Номер по Госреестру СИ: 51519-12
51519-12 Анализаторы мощных устройств/характериографы
(B1505A с модулями B1510A, B1511A, B1512A, B1513A, B1513B, B1514A, B1520A, B1525A, B1530A)
Назначение средства измерений:
Анализаторы мощных устройств/характериографы В1505А с модулями В1510А, В1511А, В1512А, В1513А, В1513В, В1514А, В1520А, В1525А, В1530А (далее - анализаторы) предназначены для:
- воспроизведения/измерения напряжения постоянного тока до 3000 В;
- точных измерений постоянного тока в субпикоамперном диапазоне при высоких напряжениях;
- воспроизведения/измерения силы постоянного тока до 2 А и импульсного до 40 A;
- воспроизведения токового импульса шириной до 50 мкс при больших токах;
- переключения между измерением большого тока и высокого напряжения без перека-либровки;
- измерений емкости при постоянных напряжениях до 3000 В.
Внешний вид.
Анализаторы мощных устройств/характериографы
Рисунок № 1
Внешний вид.
Анализаторы мощных устройств/характериографы
Рисунок № 2
Программное обеспечение
Управление режимами работы и настройками анализаторов осуществляется с помощью внутреннего программного обеспечения (ПО), которое встроено в защищенную от записи память микроконтроллера, что исключает возможность его несанкционированных настройки и вмешательства, приводящим к искажению результатов измерений.
Идентификационные данные ПО приведены в таблице 1. Таблица 1
Наименование ПО |
Идентификационное наименование ПО |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
ПО для анализаторов мощных уст-ройств/характериог-рафов В1505А/1505А |
В1500 Software A 04.11.2010.1209 |
Версия A.04.11.2010.1209 |
16559D01EDBF9CA AFD707A6C4CFF75 B9 |
MD5 |
Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «А» по МИ 3286-2010.
Знак утверждения типа
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийАнализаторы мощных устройств/характериографы В1505А с модулями В1510А, В1511А, В1512А, В1513А, В1513В, В1514А, В1520А, В1525А, В1530А. Руководство по эксплуатации.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к анализаторам мощных устройств/характериографам В1505А с модулями В1510А, В1511А, В1512А, В1513А, В1513В, В1514А, В1520А, В1525А, В1530А
-
1 ГОСТ 8.027-2001 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы.
-
2 ГОСТ 8.022-91 ГСИ. Государственный первичный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне от 140-16 до 30 А.
-
3 ГОСТ 8.371-80 ГСИ. Государственный первичный эталон и общесоюзная поверочная схема для средств измерений электрической емкости.
-
4 Техническая документация изготовителя.
Поверка
Поверкаосуществляется в соответствии с документом МП-342/447-2012 «Анализаторы мощных уст-ройств/характериографы В1505А с модулями В1510А, В1511А, В1512А, В1513А, В1513В, В1514А, В1520А, В1525А, В1530А. Методика поверки», утвержденным руководителем ГЦИ СИ ФБУ «РОСТЕСТ-МОСКВА» 29 июня 2012 г.
