Номер по Госреестру СИ: 46672-11
46672-11 Меры рельефные
(Кварц-XY1400/Z90нм)
Назначение средства измерений:
Меры рельефные Кварц-ХУ1400/790нм предназначены для передачи размера единицы длины в диапазоне от 10-9 до 10-4 м и поверки (калибровки) оптических, оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов, а также других микроскопов и средств измерений малой длины.
Внешний вид.
Меры рельефные
Рисунок № 1
Внешний вид.
Меры рельефные
Рисунок № 2
Внешний вид.
Меры рельефные
Рисунок № 3
Внешний вид.
Меры рельефные
Рисунок № 4
Внешний вид.
Меры рельефные
Рисунок № 5
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства - 21.04.2016
Номер записи - 135372
ID в реестре СИ - 357772
Тип производства - серийное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Модификации СИ
Кварц-XY1400/Z90нм,
Производитель
Изготовитель - ОАО "Завод Протон-МИЭТ"
Страна - РОССИЯ
Населенный пункт - г.Москва
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Отчет позволяет оценить частоту использования эталонов в РФ.
Период исследований: 01.01.2020 - н.в.
Анализ проводится по ГЭТ, аттестованным эталонам или СИ, применяемым в качестве эталонов.
Отчет будет особенно полезен при осуществлении надзорной деятельности.
Входными фильтрами являются: минимальное количество поверок в год, год исследования (с функцией множественного выбора) и вид эталона(с функцией множественного выбора).
В отчете присутствуют перекрестные ссылки на иные отчеты.
Статистика
Кол-во поверок - 3
Выдано извещений - 3
Кол-во периодических поверок - 1
Кол-во средств измерений - 1
Кол-во владельцев - 2
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 0 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№1872 от 2011.04.20 Об утверждении типов средств измерений (Регистрационный номер в Гос.реестре СИ 46671-11 по 46706-11, 39262-11)
Наличие аналогов СИ: Меры рельефные (Кварц-XY1400/Z90нм)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений ОАО "Завод Протон-МИЭТ"
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
33319-06 01.01.2012 |
Профилометры, 130 ОАО "Завод Протон-МИЭТ" (РОССИЯ г.Москва) |
2 года | |
|
33319-13 04.10.2018 |
Профилометры, 130 ОАО "Завод Протон-МИЭТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
2 года |
|
41557-09 01.10.2014 |
Преобразователи импульсные, ИП-01 ОАО "Завод Протон-МИЭТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
6 лет |
|
46672-11 21.04.2016 |
Меры рельефные, Кварц-XY1400/Z90нм ОАО "Завод Протон-МИЭТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
46835-11 19.05.2016 |
Меры профильные, ПРО-10 ОАО "Завод Протон-МИЭТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
2 года |
|
46918-11 06.06.2016 |
Микроскопы сканирующие зондовые, СММ-2000 ОАО "Завод Протон-МИЭТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
2 года |
|
58193-14 20.08.2019 |
Контурографы, 220 ОАО "Завод Протон-МИЭТ" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
2 года |
Отчет помогает подобрать поверки с истекающими сроками в заданном интервале по региону, области измерений и наименованиям владельцев.
Кто поверяет Меры рельефные (Кварц-XY1400/Z90нм)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ФГУП "ВНИИМС" (01.00225-2011) | РСТ | 3 | 0 | 1 | 3 | 0 | 0 | 0 |
Стоимость поверки Меры рельефные (Кварц-XY1400/Z90нм)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Знак утверждения типа
Знак утверждения типаЗнак утверждения типа наносится на титульном листе паспорта методом печати.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений«Меры рельефные Кварц-XY1400/Z90нм. Паспорт», раздел 6.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к мерам рельефным Кварц-XY'l 400/Z90iimМеры рельефные Кварц-XY1400/Z90нм. Технические условия ТУ 4254-001-58699387-2С1С
Поверка
Поверкаосуществляется по документу «Меры рельефные Кварц-ХТ1400^90нм. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в 2С11 году.
Основными средствами поверки являются:
меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2 и TGZ3 (ГР 41678-С9) с пределами допускаемых значений абсолютной погрешности высоты выступов в шаговых структурах не более ±2, ±1С, ±2С нм соответственно;
мера периода линейная TDG01 (ГР 41676-09) с пределами допускаемого значения абсолютной погрешности периода шаговой структуры не более ±1 нм;
микроскоп сканирующий зондовый NTegra PRIMA (ГР 28664-1С) с пределом допускаемой абсолютной погрешности сличения геометрических размеров (при номинальных размерах более 10 нм) ±(1+0,001L) нм.
Изготовитель
Открытое акционерное общество (ОАО) «Завод ПРОТОН-МИЭТ»,124498, Москва, Зеленоград, проезд 4806, д. 5, стр. 20.
Мера представляет собой совокупность элементов рельефа - выступов - на поверхности подложки в виде кварцевой пластины, с нормированным шагом (периодом) выступов в латеральной плоскости по осям X и Y, а также с нормированной высотой выступов (рисунок 1).
Рисунок 1 - Фото меры рельефной Кварц-XY1400/790нм в футляре (1а), отдельно (1б) и на столике микроскопа сканирующего зондового СММ-2000 (1в)
1б
Подложка (кварцевая пластина) имеет форму прямоугольного параллелепипеда с размерами 5 мм х 5 мм х 2.2 мм. Периодические выступы выполнены из хрома. Кадр рабочей поверхности меры приведен на рис. 2.
Рисунок 2 - Мера рельефная Кварц-ХГ1400^90нм, кадр 7 х 7 мкм
При поверке (калибровке) средств измерений с использованием данной меры получают изображение поверхности меры с помощью калибруемого средства измерений. Затем на полученном изображении в поверяемом (калибруемом) средстве измерений величинам шага и высоты выступов придается значение, приведенное в паспорте на использованную меру.
|
Наименование |
Значение |
|
Номинальное значение шага периодической структуры меры вдоль двух ортогональных направлений в плоскости XOY, мкм |
1,400 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности шага периодической структуры, % |
± 2 |
|
Номинальное значение высоты выступов периодической структуры, мкм |
0,090 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности высоты выступов периодической структуры, % |
± 5 |
|
Габаритный размер меры (длина х ширина х толщина), мм, не более |
5,5 х 5,5 х 2,5 |
|
Размер рабочей области меры (длина х ширина), мм, не менее |
4,5 х 4,5 |
|
Масса меры, г, не более |
0,2 |
Рабочие условия: температура окружающего воздуха 20±2 °С.