Номер по Госреестру СИ: 44714-10
44714-10 Микроскоп сканирующий интерференционный белого света
(Zygo NewView 6200)
Назначение средства измерений:
Микроскоп сканирующий интерференционный белого света NewView 6200 (далее - микроскоп) - это универсальный (многоцелевой) прибор для трёхмерного анализа микрорельефа отражающей поверхности, создаёт графические изображения и проводит их цифровой анализ с целью получения высокоточных данных о структуре поверхности исследуемого объекта.
Область применения - научно-исследовательские институты, оптическое приборостроение и микроэлектроника.
Общие сведения
Дата публикации - 07.05.2020
Срок свидетельства -
Номер записи - 133202
ID в реестре СИ - 355602
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Модификации СИ
Zygo NewView 6200,
Производитель
Изготовитель - Фирма "Zygo Corporation"
Страна - СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Отчет. Количество средств измерений собственника по группам измерений и производителям
Цель отчета:Формирование сводной информации о количестве средств измерений (СИ) собственников, распределенных по группам измерений и производителям, с возможностью анализа структуры парка СИ, определения доли производителей.
Первый этап – выбор данных для анализа
На этом этапе пользователю предлагается выбрать группы средств измерений и категорию масштаба владельцев СИ
Группа средств измерений
Пользователь выбирает одну или несколько групп из доступного списка (более 10 000 групп). Реализована функция мультиселекта, позволяющая одновременно выбирать несколько групп.
Категория или крупность владельцев СИ
Поле выбора (Select) позволяет указать собственника СИ и задать минимальное количество СИ, находящихся у него на балансе.
Второй этап – детализация выбора и группировка данных
После заполнения формы пользователь может выбрать конкретных собственников СИ или объединить их в группы (например, Газпром, Транснефть и др.). Для удобства выбора каждая запись о собственнике сопровождается информацией о количестве уникальных типов СИ и общем количестве СИ, находящихся у него на балансе.
Результаты формирования отчета
Отчет отображает итоговую таблицу с данными о средствах измерений, структурированными по следующим параметрам: производители средств измерений, количество поверок, общее количество средств измерений, количество действующих средств измерений (уникальность определяется по типу СИ, заводскому номеру). Доля данного производителя в общем парке СИ выбранной группы владельцев.
Статистика
Кол-во поверок - 2
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 0
Кол-во средств измерений - 0
Кол-во владельцев - 1
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
Наличие аналогов СИ: Микроскоп сканирующий интерференционный белого света (Zygo NewView 6200)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Фирма "Zygo Corporation"
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
44714-10 |
Микроскоп сканирующий интерференционный белого света, Zygo NewView 6200 Фирма "Zygo Corporation" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
|
63646-16 |
Интерферометр, GPI XP/D Фирма "Zygo Corporation" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
Владивосток - город и порт на Дальнем Востоке России, политический, культурный, научный, образовательный и экономический центр региона, административный центр Приморского края, Владивостокского городского округа, а с 13 декабря 2018 года - центр Дальневосточного федерального округа. Расположен на полуострове Муравьева-Амурского, городу подчинены 5 сельских поселений и острова в заливе Петра Великого Японского моря.
Конечный пункт Транссибирской магистрали. Один из крупнейших морских портов Дальневосточного бассейна. Главная база Тихоокеанского флота. Крупнейший научно-образовательный центр Дальневосточного региона, включающий Дальневосточный федеральный университет и Дальневосточное отделение Российской академии наук.
Владивосток - крупный экономический центр Дальнего Востока и лидер среди городов Приморского края, отличающийся концентрацией трудовых, финансовых и производственных ресурсов. Город имеет диверсифицированную экономику, представленную развитыми обрабатывающими производствами (машиностроение, судостроение, судоремонт, производство продуктов питания и т.д.), оптовой и розничной торговлей, сферой услуг, транспортом и связью. В неблагоприятном положении находятся: строительство, сельское хозяйство, энергетика, газо- и водоснабжение. Во Владивостоке зарегистрировано более 46 тысяч предприятий и организаций, 92,9% из них - частные.
Отчет "Анализ рынка поверки в Владивостоке" предоставляет исчерпывающую информацию по деятельности организаций, аккредитованных в Национальной системе аккредитации на право поверки средств измерений в городе Владивосток.