Основные средства поверки:
- мультиметр 3458A (рег. № 25900-03), пределы измерений напряжения постоянного тока 100 мВ, 1 В, 10 В, 100 В; пределы допускаемой основной погрешности измерений напряжения постоянного тока: для предела измерений 100 мВ ± (2,540-6^ Uu + 3,5^10-6^ ипп), где Uu - измеренное значение напряжения постоянного тока,ипп - значение предела измерений напряжения постоянного тока; для предела измерений 1 В ± (1,5^10-6 Uu + 0,340-6^ ипп); для предела измерений 10 В ± (0,540-6^ Uu + 0,05^10-6 ипп); для предела измерений 100 В ± (0,540-6^ Uu + 0,0540-6^ ипп), пределы измерений силы постоянного тока 100 нА, 1 мкА, 10 мкА, 100 мкА; пределы допускаемой основной погрешности измерений силы постоянного тока: для 100 нА ± (1040-6 • 1и + 40040-6 • 1пп), где 1и - измеренное значение силы постоянного тока,1пп - значение предела измерений силы постоянного тока; для 1мкА ± (10^10-6 • 1и + 4О40-6 • 1пп); для 10 мкА ± (1040-6 • 1и + 740-6 • 1пп); для 100 мкА
± (1040-6 • 1и + 640-6 • 1пп);
-
- катушка электрического сопротивления Р310 (рег. № 1162-58), номинальные значения сопротивления 0,001 Ом, 0,01 ОМ, кл.т. 0,01;
-
- делитель высокого напряжения постоянного тока ДНВ из комплекта вольтметра универсального цифрового В7-40 (рег. № 39075-08), напряжение постоянного тока до 30 кВ, коэффициент деления 1:1000 и 1:2000, погрешность установки коэффициента деления ± 0,5 % (1:1000) и ± 0,6 % (1:2000); входное сопротивление 500 МОм;
-
- меры емкости образцовые Р597 (рег. № 2684-70), кл. т. от 0,05 до 0,2;
-
- частотомер электронно-счетный 53132А (рег. № 26211-03), диапазон измерений от 0 до 225 МГц (ВЧ) и от 100 МГц до 12,4 ГГц (СВЧ), пределы допускаемой относительной погрешности ± 540-6, ± 440-9 (опция 012);
-
- осциллограф цифровой 54820А (рег. № 54820А), 2 канала, рабочая частота до 500 МГц, пределы допускаемой относительной погрешности коэффициента отклонения ± 1,25 %.
Изготовитель
Компания «Keysight Technologies International Japan, Ltd.», Япония
1-3-2 Murotani, Nishi-Ku, Kobe-Shi, Hyogo, 651-2241 Japan
9-1 Takakura-cho, Hachioji
Tokyo-To 192-8510
Japan
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений Федеральное бюджетное учреждение «РОСТЕСТ-МОСКВА» (ГЦИ СИ ФБУ «РОСТЕСТ-МОСКВА»).
Юридический (почтовый) адрес: 117418, г. Москва, Нахимовский проспект, д. 31.
Тел. (499) 129-19-11, факс (499) 124-99-96
E-mail: info@rostest.ru
Конструктивно анализатор выполнен в виде настольного моноблока.
Анализатор позволяет проводить измерения при автоматизированном контроле электрических параметров полупроводниковых приборов, анализе их функциональных зависимостей; отображение на дисплее вольт-амперных характеристик (ВАХ), вольт-фарадных характеристик (ВФХ) исследуемого объекта в виде графиков и таблиц, расчет их на основе стандартных параметров исследуемого объекта, формирование и заполнение отчета о полученных результатах.
Модульная конструкция анализатора, включающая 10 гнезд для установки модулей, позволяет создавать такую конфигурацию анализатора, которая соответствует текущим измерительным задачам.
Внешний вид анализаторов приведен на рисунках 1 и 2.
Место нанесения знака утверждения типа приведено на рисунке 1, а схема пломбировки анализаторов от несанкционированного доступа приведена на рисунке 2.
При оформлении внешнего вида генераторов могут использоваться логотипы компаний «Agilent Technologies» или «Keysight Technologies».
Место нанесения знака утверждения типа
Рисунок 1 - Внешний вид анализатора
Места пломбировки
Рисунок 2 - Схема пломбировки анализаторов (задняя панель)
анализаторов приведены в таблицах 2 - 12.
