Номер по Госреестру СИ: 48096-11
48096-11 Мера высоты
(Tencor Instruments SHS-9400A)
Назначение средства измерений:
Мера высоты Tencor Instruments SHS-9400A (далее - мера) предназначена для передачи размера единицы длины в диапазоне 10-9 10-4 м и поверки (калибровки) профилометра AlphaStep 200.
![Внешний вид. Мера высоты, http://oei-analitika.ru рисунок № 1](../kurilka/type_si_html/2011-48096-11_files/2011-48096-11-1.jpg)
Внешний вид.
Мера высоты
Рисунок № 1
![Внешний вид. Мера высоты, http://oei-analitika.ru рисунок № 2](../kurilka/type_si_html/2011-48096-11_files/2011-48096-11-2.jpg)
Внешний вид.
Мера высоты
Рисунок № 2
![Внешний вид. Мера высоты, http://oei-analitika.ru рисунок № 3](../kurilka/type_si_html/2011-48096-11_files/2011-48096-11-3.jpg)
Внешний вид.
Мера высоты
Рисунок № 3
![Внешний вид. Мера высоты, http://oei-analitika.ru рисунок № 4](../kurilka/type_si_html/2011-48096-11_files/2011-48096-11-4.jpg)
Внешний вид.
Мера высоты
Рисунок № 4
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульном листе паспорта меры и на футляре меры - методом наклейки.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
Сведений нет.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к мерам высоты
Tencor Instruments SHS-9400A
ГОСТ 8.296-2011 «ГСИ. Государственный первичный специальный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra в диапазоне 0,025.. .3000 мкм»
Паспорт на меру высоты Tencor Instruments SHS-9400A
Поверка
Поверкаосуществляется в соответствии с документом по поверке МП 48096-11 «Мера высоты Tencor Instruments SHS-9400A. Методика поверки», утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в сентябре 2011.
Основные средства поверки:
Профилометр оптический «Talysurf CCI 6000», ГР № 44893-10, диапазон измерений параметров шероховатости Rmax, Rz от 0,0001 до 400 мкм, пределы допускаемой случайной погрешности 0,3% ±1 нм.
Изготовитель
KLA-Tencor Corporation.
One Technology Drive; Milpitas, California 95035; U.S.A.
Phone: +1-408-875-3000; Corporate Fax: +1-408-875-4144
Информация и техническая поддержка: info@kla-tencor.com
Мера представляет собой металлическую структуру известной высоты, нанесенную на поверхность круглого стеклянного цилиндра с отполированной поверхностью. Внешний вид меры представлен на Рисунке 1. Рабочей областью меры является элемент, расположенный в её центре (см. Рисунок 1, в). Внешний вид футляра меры представлен на Рисунке 2.
![Внешний вид. Мера высоты (Tencor Instruments SHS-9400A), http://oei-analitika.ru](../kurilka/type_si_html/2011-48096-11_files/2011-48096-11-1.jpg)
а)
Рисунок 1 - а) Внешний вид меры Tencor Instruments SHS-9400A; б) Рабочая область меры.
![Внешний вид. Мера высоты (Tencor Instruments SHS-9400A), http://oei-analitika.ru](../kurilka/type_si_html/2011-48096-11_files/2011-48096-11-2.jpg)
![Внешний вид. Мера высоты (Tencor Instruments SHS-9400A), http://oei-analitika.ru](../kurilka/type_si_html/2011-48096-11_files/2011-48096-11-3.jpg)
Рисунок 2 -Мера в футляре и место нанесения знака утверждения типа.
![Внешний вид. Мера высоты (Tencor Instruments SHS-9400A), http://oei-analitika.ru](../kurilka/type_si_html/2011-48096-11_files/2011-48096-11-4.jpg)
Лист № 2 всего листов 3
-
• Мера высоты Tencor Instruments SHS-9400A 1 шт.
-
• Специальный футляр 1 шт.
-
• Паспорт на меру высоты Tencor Instruments SHS-9400A 1 шт.
Наименование |
Значение |
Номинальное значение высоты, А |
9446 |
Предел допускаемой относительной погрешности высоты структуры в рабочей области, % |
3 |
Условия эксплуатации: • температура окружающего воздуха, °С |
20 ± 3 |
• относительная влажность, % |
65 ± 15 |
Габаритные размеры меры, мм | |
длина |
38 |
ширина |
38 |
высота |
8 |
Размеры рабочей области меры, мм |
1x1 |