При проведении исследований были введены следующие ограничения:
- в отчете присутствуют организации с первичными или периодическими поверками от 100 шт. с 2017 года и действующими аттестатами аккредитации на текущий год;
- на первом и втором этапах фильтром отсекаются типы СИ с менее чем 10 поверками в год на организацию;
- на первом и втором этапах фильтром отсекаются типы СИ с менее чем 10 поверками в год на организацию;
- место регистрации или осуществления деятельности организаций должно совпадать с выбранным городом;
- топ типов СИ ограничен 500 позициями по каждой организации (сортировка по убыванию количества поверок);
- топ типов СИ ограничен 100 позициями по каждой организации при поиске по видам измерений (сортировка по убыванию количества поверок).
Содержание отчета:
- Список организаций-поверителей, осуществляющих поверку в городе Москва по данным ФСА и ФГИС АРШИН.
- Объемы первичных и периодических поверок за период с 2017г. по н.в.
- Информация о местах осуществления деятельности организаций-поверителей.
- Доля рынка поверок в % среди всех организаций, исследуемого города (предоставление информации в графическом и табличном видах).
- Детальный анализ по каждой из организации, работающей в выбранном городе.
- Анализ деятельности в разрезе первичных, периодических поверок и видов измерений.
- Количество поверок по типам СИ в динамике по годам.
- Индикация импортных аналогов средств поверки (в соответствии с ПЕРЕЧЕНЕМ СИ ОТЕЧЕСТВЕННОГО ПРОИЗВОДСТВА, АНАЛОГИЧНЫХ СРЕДСТВАМ ИЗМЕРЕНИЙ ИМПОРТНОГО ПРОИЗВОДСТВА от 09.2022г)
- Индикация типов СИ по ПП РФ №250 от 20.04.2010 г.
- Быстрый анализ контрагентов организаций-поверителей.
- Анализ цен на поверку СИ по Фед. округу.
Кто поверяет Микроскоп сканирующий интерференционный белого света (Zygo NewView 6200)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2025 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ФГУП «ВНИИОФИ» (RA.RU.311485) | РСТ | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| ФГУП "ВНИИОФИ" (RA.RU.311485) | РСТ | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
Стоимость поверки Микроскоп сканирующий интерференционный белого света (Zygo NewView 6200)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Поверка
Поверка микроскопа проводится по документу «Микроскоп сканирующий интерференционный белого света NewView6200 фирмы “Zygo Corporation”, США. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в июле 2010 г.
Основные средства поверки: меры рельефные высоты ступеньки SHS-1.8QC, SHS-1800QC, SHS-180QC, входящие в состав вторичного эталона ВЭТ 113-2-09; объект-микрометр ОМО ДТ7.216.009ПС, серийный номер №3347.
Вспомогательное средство поверки: Прецизионная опорная пластина ZYGO. Номер модели 1776-666-013. Серийный номер 1776-666-012.
Межповерочный интервал - 1 год.
Изготовитель
фирма “Zygo Corporation”, СШАLaurel Brook Road P.O. Box 448
Middlefield, Connecticut 06455
Tel.: (860) 347-8506
об утверждении типа средств измерений
Всего листов 4
E-mail: inquire@zygo.com
Website: www.zygo.com
Принцип действия микроскопа основан на способности световых колебаний отражаться от поверхности среды, имеющей отличный от воздуха показатель преломления и интерференции отраженных от поверхности исследуемого объекта и опорного зеркала световых колебаний. Прибор использует сканирующую (по оси Z) интерферометрию белого света для получения изображений и определения микроструктуры и топографии поверхности. Сканирование осуществляется с помощью шагового двигателя при большом изменении высоты (до 15 мм) и с помощью дискретного пьезоманипулятора при изменении высоты в пределах 150 мкм. Свет от излучателя микроскопа делится внутри интерферометрического объектива на два пучка: опорный и тестовый. Тестовый пучок направляется на исследуемую поверхность, отражается от неё и внутри объектива интерферирует с опорным пучком. При вертикальном сканировании изменяется расстояние между интерференционным объективом и исследуемым участком поверхности. На определённом удалении объектива от поверхности оптическая разность хода между опорным и тестовым пучками обращается в нуль, и выполняется условие максимума, причём для всех длин волн, входящих в спектр излучения излучателя микроскопа. Для этой высоты с помощью ПЗС-камеры формируется изображение, на котором максимальную интенсивность будут иметь точки поверхности, находящиеся на этой высоте. При дальнейшем изменении высо-
об утверждении типа средств измерений Всего листов 4
ты условие максимума будет выполняться уже для других точек поверхности. Сформированный таким образом массив данных преобразуется с помощью программного обеспечения MetroPro в топограмму поверхности.