Таблица 2 - Метрологические характеристики анализатора с модулями в режиме измерения напряжения постоянного тока
Модуль |
Пределы измерения |
Разрешение |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений |
В1510А |
± 2 В |
2 мкВ |
± (0,01 • иизм. 1) + 0,14 мВ) |
± 20 В |
20 мкВ |
± (0,01 • иизм. + 0,14 мВ) | |
± 40 В |
40 мкВ |
± (0,01 • иизм. + 1 мВ) | |
± 100 В |
100 мкВ |
± (0,012 • иизм. + 2,5 мВ) | |
± 200 В |
200 мкВ |
± (0,014 • иизм. + 2,8 мВ) | |
В1511А |
± 0,5 В |
0,5 мкВ |
± (0,01 • иизм. + 0,12 мВ) |
± 2 В |
2 мкВ |
± (0,01 • иизм. + 0,14 мВ) | |
± 5 В |
5 мкВ |
± (0,009 • иизм. + 0,25 мВ) | |
± 20 В |
20 мкВ |
± (0,01 • иизм. + 0,9 мВ) | |
± 40 В |
40 мкВ |
± (0,01 • иизм. + 1 мВ) | |
± 100 В |
100 мкВ |
± (0,012 • иизм. + 2,5 мВ) | |
В1512А |
± 0,2 В |
200 нВ |
± (0,06 + 0,14 + Ic • 0,05)2) |
± 2 В |
2 мкВ |
± (0,06 + 0,6 + I) • 0,5) | |
± 20 В |
20 мкВ |
± (0,06 + 3 + I) • 5) | |
± 40 В |
40 мкВ |
± (0,06 + 3 + I0 • 10) | |
В1513А В1513В |
± 200 В |
200 мкВ |
± (0,03 • иизм. + 40 мВ) |
± 500 В |
500 мкВ |
± (0,03 • иизм. + 100 мВ) | |
± 1500 В |
1,5 мВ |
± (0,03 • иизм. + 300 мВ) | |
±3000 В |
3 мВ |
± (0,03 • иизм. + 600 мВ) | |
В1514А |
± 0,2 В |
200 нВ |
± (0,06 + 0,14 + I) • 0,05)2) |
± 2 В |
2 мкВ |
± (0,06 + 0,6 + I, • 0,5) | |
± 20 В |
20 мкВ |
± (0,06 + 3 + I) • 5) | |
± 40 В |
40 мкВ |
± (0,06 + 3 + I0 • 10) |
Примечания
Таблица 3 - Метрологические характеристики анализатора с модулями в режиме источника напряжения постоянного тока
Модуль |
Пределы воспроизведения |
Разрешение |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений |
В1510А |
± 2 В |
100 мкВ |
± (0,01 • иизм. 1) + 0,14 мВ) |
± 20 В |
1 мВ |
± (0,01 • иизм. + 0,14 мВ) | |
± 40 В |
2 мВ |
± (0,01 • иизм. + 1 мВ) | |
± 100 В |
5 мВ |
± (0,012 • иизм. + 2,5 мВ) | |
± 200 В |
10 мВ |
± (0,014 • иизм. + 2,8 мВ) | |
В1511А |
± 0,5 В |
25 мкВ |
± (0,018 • иизм. + 0,15 мВ) |
± 2 В |
100 мкВ |
± (0,018 • иизм. + 0,4 мВ) | |
± 5 В |
250 мкВ |
± (0,018 • иизм. + 0,75 мВ) | |
± 20 В |
1 мВ |
± (0,018 • иизм. + 3 мВ) | |
± 40 В |
2 мВ |
± (0,018 • иизм. + 6 мВ) | |
± 100 В |
5 мВ |
± (0,018 • иизм. + 15 мВ) |
Модуль |
Пределы воспроизведения |
Разрешение |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений |
В1512А |
± 0,2 В |
200 нВ |
± (0,06 + 0,14 + I0 • 0,05)2) |
± 2 В |
2 мкВ |
