкаосуществляется в соответствии с документом МП 63646-16 «Интерферометр GPI XP/D. Методика поверки», утвержденным ФГУП «ВНИИМС» в мае 2015 г.
Основные средства поверки:
- мера отклонений от плоскостности 0 200 мм, (№ ГР 48279-11).
Знак поверки в виде оттиска клейма поверителя и голографической наклейки наносится на свидетельство о поверке.
Изготовитель
Zygo Corporation, США
Laurel Brook Road Middlefield, CT 06455-1291, USA
Tel: 800-994-6669
Fax: 860-347-8372
E-mail: inquire@zygo.com
Заявитель
Университет ИТМО
Адрес: 197101, г. Санкт-Петербург, Кронверкский пр., д. 49
Тел./факс: 8(812)457-15-49
E-mail: b.p.papchenko@gmail.com
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт метрологической службы» (ФГУП «ВНИИМС»)
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46
Тел./факс: (495)437-55-77 / 437-56-66
E-mail: office@vniims.ru, www.vniims.ru
Прибор построен по схеме двухлучевого интерферометра Физо. В качестве источника света в нем используется гелий-неоновый лазер с длиной волны 633 нм. Оптический расширитель преобразует лазерное излучение в параллельный пучок диаметром 150 мм. После расширителя установлена насадка с плоской клиновидной пластиной, последняя поверхность которой является эталонной плоскостью.
Контролируемую деталь закрепляют в специальную оправу, при этом контролируемая поверхность относительно эталонной устанавливаются таким образом, чтобы обеспечивался автоколлимационный ход лучей в интерферометре.
Пучок электромагнитного излучения с помощью контролируемой пластины пространственно разделяется на два когерентных пучка, которые интерферируют между собой. Первый пучок образуется после отражения от эталонной поверхности, второй - после прохождения через контролируемую пластину.
В результате интерференции в плоскости матричного приемника создается интерференционная картина в виде полос.
Контроль формы поверхностей основан на анализе интерференционной картины, Для автоматизации измерений на приборе используется специальный электронный блок управления, в котором реализован метод фазовых шагов для автоматической расшифровки интерферограмм. Анализ интерференционных картин и определение на его основе параметров формы контролируемой поверхности или отраженного от нее волнового фронта выполняется по специальной программе с помощью ПК.
Рисунок 1 - Внешний вид интерферометра GPI XP/D
Таблица 2 - интерферометра GPI XP/D
Диапазон измерений отклонений от плоскостности, мкм |
от 0,06 до 2,0 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений |
±0,03 |
отклонений от плоскостности, мкм | |
Диапазон измеряемых диаметров, мм |
от 50 до 150 |
Класс лазера по ГОСТ 31581-2012 |
3А |
Длина волны лазера, не более, нм |
633 |
Мощность, не более, мВт |
5 |
Допустимое значение частоты возмущающих гармонических вибраций, не более, Гц |
30 |
Параметры электропитания Напряжение, В |
от 230 до 240 вкл. |
Частота, Гц |
от 50 до 60 вкл. |
Масса, не более, кг |
41 |
Габаритные размеры, не более, мм - длина |
992 |
- ширина |
308 |
- высота |
308 |
Условия эксплуатации: Нормальная область значения температуры, °С |
20±2 |
Относительная влажность воздуха, не более, % |
95 |