В приборе используются интерферометрические объективы, реализующие схему интерферометра Миро (объективы с увеличением 100х, 50х, 20х и 10х) и схему интерферометра Майкельсона (объективы с увеличением 5х и 1х).
|
№ п/п |
Наименование устройства |
Обозначение |
Кол-во, шт |
|
1 |
Базовый блок микроскопа (датчик) |
ZYGO/NewView6K NV6200Microscope Part#6300-0501-02 S/N 07-28-59448 |
1 |
|
2 |
Интерферометрический объектив Майкельсона lx Mich |
Zygo Corp L 10221 1XLWD/0.03 WD 8.0 |
1 |
|
3 |
Интерферометрический объектив Майкельсона lx Mich |
Zygo Corp L 10180 1XSLWD/0.03 WD 8.0 |
1 |
|
4 |
Интерферометрический объектив Майкельсона 5х Mich |
Nikon 5X70,13 TI WD.9.3 426183 |
1 |
|
5 |
Интерферометрический объектив Миро 10х Mirau |
Zygo Corp 1 100766 lOx Юх/О.ЗО WD7.4 oo/0 |
1 |
|
6 |
Интерферометрический объектив Миро 20х Mirau |
Zygo Corp 1200545 20x 20x/0.40 WD4.7 oo/0 |
1 |
|
7 |
Интерферометрический объектив Миро 50х Mirau |
Zygo Corp I 500612 50x /0.55 WD 3.4 oo/0 |
1 |
|
8 |
Моторизованная турель для объективов на 6 мест |
Nikon |
1 |
|
9 |
Моторизованный X-Y столик |
Zygo 1520-500-114 S/N:080416P138350 |
1 |
об утверждении типа средств измерений Всего листов 4
|
10 |
Контроллер сканирования микроскопа по оси Z и рабочего столика по осям X и Y; |
Zygo 6202-0190-14 |
1 |
|
11 |
Драйвер рабочего столика |
Zygo S/N: ТК0801010 |
1 |
|
12 |
Блок управления микроскопом |
Zygo S/N: 07-28-59448 |
1 |
|
13 |
Компьютер |
Dell Optiplex 745 |
1 |
|
14 |
Основной ЖК монитор |
Dell 1708FPf |
1 |
|
15 |
Вспомогательный ЖК монитор |
Dell 1708FPf |
1 |
|
16 |
Клавиатура |
Типовая |
1 |
|
17 |
Мышь |
Типовая |
1 |
|
18 |
Стол на виброизолирующих опорах |
Dynamics Engineering |
1 |
|
19 |
Компрессор |
E.C.CIAO 6/185 (до 12 бар); |
1 |
|
20 |
Руководство по эксплуатации |
1 |
Знак утверждения типа наносят фотохимическим методом на табличку, закрепляемую с помощью клея на корпус микроскопа, и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Средняя длина волны оптического излучения, нм |
550 |
|
Ширина спектра оптического излучения, нм |
125 |
|
Длина когерентности оптического излучения, мкм |
2,9 |
|
Диапазон измерения относительной высоты, мкм1 |
0-150 |
|
Расширенный диапазон измерения относительной высоты, мм2 |
0,1-15 |
|
Предел вертикального разрешения (шагового двигателя), мкм |
<0,1 |
|
Скорость сканирования, мкм/с |
до 7 |
|
Линейное поле зрения, мм2 для объектива с увеличением: | |
|
1х |
5,2 х 7,0 |
|
5х |
1,05 х 1,4 |
|
10х |
0,52 х 0,70 |
|
20х |
0,26 х 0,35 |
|
50х |
0,1 х 0,14 |
|
прим.: может быть увеличено в режиме сшивки | |
|
Количество элементов изображения (формат ПЗС-матрицы) |
640x480 |
|
Характеристики тестовых пластинок | |
|
- максимальные размеры (В х Ш хД), мм |
89x203x203 |
|
- коэффициент отражения поверхности, % |
1-100 |
|
- материал поверхности |
непрозрачный, прозрачный, с покрытием, без покрытия |
|
Рабочие условия эксплуатации: | |
|
- температура окружающего воздуха, °C |
15-30 |
|
- стабильность температуры, °C/15 мин |
