Сведения о средстве измерений: 53984-13 Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат

Номер по Госреестру СИ: 53984-13
53984-13 Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат
(LMS IPRO2)

Назначение средства измерений:
Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат LMS IPRO2 (далее - мера) предназначена для поверки (калибровки) установок измерений координат элементов топологии типа LMS IPRO2.

сертификация программного обеспечения
Внешний вид. Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат, http://oei-analitika.ru рисунок № 1
Внешний вид.
Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат
Рисунок № 1
Внешний вид. Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат, http://oei-analitika.ru рисунок № 2
Внешний вид.
Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат
Рисунок № 2
Внешний вид. Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат, http://oei-analitika.ru рисунок № 3
Внешний вид.
Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат
Рисунок № 3
Внешний вид. Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат, http://oei-analitika.ru рисунок № 4
Внешний вид.
Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат
Рисунок № 4

Общие сведения

Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 143982
ID в реестре СИ - 366382
Тип производства - единичное
Описание типа

Поверка

Интервал между поверками по ОТ - 3 года
Наличие периодической поверки - Да

Модификации СИ

Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат LMS IPRO2, 213.53,

Производитель

Изготовитель - Фирма "Photronics MZD GmbH"
Страна - ГЕРМАНИЯ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да

Волгоград (ранее Царицын, Сталинград) - крупный промышленный центр Волгоградской области. Современный город с населением чуть более миллиона человек. Население многонационально.

Основная часть трудоспособного населения занята в промышленном секторе экономики (около 40% занятых). Промышленность Волгограда имеет большое значение в развитии города, области и юга России в целом. Наибольшую долю в ней занимают предприятия тяжелой промышленности (46%).

В городе хорошо развита химическая промышленность, топливная, деревообрабатывающая. Завод "Каустик" является крупнейшим в стране производителем каустической соды и хлора. ОАО "Пласткард" - единственный в России производитель сертифицированного ПВХ для пищевой промышленности.

Город имеет развитую инфраструктуру и развитую транспортную сеть. Подземный трамвай (аналог метро) - единственное сооружение такого типа в России.

Отчет "Анализ рынка поверки в Волгограде" предоставляет исчерпывающую информацию по деятельности организаций, аккредитованных в Национальной системе аккредитации на право поверки средств измерений в городе Волгоград.

При проведении исследований были введены следующие ограничения:

  • в отчете присутствуют организации с первичными или периодическими поверками от 100 шт. с 2017 года и действующими аттестатами аккредитации на текущий год;
  • на первом и втором этапах фильтром отсекаются типы СИ с менее чем 10 поверками в год на организацию;
  • на первом и втором этапах фильтром отсекаются типы СИ с менее чем 10 поверками в год на организацию;
  • место регистрации или осуществления деятельности организаций должно совпадать с выбранным городом;
  • топ типов СИ ограничен 500 позициями по каждой организации (сортировка по убыванию количества поверок);
  • топ типов СИ ограничен 100 позициями по каждой организации при поиске по видам измерений (сортировка по убыванию количества поверок).

Содержание отчета:

  • Список организаций-поверителей, осуществляющих поверку в городе Москва по данным ФСА и ФГИС АРШИН.
  • Объемы первичных и периодических поверок за период с 2017г. по н.в.
  • Информация о местах осуществления деятельности организаций-поверителей.
  • Доля рынка поверок в % среди всех организаций, исследуемого города (предоставление информации в графическом и табличном видах).
  • Детальный анализ по каждой из организации, работающей в выбранном городе.
  • Анализ деятельности в разрезе первичных, периодических поверок и видов измерений.
  • Количество поверок по типам СИ в динамике по годам.
  • Индикация импортных аналогов средств поверки (в соответствии с ПЕРЕЧЕНЕМ СИ ОТЕЧЕСТВЕННОГО ПРОИЗВОДСТВА, АНАЛОГИЧНЫХ СРЕДСТВАМ ИЗМЕРЕНИЙ ИМПОРТНОГО ПРОИЗВОДСТВА от 09.2022г)
  • Индикация типов СИ по ПП РФ №250 от 20.04.2010 г.
  • Быстрый анализ контрагентов организаций-поверителей.
  • Анализ цен на поверку СИ по Фед. округу.

Стоимость 3 000 руб.

Статистика

Кол-во поверок - 6
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 1
Кол-во средств измерений - 5
Кол-во владельцев - 2
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 802 дн.

Наличие аналогов СИ: Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат (LMS IPRO2)

ИМПОРТНОЕ СИ
№ в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ
№ в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель

Все средства измерений Фирма "Photronics MZD GmbH"

№ в реестре
cрок св-ва
Наименование СИ, обозначение, изголовитель ОТ, МП МПИ
53984-13

Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат, LMS IPRO2
Фирма "Photronics MZD GmbH" (ГЕРМАНИЯ )
ОТ
3 года
60717-15

Набор мер (фотошаблонов) критических линейных размеров элементов фотошаблонов, Нет данных
Фирма "Photronics MZD GmbH" (ГЕРМАНИЯ )
ОТ
МП
3 года

Отчет позволяет получить информацию по модификациям СИ утвержденных типов:

  • наименования модификаций в зависимости от типа СИ;
  • количество СИ каждой из модификаций;
  • долю СИ, приходящихся на конкретную модификацию от общего количества СИ данного типа.