± (0,06 + 0,6 + I0 • 0,5) | |
± 20 В |
20 мкВ |
± (0,06 + 3 + Io • 5) | |
± 40 В |
40 мкВ |
± (0,06 + 3 + I0 • 10) | |
В1513А В1513В |
± 200 В |
200 мкВ |
± (0,03 • иизм. + 40 мВ) |
± 500 В |
500 мкВ |
± (0,03 • иизм. + 100 мВ) | |
± 1500 В |
1,5 мВ |
± (0,03 • иизм. + 300 мВ) | |
±3000 В |
3 мВ |
± (0,03 • иизм. + 600 мВ) | |
В1514А |
± 0,2 В |
200 нВ |
± (0,06 • иизм. + 0,14 мВ) |
± 2 В |
2 мкВ |
± (0,06 • иизм. + 0,6 мВ) | |
± 20 В |
20 мкВ |
± (0,06 • иизм. + 3 мВ) | |
± 30 В |
40 мкВ |
± (0,06 • иизм. + 3 мВ) |
Примечания
Таблица 4 - Метрологические характеристики анализатора с модулями в режиме измерения силы постоянного тока
Модуль |
Пределы измерения |
Разрешение |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений |
В1510А |
± 1 нА |
10 фА |
± (0,1 • Хизм. + 3 • 10-13 + U0 • ю-15)1* |
± 10 нА |
10 фА |
± (0,1 • Тизм. + 25 • 10-13 + U0 • 10-14) | |
± 100 нА |
100 фА |
± (0,05 • IUl + 25 • 10-12 + U0 • 10-13) | |
± 1 мкА |
1 пА |
± (0,05 • + 10-10 + U0 • 10-12) | |
± 10 мкА |
10 пА |
± (0,04 • Iизм. + 2 • 10-9 + U0 • 10-11) | |
± 100 мкА |
100 пА |
± (0,03 • Iизм. + 3 • 10-9 + U0 • 10-10) | |
± 1 мА |
1 нА |
± (0,03 • Iизм. + 6 • 10-8 + U0 • 10-9) | |
± 10 мА |
10 нА |
± (0,03 • Iизм. + 2 • 10-7 + U0 • 10-8) | |
± 100 мА |
100 нА |
± (0,04 • Iизм. + 6 • 10-6 + U0 • 10-7) | |
± 1 А |
1 мкА |
± (0,04 • Iизм. + 15 • 10-5 + U0 • 10-6) | |
В1511А |
± 1 нА |
10 фА |
± (0,1 • Iизм. + 2 • 10-13 + U0 • 10-15)1) |
± 10 нА |
10 фА |
± (0,1 • Iизм. + 10-12 + U0 • 10-14) | |
± 100 нА |
100 фА |
± (0,05 • Iизм. + 2 • 10-11 + U0 • 10-13) | |
± 1 мкА |
1 пА |
± (0,05 • Iизм. + 10-10 + U0 • 10-12) | |
± 10 мкА |
10 пА |
± (0,04 • Iизм. + 2 • 10-9 + U0 • 10-11) | |
± 100 мкА |
100 пА |
± (0,03 • Iизм. + 3 • 10-9 + U0 • 10-10) | |
± 1мА |
1 нА |
± (0,03 • Iизм. + 3 • 10-8 + U0 • 10-9) | |
± 10 мА |
10 нА |
± (0,03 • Iизм. + 3 • 10-7 + U0 • 10-8) | |
± 100 мА |
100 нА |
± (0,04 • Iизм. + 3 • 10-6 + U0 • 10-7) | |
В1512А |
± 10 мкА |
10 пА |
± (0,06 • Iизм. + 2 • 10-9 + U0 • 10-10) |
± 100 мкА |
100 пА |
± (0,06 • Iизм. + 2 • 10-8 + U0 • 10-9) | |
± 1мА |
1 нА |
± (0,06 • Iизм. + 2 • 10-7 + U0 • 10-8) | |
± 10 мА |
10 нА |
± (0,06 • Iизм. + 2 • 10-6 + U0 • 10-7) | |
± 100 мА |
100 нА |
± (0,06 • Iизм. + 2 • 10-5 + U0 • 10-6) |
Модуль |
Пределы измерения |
Разрешение |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений |
± 1 А |
1 мкА |
± (0,4 • 1изм. + 2 • 10-4 + U0 • 10-5) | |
± 20 А2 |
20 мкА |
± (0,4 • 1изм. + 2 • 10-4 + U0 • 10-4) | |
В1)14А В1)14В |
± 1 нА |
10 фА |
± (0,1 • 1изм. + 6 • 10-14 + U0 • 10-1)) |
± 10 нА |
100 фА |
± (0,1 • 1изм. + 2) • 10-14 + U0 • 10-1)) | |
± 100 нА |
100 фА |
± (0,0) • 1изм. + 2) • 10-12 + U0 • 10-14) | |
± 1 мкА |
1 пА |
± (0,0) • 1изм. + 10-10 + U0 • 10-14) | |
± 10 мкА |
10 пА |
± (0,04 • 1изм. + 2 • 10-9 + U0 • 10-11) | |
± 100 мкА |
100 пА |
± (0,04 • 1изм. + 4 • 10-9 + U0 • 10-11) | |
± 1 мА |
1 нА |
± (0,04 • 1изм. + 6 • 10-8 + U0 • 10-10) | |
± 10 мА |
10 нА |
± (0,04 • 1изм. + 2 • 10-7 + U0 • 10-9) | |
В1)14А |
± 10 мкА |
10 пА |
± (0,06 • 1изм. + 2 • 10-9 + U0 • 10-10) |
± 100 мкА |
100 пА |
± (0,06 • 1изм. + 2 • 10-8 + U0 • 10-9) | |
± 1 мА |
1 нА |
± (0,06 • 1изм. + 2 • 10-7 + U0 • 10-8) | |
± 10 мА |
10 нА |
± (0,06 • 1изм. + 2 • 10-6 + U0 • 10-7) | |
± 100 мА |
100 нА |
± (0,06 • 1изм. + 2 • 10-) + U0 • 10-6) | |
± 1 а2) |
1 мкА |
± (0,4 • 1изм. + 2 • 10-4 + U0 • 10-)) | |
Примечания
|
Таблица 5 - Метрологические характеристики анализатора с модулями в режиме воспроизве-дениия силы постоянного тока
Модель |
Предел измерения |
Разрешение |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений |
В1)10А |
± 1 нА |
)0 фА |
± (0,1 • 1изм. + 4 • 10-14 + U0 • 10"1))1) |
± 10 нА |
)00 фА |
± (0,1 • 1изм. + 4 • 10112 + U0 • 10114) | |
± 100 нА |
) пА |
± (0,0) • 1изм. + 4 • 10-11 + U0 • 10114) | |
± 1 мкА |
)0 пА |
± (0,0) • 1изм. + 10-10 + U0 • 10112) | |
± 10 мкА |
)00 пА |
± (0,0) • 1изм. + 4 • 1019 + U0 • 10111) | |
± 100 мкА |
) нА |
± (0,04) • 1изм. + 1) • 1019 + U0 • 10110) | |
± 1 мА |
)0 нА |
± (0,04 • 1изм. + 1) • 1018 + U0 • 1019) | |
± 10 мА |
)00 нА |
± (0,04 • 1изм. + 1) • 1017 + U0 • 1018) | |
± 100 мА |
) мкА |
± (0,04) • 1изм. + 1) • 1016 + U0 • 1017) | |
± 1 А |
)0 мкА |
± (0,4 • 1изм. + 4 • 1014 + U0 • 1016) | |
В1)11А |
± 1 нА |
)0 фА |
± (0,1 • 1изм. + 4 • 10114 + U0 • 1011))1) |
± 10 нА |
)00 фА |
± (0,1 • 1изм. + 4 • 10112 + U0 • 10114) | |
± 100 нА |
) пА |
± (0,0) • 1изм. + 4 • 10111 + U0 • 10114) | |
± 1 мкА |
)0 пА |
± (0,0) • 1изм. + 10110 + U0 • 10112) | |
± 10 мкА |
)00 пА |
± (0,0) • 1изм. + 4 • 1019 + U0 • 10111) | |
± 100 мкА |
) нА |
± (0,04) • 1изм. + 1) • 1019 + U0 • 10110) | |
± 1мА |
)0 нА |