<1 |
|
- относительная влажность воздуха, % |
5-95 |
|
Давление воздуха в системе виброизоляции, бар |
4,1-5,5 |
|
Питание от сети общего назначения | |
|
- номинальное напряжение, В |
10СН-240 |
|
- частота, Гц |
50/60 |
|
Потребляемая мощность, кВт, не более |
1,2 |
|
Масса микроскопа, кг, не более |
430 |
|
Габаритные размеры (В х Ш хД), мм, не более |
157x132x89 |
-
1 Сканирование пьезоманипулятором
-
2 Сканирование шаговым двигателем
об утверждении типа средств измерений Всего листов 4
|
Площадь, занимаемая микроскопом, м2, не более |
4 |
|
Средний срок службы, лет, не менее |
10 |
Метрологические характеристики:
|
Диапазон измерений относительной высоты неровности, мкм |
0-2 |
|
Предел разрешения, нм |
<0,2 |
|
Расширенная неопределённость измерения относительной высоты h, нм, не более, | |
|
в интервале 0-20 нм |
(0,2 +0,065h) |
|
в интервале 20-180 нм |
( 1,5 + 0,0063(h-20)) |
|
в интервале 80 нм - 2 мкм |
(2,5 + 0,0094(h-180)) |
|
Повторяемость измерений относительной высоты двух плоскостей, не хуже, нм | |
|
в интервале 0-20 нм |
0,1 |
|
в интервале 20-180 нм |
0,2 |
|
в интервале 180 нм - 2 мкм |
1 |
|
Диапазон измерения поперечных размеров, мкм |
1 - 7000 |
|
Расширенная неопределённость измерения поперечных размеров, мкм, не более при увеличении объектива | |
|
1х |
бмкм |
|
5х |
Змкм |
|
10х |
±2мкм |
|
20х |
±1,5мкм |
|
50х |
±0,7мкм |
КОМПЛЕКТНОСТЬ
|
№ п/п |
Наименование устройства |
Обозначение |
Кол-во, шт |
|
1 |
Базовый блок микроскопа (датчик) |
ZYGO/NewView6K NV6200Microscope Part#6300-0501-02 S/N 07-28-59448 |
1 |
|
2 |
Интерферометрический объектив Майкельсона lx Mich |
Zygo Corp L 10221 1XLWD/0.03 WD 8.0 |
1 |
|
3 |
Интерферометрический объектив Майкельсона lx Mich |
Zygo Corp L 10180 1XSLWD/0.03 WD 8.0 |
1 |
|
4 |
Интерферометрический объектив Майкельсона 5х Mich |
Nikon 5X70,13 TI WD.9.3 426183 |
1 |
|
5 |
Интерферометрический объектив Миро 10х Mirau |
Zygo Corp 1 100766 lOx Юх/О.ЗО WD7.4 oo/0 |
1 |
|
6 |
Интерферометрический объектив Миро 20х Mirau |
Zygo Corp 1200545 20x 20x/0.40 WD4.7 oo/0 |
1 |
|
7 |
Интерферометрический объектив Миро 50х Mirau |
Zygo Corp I 500612 50x /0.55 WD 3.4 oo/0 |
1 |
|
8 |
Моторизованная турель для объективов на 6 мест |
Nikon |
1 |
|
9 |
Моторизованный X-Y столик |
Zygo 1520-500-114 S/N:080416P138350 |
1 |
об утверждении типа средств измерений Всего листов 4
|
10 |
Контроллер сканирования микроскопа по оси Z и рабочего столика по осям X и Y; |
Zygo 6202-0190-14 |
1 |
|
11 |
Драйвер рабочего столика |
Zygo S/N: ТК0801010 |
1 |
|
12 |
Блок управления микроскопом |
Zygo S/N: 07-28-59448 |
1 |
|
13 |
Компьютер |
Dell Optiplex 745 |
1 |
|
14 |
Основной ЖК монитор |
Dell 1708FPf |
1 |
|
15 |
Вспомогательный ЖК монитор |
Dell 1708FPf |
1 |
|
16 |
Клавиатура |
Типовая |
1 |
|
17 |
Мышь |
Типовая |
1 |
|
18 |
Стол на виброизолирующих опорах |
Dynamics Engineering |
1 |
|
19 |
Компрессор |
E.C.CIAO 6/185 (до 12 бар); |
1 |
|
20 |
Руководство по эксплуатации |
1 |