Номер по Госреестру СИ: 53984-13
53984-13 Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат
(LMS IPRO2)
Назначение средства измерений:
Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат LMS IPRO2 (далее - мера) предназначена для поверки (калибровки) установок измерений координат элементов топологии типа LMS IPRO2.
Внешний вид.
Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат
Рисунок № 1
Внешний вид.
Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат
Рисунок № 2
Внешний вид.
Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат
Рисунок № 3
Внешний вид.
Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат
Рисунок № 4
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на лицевую панель укладочного футляра меры в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат LMS IPRO2. Руководство по эксплуатации.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к мере:Документация изготовителя LMS IPRO2 - Acceptance Test_V1-2 2010-07-19.
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 53984-13 «Инструкция. Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат LMS IPRO2. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» 18.12.2012 г.
Основные средства поверки:
-
- стандартный образец - 6-дюймовая маска на кварцевом стекле, изготовитель ф. Leica Microsystems Li^graphy Gmbh, Jena, Германия (сертификат калибровки РТВ), диапазон номинальных значений координат элементов стандартного образца (140x140) мм, значения координат элементов стандартного образца определены в РТВ с расширенной неопределенностью (при коэффициенте охвата k = 2) U = 15 нм;
-
- установка измерительная LEICA LMS IPRO (сертификат калибровки РТВ или лаборатории, аккредитованной в DKD), диапазон измерений координат элементов от 5 мкм до 204 мм, расширенная неопределенность (при коэффициенте охвата k = 2) измерений координат элементов U = 35 нм;
-
- микроскоп электронный растровый S-4800 (регистрационный номер 50413-12), диапазон измерений линейных размеров от 2 нм до 100 нм с пределами допускаемой погрешности измерений ± (0,01- 0,03) %.
Заявитель
Закрытое акционерное общество «СКАН» (ЗАО «СКАН»).Адрес: 119330, г. Москва, ул. Дружбы, д. 10 «Б»
тел.: (495) 739-5005 факс: (495) 234-0036 e-mail: a.vilkin@scanru.ru
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений открытое акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ»).Адрес:119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1,
Тел. (495) 935-97-77, 935-97-66, Тел./Факс: 935-96-90, E-mail: nicpv@mail.ru
Мера (рис. 1) представляет собой пластину квадратной формы из синтетического кварца размером 152,4x152,4x6,35 мм, рабочая сторона которой покрыта пленкой хрома с антиотражающим покрытием общей толщиной 10,5 нм. В пленке хрома с помощью метода электронно-лучевой литографии выгравирован рисунок. Рисунок на фотошаблоне включает в себя массив крестообразных фигур (элементов) в количестве 29x 29 штук, а также буквенно-цифровую маркировку с надписью NIIIS REGISTRATION STANDARD # 2, расположенную у нижнего края пластины (рис. 2).
Длина линий, образующих крест, составляет 500 мкм по обеим осям, ширина линий 5 мкм. Массив крестов расположен симметрично относительно центра пластины, расстояние между центрами соседних крестов составляет 5000 мкм. Каждый крест в массиве промаркирован двумя числами, первое из которых совпадает с номером строки, а второе - с номером столбца в массиве. Кроме того, в левом нижнем углу фотошаблона есть элемент в виде уголка, служащий для определения ориентации фотошаблона в процессе поверки (калибровки) LMS IPRO2. Все указанные выше элементы представляют собой окна, вытравленные в пленке хрома.
Мера хранится в закрытом футляре и используется по назначению в чистых помещениях.
Внешний вид меры в открытой упаковке и нанесенный массив крестообразных фигур на поверхности меры приведены на рисунках 1 - 3.
Рисунок 1 - Внешний вид меры в упаковке
- место пломбировки от несанкционированного доступа. Наклейки размещаются на верхней крышке укладочного футляра
Рисунок 2 - Массив крестообразных фигур
Комплект поставки включает:
- мера в укладочном ящике - 1 комплект ;
- комплект эксплуатационной документации (Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат LMS IPRO2. Паспорт; Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат LMS IPRO2. Руководство по эксплуатации) - 1 комплект;
-
- методика поверки - 1 шт.
Основные метрологические и технические характеристики меры приведены в таблице 1.
Таблица 1
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
Диапазон номинальных значений координат элементов меры |
от 5 мкм до 140 мм |
Допустимое отклонение координат элементов меры от номинальных значений, нм |
± 150 |
Ширина линии элемента меры, мкм |
5 |
Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм |
152,4x152,4x6,35 |
Масса, г, не более |
200 |
Рабочий диапазон температуры, °С |
20 ± 0,5 |
Относительная влажность воздуха при температуре 20 °С, % |
от 40 до 65 |
Атмосферное давление, кПа |
от 84 до 106 |