± (0,04 • 1изм. + 1) • 1018 + U0 • 1019) | |
± 10 мА |
)00 нА |
± (0,04 • 1изм. + 1) • 1017 + U0 • 1018) | |
± 100 мА |
) мкА |
± (0,04) • 1изм. + 1) • 1016 + U0 • 1017) |
Модель |
Предел измерения |
Разрешение |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений |
В1512А |
± 10 мкА |
10 пА |
± (0,06 • 1изм. + 2 • 10-9 + U0 • 10-10) |
± 100 мкА |
100 пА |
± (0,06 • 1изм. + 2 • 10-8 + U0 • 10-9) | |
± 1мА |
1 нА |
± (0,06 • 1изм. + 2 • 10-7 + U0 • 10-8) | |
± 10 мА |
10 нА |
± (0,07 • 1изм. + 2 • 10-7 + U0 • 10-7) | |
± 100 мА |
100 нА |
± (0,07 • 1изм. + 2 • 10-) + U0 • 10-7) | |
± 1 А |
1 мкА |
± (0,4 • 1изм. + 2 • 10-4 + U0 • 10-)) | |
± 20 А2 |
20 мкА |
± (0,4 • 1изм. + 2 • 10-4 + U0 • 10-4) | |
В1513А В1513В |
± 1 нА |
10 фА |
± (0,1 • 1изм. + 7 • 10-14 + U0 • 10-1)) |
± 10 нА |
100 фА |
± (0,1 • 1изм. + 2) • 10-14 + U0 • 10-1)) | |
± 100 нА |
100 фА |
± (0,0) • 1изм. + 2) • 10-12 + U0 • 10-14) | |
± 1 мкА |
1 пА |
± (0,0) • 1изм. + 10-10 + U0 • 10-14) | |
± 10 мкА |
10 пА |
± (0,04 • 1изм. + 2 • 10-9 + U0 • 10-11) | |
± 100 мкА |
100 пА |
± (0,04 • 1изм. + 4 • 10-9 + U0 • 10-11) | |
± 1 мА |
1 нА |
± (0,04 • 1изм. + 7 • 10-8 + U0 • 10-10) | |
± 10 мА |
10 нА |
± (0,04 • 1изм. + 2 • 10-7 + U0 • 10-9) |
Примечания
Таблица 6 - Метрологические характеристики анализатора с модулем В1520А (многочастотный измеритель емкости)
Частота | ||
Диапазон |
Разрешение |
Погрешность |
от 1 кГц до ) мГ ц |
1 мГц |
± 0,008 % |
ВыхоДной сигнал воспроизвеДения | ||
Диапазон, мВСКЗ |
Разрешение, мВСКЗ |
Погрешность |
от 10 до 2)0 |
1 |
± (0,1 • F1). + 1 мВСКЗ) - без кабелей ± (0,1) • F1). + 1 мВСКЗ) - с кабелем 1,) м или 4,0 м |
Функция смещения по постоянному току-воспроизвеДение | ||
Диапазон, В |
Разрешение, мВ |
Погрешность |
± 2) |
1 |
± (0,00) • иизм. + ),0 мВ) |
Функция смещения по постоянному току-воспроизвеДение | ||
Диапазон, В |
Разрешение, мВ |
Погрешность |
± 2) |
1 |
± (0,2 • иизм. + ),0 мВ) |
Примечание - 1) - F амплитуда выходного сигнала |
1) - ± (% от измеренной величины + фиксированное смещение в [А] + пропорциональное смещение в [А]), U0 - напряжение в [В]
2) - только в импульсном режиме
Расчет заявленной погрешности измеряемых величин емкости проводится при следующих условиях:
-
- температура (23 ± 5) °С
-
- Dх - измеряемая величина (тангенс угла потерь), определяемая из таблицы 7.
