Мера (рис. 1) представляет собой пластину квадратной формы из синтетического кварца. Рабочая сторона пластины покрыта пленкой хрома с антиотражающим покрытием общей толщиной 105 нм. В пленке хрома с помощью метода электронно-лучевой литографии выгравирован рисунок. Рисунок на пластине включает пять одинаковых групп элементов, расположенных в центре и по углам пластины. Группы элементов промаркированы буквами A, B, C, D, и E. Мера имеет также буквенно-цифровую маркировку, расположенную у нижнего края пластины: (зав. № CD4) - NIIIS CD STANDARD # 4 (рис. 2), (зав. № СD2) - NIIIS CD STANDARD #2. Меры отличаются размерами: (зав. № СD4) -127x127x2,3 мм; (зав. № CD2) - 152,4x152,4x6,35 мм.

В каждую группу входят четыре одинаковых набора элементов с различной шириной линий (Рис. 3). Наборы 1(Х) и 2(Y) ориентированы по разным осям координат и представляют собой светлые (прозрачные) элементы на фоне сплошной хромовой пленки. Наборы 3(Х) и 4(Y) также ориентированы по разным осям координат, но представляют собой островки хрома на фоне большого светлого (прозрачного) окна. Каждый набор включает в себя ряд элементов (Рис. 4), размер которых возрастает слева направо или снизу вверх. Номинальный размер 8 элементов указан снизу или справа от данного элемента - 0,4; 0,5; 0,6; 0,7; 0,8; 1,1; 3,2; 8,0 мкм (Рис.4 и в Табл.1).

Меры хранятся в закрытых упаковках (футлярах) и используются по назначению в чистых помещениях. Внешний вид меры в упаковке и нанесенный массив элементов на поверхности меры приведены на рисунках 1 - 4.

место пломбировки от несанкционированного доступа *

Рисунок 1 - Внешний вид меры в упаковке. Наклейки размещаются на верхней крышке укладочного футляра

Рисунок 3 (F2) - Наборы светлых и темных элементов различной ориентации

Рисунок 4 - Элементы с номинальными размерами

Таблица 1 - Вид и описание элементов

Комплект поставки включает:

- мера в упаковке - 1 комплект;

- комплект эксплуатационной документации «Набор мер (фотошаблонов ) критических линейных размеров элементов фотошаблонов. Паспорт»; «Набор мер (фотошаблонов) критических линейных размеров элементов фотошаблонов. Руководство по эксплуатации» - 1 комплект;

• - методика поверки - 1 шт.

Основные метрологические и технические характеристики мер приведены в табли -це 2.

Таблица 2