Сведения о средстве измерений: 45265-10 Измеритель параметров рельефа поверхности

Номер по Госреестру СИ: 45265-10
45265-10 Измеритель параметров рельефа поверхности
(HRP-240)

Назначение средства измерений:
Измеритель параметров рельефа поверхности HRP-240 (далее -измеритель), предназначен для контроля морфологических параметров поверхности полупроводниковых структур. Область применения - в производственной лаборатории ФГУП «ФНПЦ НИИИС им. Ю.Е. Седакова».

сертификация программного обеспечения

Общие сведения

Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 133839
ID в реестре СИ - 356239
Тип производства - единичное
Описание типа

Поверка

Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да

Модификации СИ

Производитель

Изготовитель - Фирма "KLA-Tencor Corporation"
Страна - СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да

Отчет - V_25 Количество поверок СИ в ФГИС АРШИН по группам СИ
<p>Каталог СИ, используемый в сервисе ОЕИ-Аналитика имеет трехуровневую структуру вида: области измерений (более 20), разделы областей измерений (более 250) и группы СИ (более 10 тыс.). </p> <p>При разработке каталога были использованы как существующие кодификаторы: МИ 2803-2014, МИ 2314-2006, МИ 2314-2022, так и собственные наработки. Перед применением каталог был адаптирован и обогащен данными из реального реестра, утвержденных типов СИ ФГИС АРШИН. </p> <p>Представленный отчет состоит из круговой и столбчатой диаграмм, а также сводной таблицы. Графики являются интерактивными, а таблица обладает функциями поиска и сортировки по любой из колонок. В отчете использованы не все группы СИ, а только самые крупные группы СИ (5 тыс.), название которых состоят не более чем из двух слов. </p> <p>На круговой диаграмме показано распределение поверок СИ по группам. Диаграмма строится по всем поверкам, имеющимся в АРШИН. Стоит отметить, что сумма всех поверок по группам СИ, существенно превышает объём поверок, загруженных в АРШИН. Это связано с тем, что многие типы СИ входят одновременно в несколько групп.</p> <p>Столбчатая диаграмма демонстрирует то же распределение поверок по группам СИ, что и круговая, но в динамике по годам. Причем, для удобства читаемости графика есть возможность посредством фильтра выбрать только нужные года.</p> <p>В завершении отчета приведена сводная таблица с данными для возможности самостоятельной обработки информации. </p>

Стоимость 200 руб. или по подписке

Статистика

Кол-во поверок -
Выдано извещений -
Кол-во периодических поверок -
Кол-во средств измерений -
Кол-во владельцев -
Усредненный год выпуска СИ -
МПИ по поверкам - дн.

Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ

№617 от 2013.06.24 О внесении изменений в описание типа на резервную систему учета нефти системы измерений количества и показателей качества нефти № 495 ПСП "Нижнекамск" Альметьевского РНУ ОАО "СЗМН"

Наличие аналогов СИ: Измеритель параметров рельефа поверхности (HRP-240)

ИМПОРТНОЕ СИ
№ в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель		 ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ
№ в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель

Все средства измерений Фирма "KLA-Tencor Corporation"

№ в реестре
cрок св-ва 		Наименование СИ, обозначение, изголовитель ОТ, МП МПИ
45265-10

 Измеритель параметров рельефа поверхности, HRP-240
Фирма "KLA-Tencor Corporation" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) 		ОТ
1 год
48096-11

 Мера высоты, Tencor Instruments SHS-9400A
Фирма "KLA-Tencor Corporation" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) 		ОТ
1 год
48173-11

 Профилометр, Alpha-Step 200
Фирма "KLA-Tencor Corporation" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) 		ОТ
2 года

Кто поверяет Измеритель параметров рельефа поверхности (HRP-240)

Наименование организации Cтатус Поверенные модификации Кол-во поверок Поверок в 2024 году Первичных поверок Периодических поверок Извещений Для юриков Для юриков первичные Для юриков периодические

Стоимость поверки Измеритель параметров рельефа поверхности (HRP-240)

Организация, регион Стоимость, руб Средняя стоимость

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносят на корпус методом наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.


Сведения о методиках измерений


Нормативные и технические документы

- техническая документация фирмы «KLA-Тепсог», США.

Поверка

Поверка проводится по методике поверки «Измеритель параметров рельефа поверхности HRP-240», разработанной и утвержденной ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ» в 2010 г.

Средства поверки:

Входящие в состав эталона ВЭТ 113-2-09:

  • - мера высоты ступеньки SHS-18QS;

  • - мера высоты ступеньки SHS-180QS.

Межповерочный интервал - 1 год.

Лист 3 Всего листов 3


Изготовитель

фирма «KLA-Тепсог Corporation», США 160 Rio Robles San Jose, CA 95134-1809 Tel 408-475-3000; fax 408-875-3030 www/kla-tencor.com

Принцип действия измерителя основан на методе контактной профилометрии поверхности полупроводниковых структур. Процесс измерений осуществляется при помощи пьезокерамического манипулятора двумерным или трехмерным сканированием в контактном режиме. Система обратной связи фиксирует в процессе сканирования на заданном уровне величину рабочего взаимодействия вариацией вертикальной координаты иглы, то есть сканирование осуществляется по способу постоянного взаимодействия иглы с поверхностью исследуемой структуры. Результатом работы является массив, коррелирующий с топографией исследуемой поверхности. В случае двумерного сканирования игла перемещается в направлении сканирования в заданных пределах, движение в перпендикулярном направлении определяется взаимодействием с исследуемой поверхностью. Данные трехмерного сканирования получаются после обработки данных двумерного сканирования, полученных с определенным шагом.

Измеритель представляет собой автоматизированный прибор, обеспечивающий измерение, обработку и регистрацию выходной информации. Основными элементами являются: устройство для установки и смены исследуемых образцов, сканирующий канал, фиксированный канал системы регистрации и обработки данных.

Конструктивно измеритель выполнен в стационарном напольном исполнении с отдельно устанавливаемым компьютером, предназначенным для приема, обработки и выдачи информации под управлением специализированного программного обеспечения.

Корпус измерителя служит для размещения агрегатов, стабилизации аналитических условий и для защиты пользователя от излучения.


В комплект поставки входят:

  • - измеритель;

  • - персональный компьютер с программным обеспечением «KLA-Тепсог»;

  • - руководство по эксплуатации.


Длина сканирования мм, не более................................... 200

Поперечное разрешение...............................................Х=25 нм, Y=1 мкм

Вертикальный диапазон, мкм.......................................... ±3,25; ± 13; ± 131

Относительная погрешность измерения линейных размеров профиля структуры %, не более Воспроизводимость................

.................. 5

................15 А или 0,25 % (1сг)

.................. 2,0-25

5, 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000 ................... 220 +33

Скорость сканирования, мкм/с ..

Частота сканирования, Гц........

Напряжение питания, В............

Габаритные размеры* мм, не более...................................1910x1145x1350

Масса* кг, не более

Условия эксплуатации:

температура, °C

относительная влажность, %, не более

* - без персонального компьютера.


Настройки внешнего вида
Цветовая схема
Ширина
Левая панель