Таблица 7
Измеряемая величина |
Dх £ 0,1 |
Dх > 0,1 |
|Z| - модуль полного сопротивления |
± d (%) | |
q - фазовый угол |
± d/ 100 [рад] | |
С - емкость |
± d (%) |
± d • 71 + DX (%) |
D - тангенс угла потерь |
± 5/100 |
± d • (1 + Dx )/100 |
G - активная проводимость |
± d/ Dх (%) |
± d • 71 + D2/ Dx / (%) |
Основная относительная погрешность измерений параметров определяется по формуле: , d = EP + (Zs'/ |Zx| + Yo' • |Zx|) • 100 [%], (1)
где EP' = Epl + Eposc + Ep [%];
Zs = Zsl + Zosc + Zs [Ом];
Yo' = Yol + Yosc + Yo [Cm];
|Zx| - модуль полного сопротивления измеряемой величины [Ом];
Epl , Yol, Zsl - коэффициент по таблице 9;
EposC, ZosC - коэффициент по таблице 8;
EP, Zs,YOsC, Yo - коэффициент по таблице 1o.
Таблица 8 - Коэффициенты для расчета погрешности измерений емкости
Уровень U~1) |
Eposc[%] |
Zosc[мОм] |
125 мВ < U~ £ 250 мВ |
0,03 • (250 / U~ - 1) |
5 • (250 / U~ - 1) |
64 мВ < U~ £ 125 мВ |
0,03 • (125 / U~ - 1) |
5 • (125 / U~ - 1) |
32 мВ < U~ £ 64 мВ |
0,03 • (64 / U~ - 1) |
5 • (64 / U~ - 1) |
U~ £ 32 мВ |
0,03 • (32 / U~ - 1) |
5 • (32 / U~ - 1) |
Примечание - U~1) - напряжение переменного тока на выходе блока В1520А в [мВ] |
Таблица 9 - Коэффициенты для расчета погрешности измерений емкости
Длина кабеля 1) |
Epl [%] |
Yol [нс] |
Zsl^m] |
1,5 м |
0,02 + 3 • f 2)/ 100 |
750 • f / 100 |
5,0 |
3 м |
0,02 + 5 • f/ 100 |
1500 • f / 100 |
5,0 |
Примечания
|
Таблица 10 - Коэффициенты для расчета погрешности измерений емкости
Частота |
Yosc[^] |
Y0[m] |
Ep[%] |
ZS[мОм] |
1 кГц £ f 1) £ 200 кГц |
1 • (125 / U~2) - 0,5) |
1,5 |
0,095 |
5,0 |
200 кГц £ f £ 1 МГц |
2 • (125 / U~ - 0,5) |
3,0 |
0,095 |
5,0 |
1 МГц < f £ 2 МГц |
2 • (125 / U~ - 0,5) |
3,0 |
0,28 |
5,0 |
2 МГц< f |
20 • (125 / U~ - 0,5) |
30,0 |
0,28 |
5,0 |
Примечания
|
Таблица 11 - Метрологические характеристики анализатора с модулем В1525А (HV - SPGU) (высоковольтный генератор импульсов)
АмплитуДные характеристики напряжения постоянного тока и импульса | ||||
Уровень выходного напряжения |
50 Ом ХХ |
от минус 20 В до плюс 20 В от минус 40 В до плюс 40 В | ||
Погрешность установки выходного напряжения 1) |
ХХ |
± (0,005 • ивых. + 50 мВ) | ||
Разрешающая способность по амплитуде |
50 Ом ХХ |
0,2 мВ ( в диапазоне ± 10 В) 0,8 мВ ( в диапазоне ± 40 В) 0,4 мВ ( в диапазоне ± 10 В) 1,6 мВ ( в диапазоне ± 40 В) | ||
Сила тока короткого замыкания |
800 мА импульсное (400 мА среднее 2) ) | |||
Амплитуда выброса 3) |
50 Ом |
± (0,05 • ивыброса + 20 мВ) | ||
Примечания
| ||||
Временные характеристики1 | ||||
Частотный диапазон |
от 0, |
Гц до 33 МГц | ||
Период импульса |
Устанавливаемый диапазон Разрешающая способность Минимальное значение Погрешность установки |
от 30 нс до 10 с 10 нс 100 нс2) ± 1 % | ||
Ширина импульса |