Стоимость 200 руб. или по подписке

Кто поверяет Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат (LMS IPRO2)

Наименование организации Cтатус Поверенные модификации Кол-во поверок Поверок в 2024 году Первичных поверок Периодических поверок Извещений Для юриков Для юриков первичные Для юриков периодические
ООО ИК "СИБИНТЕК"
(RA.RU.311951)
  • 213.53
  • 4 4 0 0 4 4 0
    АО "НИЦПВ"
    (RA.RU.311409)
  • Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат LMS IPRO2
  • 2 0 1 0 1 0 1

    Стоимость поверки Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат (LMS IPRO2)

    Организация, регион Стоимость, руб Средняя стоимость

    Знак утверждения типа

    Знак утверждения типа

    наносится на лицевую панель укладочного футляра меры в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.

    Сведения о методиках измерений

    Сведения о методиках (методах) измерений

    Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат LMS IPRO2. Руководство по эксплуатации.


    Нормативные и технические документы

    Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к мере:

    Документация изготовителя LMS IPRO2 - Acceptance Test_V1-2 2010-07-19.

    Поверка

    Поверка

    осуществляется по документу МП 53984-13 «Инструкция. Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат LMS IPRO2. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» 18.12.2012 г.

    Основные средства поверки:

    • - стандартный образец - 6-дюймовая маска на кварцевом стекле, изготовитель ф. Leica Microsystems Li^graphy Gmbh, Jena, Германия (сертификат калибровки РТВ), диапазон номинальных значений координат элементов стандартного образца (140x140) мм, значения координат элементов стандартного образца определены в РТВ с расширенной неопределенностью (при коэффициенте охвата k = 2) U = 15 нм;

    • - установка измерительная LEICA LMS IPRO (сертификат калибровки РТВ или лаборатории, аккредитованной в DKD), диапазон измерений координат элементов от 5 мкм до 204 мм, расширенная неопределенность (при коэффициенте охвата k = 2) измерений координат элементов U = 35 нм;

    • - микроскоп электронный растровый S-4800 (регистрационный номер 50413-12), диапазон измерений линейных размеров от 2 нм до 100 нм с пределами допускаемой погрешности измерений ± (0,01- 0,03) %.


    Изготовитель

    Фирма Photronics MZD GmbH, Германия.
    Адрес: Германия, г. Дрезден, Maria-Reiche-Str. 4.

    Заявитель

    Закрытое акционерное общество «СКАН» (ЗАО «СКАН»).
    Адрес: 119330, г. Москва, ул. Дружбы, д. 10 «Б»
    тел.: (495) 739-5005 факс: (495) 234-0036 e-mail: a.vilkin@scanru.ru

    Испытательный центр

    Государственный центр испытаний средств измерений открытое акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ»).
    Адрес:119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1,
    Тел. (495) 935-97-77, 935-97-66, Тел./Факс: 935-96-90, E-mail: nicpv@mail.ru

    Мера (рис. 1) представляет собой пластину квадратной формы из синтетического кварца размером 152,4x152,4x6,35 мм, рабочая сторона которой покрыта пленкой хрома с антиотражающим покрытием общей толщиной 10,5 нм. В пленке хрома с помощью метода электронно-лучевой литографии выгравирован рисунок. Рисунок на фотошаблоне включает в себя массив крестообразных фигур (элементов) в количестве 29x 29 штук, а также буквенно-цифровую маркировку с надписью NIIIS REGISTRATION STANDARD # 2, расположенную у нижнего края пластины (рис. 2).

    Длина линий, образующих крест, составляет 500 мкм по обеим осям, ширина линий 5 мкм. Массив крестов расположен симметрично относительно центра пластины, расстояние между центрами соседних крестов составляет 5000 мкм. Каждый крест в массиве промаркирован двумя числами, первое из которых совпадает с номером строки, а второе - с номером столбца в массиве. Кроме того, в левом нижнем углу фотошаблона есть элемент в виде уголка, служащий для определения ориентации фотошаблона в процессе поверки (калибровки) LMS IPRO2. Все указанные выше элементы представляют собой окна, вытравленные в пленке хрома.

    Мера хранится в закрытом футляре и используется по назначению в чистых помещениях.

    Внешний вид меры в открытой упаковке и нанесенный массив крестообразных фигур на поверхности меры приведены на рисунках 1 - 3.

    Внешний вид. Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат (LMS IPRO2), http://oei-analitika.ru

    Рисунок 1 - Внешний вид меры в упаковке

    - место пломбировки от несанкционированного доступа. Наклейки размещаются на верхней крышке укладочного футляра

    Внешний вид. Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат (LMS IPRO2), http://oei-analitika.ru Внешний вид. Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат (LMS IPRO2), http://oei-analitika.ru

    Рисунок 2 - Массив крестообразных фигур

    Внешний вид. Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат (LMS IPRO2), http://oei-analitika.ru

    Комплект поставки включает:

    - мера в укладочном ящике - 1 комплект ;

    - комплект эксплуатационной документации (Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат LMS IPRO2. Паспорт; Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат LMS IPRO2. Руководство по эксплуатации) - 1 комплект;

    • - методика поверки - 1 шт.


    Основные метрологические и технические характеристики меры приведены в таблице 1.

    Таблица 1

    Наименование характеристики

    Значение характеристики

    Диапазон номинальных значений координат элементов меры

    от 5 мкм до 140 мм

    Допустимое отклонение координат элементов меры от номинальных значений, нм

    ± 150

    Ширина линии элемента меры, мкм

    5

    Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм

    152,4x152,4x6,35

    Масса, г, не более

    200

    Рабочий диапазон температуры, °С

    20 ± 0,5

    Относительная влажность воздуха при температуре 20 °С, %

    от 40 до 65

    Атмосферное давление, кПа

    от 84 до 106


    Настройки внешнего вида
    Цветовая схема

    Ширина

    Левая панель