Номер по Госреестру СИ: 60760-15
60760-15 Спектрометр рентгеновский фотоэлектронный
(PHI 5000 VersaProbe)
Назначение средства измерений:
Спектрометр рентгеновский фотоэлектронный PHI 5000 VersaProbe (далее -спектрометр) предназначен для измерений интенсивности вторичного излучения элементов в поверхностных слоях твердых образцов.
Внешний вид.
Спектрометр рентгеновский фотоэлектронный
Рисунок № 1
Программное обеспечение
Спектрометр оснащен встроенным программным обеспечением, которое невозможно идентифицировать, позволяющим проводить контроль процесса измерений, осуществлять сбор экспериментальных данных, обрабатывать и сохранять полученные результаты, а также внешним специализированным программным обеспечением «PHISUMMITXPSforVersaProbe». Идентификационные данные внешнего специализированного программного обеспечения представлены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные |
Значение |
Идентификационное наименование ПО |
PHI SUMMIT XPS for Versa Probe |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
1.4.1.6 |
Цифровой идентификатор ПО |
44BF05B94F311A4DC9735E006BB4A186 |
Другие идентификационные данные |
Md5 |
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «высокий» в соответствии с Р 50.2.077 - 2014.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на боковую панель спектрометра методом наклейки и на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийМетодика измерений представлена в руководстве по эксплуатации.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к спектрометру
Техническая документация изготовителя фирмы «ULVACPHI, INC», Япония.
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 6-251-2015 «ГСИ. Спектрометр рентгеновский
фотоэлектронный PHI 5000 VersaProbe. Методика поверки», утвержденному ФГУП «УНИИМ» «10» марта 2015 г.
Основные средства поверки:
- металлические тонкие пленки:
Марка металлической тонкой пленки |
Параметры металлической тонкой пленки |
Массовая доля основного компонента в металлической тонкой пленке, %, не менее |
Серебро (Ср 99,9) |
Толщина, мм, 0,025 |
99,9 |
ГОСТ 6836-2002 |
Размеры, мм, 20x20 | |
Золото (Зл 99,9) |
Толщина, мм, 0,025 |
99,9 |
ГОСТ 6835-2002 |
Размеры, мм, 25x25 | |
Медь (М0к) |
Толщина, мм, 0,025 |
99,9 |
ГОСТ 859-2001 |
Размеры, мм, 20x20 |
Изготовитель
Фирма «ULVAC-PHI, Inc.», США
18725 Lake Drive East Chanhassen, MN 55317 USA
Physical Electronics USA, Inc.
Email: sales@phi.com
Telephone: (952)-828-6100
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений ФГУП «Уральский научноисследовательский институт метрологии» (ГЦИ СИ ФГУП «УНИИМ»)620000, г. Екатеринбург, ул. Красноармейская, 4, тел. (343) 350-26-18, факс: (343) 350-20-39.
E-mail: uniim@uniim.ru
Принцип работы спектрометра основан на явлении фотоэффекта и регистрации фотоэлектронов, покидающих поверхность образца при облучении монохроматическим рентгеновским излучением.
Конструкционно спектрометр изготовлен в виде моноблока, в котором находятся: источники рентгеновского излучения (рентгеновская трубка); оптическая система, включающая монохроматор; блок детектирования (канальный или вторичный электронный умножитель); энергоанализатор.
Для детектирования элементов, проводится предварительное нанесение образца на непроводящую подложку (графитовый скотч). Кроме того, в приборе предусмотрено тонкое варьирование угла падения первичного рентгеновского излучения, что позволяет проводить детектирование элементов по различной глубине приповерхностного слоя исследуемого вещества.
Внешний вид спектрометра представлен на рисунке 1.
Место нанесения знака поверки
Рис.1 Внешний вид спектрометра рентгеновского фотоэлектронного
PHI 5000 VersaProbe
представлены в таблице 2 Таблица 2 -
Наименование характеристик |
Значения характеристик |
Диапазон регистрируемых элементов |
От Be до Bi |
Предел допускаемого относительного среднего квадратического отклонения выходного сигнала, % |
10 |
Диапазон измерений энергии связи, эВ |
от 0 до 1400 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений энергии связи, эВ |
±1,0 |
Разрешение энергии связи (полная ширина линии на половине высоты) на линии золота Au 4f7/2 при ширине энергетического окна 2,95 эВ, эВ, не более |
0,61 |
Параметры источника питания:
|
380±10% 50 |
Условия эксплуатации:
о
|
70 20±5 |
Габаритные размеры, мм, не более |
3500x3300 Х1800 |
Масса, кг, не более |
1000 |