Устанавливаемый диапазон Разрешающая способность Минимальное значение Погрешность установки |
от 10 нс до (период -10 нс) 2,5 нс (Тфронта и Тсреза £ 8 мкс) 10 нс (Тфронта или Тсреза > 8 мкс) 50 нс ± (0,03 • Т4) + 2 нс) | ||
Время нарастания3) (Тфронта и Тсреза) |
Устанавливаемый диапазон Разрешающая способность Минимальное значение Погрешность установки |
от 8 нс до 400 мс 2 нс (Тфронта и Тсреза £ 8 мкс) 8 нс (Тфронта или Тсреза > 8 мкс) 20 нс (иампл £ 10 В) 30 нс (иампл £ 20 В) 60 нс (иампл > 20 В) ± (0,05 • Т 5) + 10 нс) (иампл £ 10 В) ± (0,05 • Т 5) + 10 нс) (иампл £ 20 В) | ||
Примечание
- ширина импульса; 5) - Тфронта или Тсреза |
Таблица 12 - Метрологические характеристики анализатора с модулем В1530А (WGFMU) (генератор произвольной формы)
Характеристики источника напряжения постоянного тока | |
Уровень выходного напряжения (в режиме переменного тока и напряжения) |
от минус 5 до плюс 5 В от минус 10 до 0 В от 0 до 10 В |
Уровень выходного напряжения (в режиме генератора импульсов) |
от минус 5 до плюс 5 В (ХХ) от минус 2,5 до плюс 2,5 В (50 Ом) |
Погрешность установки выходного напряжения 1) |
± 0,1 % от установленного значения ± 0,1 % от диапазона1) |
Разрешающая способность2-* |
96 мкВ (от минус 3 до плюс 3 В) 160 мкВ ( в других диапазонах исключая от минус 3 до плюс 3 В) |
Амплитуда выброса |
± (0,05 А + 20 мВ)3) |
Тфронта (от 10 до 90 %) Тсреза (от 90 до 10 %) |
погрешность: ± (0,05T + 10 нс) при заданных установках4); минимальное значение: 24 нс (импульсный режим, нагрузка 50 Ом) |
Период импульса |
Погрешность : ± 1% при заданных установках5) Минимальное значение: 100 нсек (импульсный режим, нагрузка 50 Ом) |
Характеристики измерителя напряжения постоянного тока | |
Погрешность измерений |
± 0,1 % от установленного значения ± 0,1 % от диапазона 6) |
Разрешающая способность |
680 мкВ (в диапазоне от минус 5 до плюс 5 В) 1,4 мкВ (в диапазоне от минус 10 до плюс 10 В) |
Характеристики измерителя напряжения постоянного тока | |
Погрешность измерений |
± 0,1 % от установленного значения ± 0,2 % от диапазона 6) |
Разрешающая способность |
0,014 % от диапазона |
Примечания
ХХ - разрешение дисплея. Может изменяться более, чем на 5 % в зависимости от результатов калибровки |
Таблица 13 - Условия эксплуатации, габаритные размеры и масса
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
Нормальные условия эксплуатации:
|
(20 ± 5) от 84 до 106 от 20 до 70 |
Рабочие условия эксплуатации:
|
от 5 до 40; 70 |
Габаритные размеры анализатора без модулей (ширина х высота х длина), мм, не более |
420 х 330 х 575 |
Масса анализатора без модулей, кг, не более |
20 |
Напряжение сети электропитания переменного тока, В |
от 90 до 264 |
Частота сети электропитания переменного тока, Гц |
от 47 до 63 |
Потребляемая мощность, В • А, не более |
900 |