Номер по Госреестру СИ: 43933-10
43933-10 Газоанализатор кислорода
(Delta-F550E Nano Trace мод. 550E-0010V)
Назначение средства измерений:
Газоанализатор кислорода Delta-F550E NanoTrace модель 550E-0010V предназначены для автоматического непрерывного измерения объемной доли кислорода в технологических газах.
Газоанализатор могут применяться на предприятиях микроэлектронной и полупроводниковой промышленности.
Внешний вид.
Газоанализатор кислорода
Рисунок № 1
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульный лист руководства по эксплуатации газоанализатора типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Нормативные и технические документы
ГОСТ 8.578-2008 «Государственная поверочная схема для средств измерений содержания компонентов в газовых средах».
ГОСТ 13320-81 «Газоанализаторы промышленные автоматические. Общие технические условия».
ГОСТ 12.1.005-88 «Общие санитарно-гигиенические требования к воздуху рабочей зоны».
Техническая документация фирмы “Delta F Corporation”, США.
Поверка
Поверка осуществляется в соответствии с документом «Газоанализатор Delta-F550E Nano Trace, модель 550E-0010V. Методика поверки № МП 2009-2», согласованные с ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИФТРИ», в августе 2009 г.
В перечень основного поверочного оборудования входят: ГСО-ПГС состава O2/N2 № 3712-87 (А = 0,006 %), азот газообразный особой чистоты 99,999 %, сорт 1, по ГОСТ 9293-74 в баллонах под давлением, по ТУ 6-16-2956-92, а также генератор газовых смесей ГГС-03-03, per. № 19351-00 (5 = ± 2,5 %).
Межповерочнй интервал - 1 год.
Заключение
Единичный образец газоанализатора кислорода Delta-F550E Nano Trace, модель 55OE-OO1OV утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании единичных образцов, метрологически обеспечен при выпуске из производства и в эксплуатации согласно государственной поверочной схеме ГОСТ 8.578-2008.
Г азоанализатор кислорода Delta-F550E Nano Trace модель 550E-0010V |
Внесены в Государственный реестр единичных средств измерений Регистрационный Взамен № |
Выпускаются по технической документации фирмы “Delta F Corporation”, США. Заводской номер газоанализатора - PT-17260-V6.
НАЗНАЧЕНИЕ И ОБЛАСТЬ ПРИМЕНЕНИЯГазоанализатор кислорода Delta-F550E NanoTrace модель 550E-0010V предназначены для автоматического непрерывного измерения объемной доли кислорода в технологических газах.
Газоанализатор могут применяться на предприятиях микроэлектронной и полупроводниковой промышленности.
Газоанализатор кислорода Delta-F550E Nano Trace модель 550E-0010V состоит из датчика кислорода - первичного преобразователя электрохимического типа, аналого-цифрового преобразователя, жидко-кристаллического дисплея, служащего для отображения результатов измерения и команд управления, микропроцессорного блока, осуществляющего управление работой газоанализатора, выходного интерфейса RS-232C или RS-485, блока питания.
Датчик газоанализатора представляет из себя электрохимическую ячейку, заполненную жидким электролитом на основе КОН, и систему основных и вспомогательных электродов. В ячейке создается электрический ток, величина которого определяется количеством молекул кислорода, оседаемых на катоде. Ток между катодом и анодом ячейки прямо пропорционален концентрации кислорода в анализируемом газе. Пара вспомогательных электродов защищают главные электроды от разрушающего воздействия загрязнений, которые неминуемо попадают в электролит с анализируемым газом. Дополнительные вспомогательные электроды притягивают и захватывают присутствующие в электролите ячейки ионные примеси, обеспечивая стабильность нуля и диапазона измерений прибора.
Блок микропроцессора не только управляет процессом измерения и отображением данных на экране дисплея, но и позволяет производить калибровку и диагностику неисправностей газоанализатора. Газоанализатор питается от сети переменного тока напряжением 220В. Корпус газоанализатора имеет щитовое исполнение. В его состав также входит система из четырех предупредительных реле, служащих для подачи звуковых и световых сигналов в случае появления какой-либо неисправности в работе прибора, а также сигнализирующих о достижении заданного значения содержания кислорода в анализируемом газе. Газоанализатор способен измерять содержание кислорода в любых инертных и неактивных газах (N2, Нг, СО, Аг, фреоны, углеводороды и т.д.). По сравнению с анализатором кислорода Delta-F310E, выпускаемых фирмой “Delta F Corporation”, данная модель обладает меньшим диапазоном измерения, но зато очень низким порогом обнаружения следовых количеств кислорода в технологических газах.
№№ п/п |
Наименование |
Обозначение |
Количество |
1. |
Газоанализатор кислорода ДеЙа-F-550E Nano Trace, модель 550Е-0010V |
Зав. № PT-17260-V6 |
1 |
2. |
Электролит для датчика кислорода (водный раствор гидроксида калия -КОН) |
DF-E-07 |
1 компл. |
3. |
Руководство по эксплуатации |
РЭ, модель DF-55O |
1 |
4. |
Методика поверки |
№ МП 2009-2 |
1 |
Наименование характеристики |
Нормируемое значение |
1. Диапазон измерений объемной доли кислорода, млн'1 |
0-10 |
2. Пределы допускаемой основной относительной погрешности, % , не более |
± 3 (или ± 0,5 млрд’1, что больше) |
3. Время установления показаний, Т90, с, не более |
15 |
4. Минимальное (пороговое) обнаруживаемое содержание кислорода, млрд'1 |
0,2 |
5. Предел допускаемой вариации показаний, в долях от предела допускаемой основной погрешности |
0,5 |
6. Пределы допускаемой дополнительной погрешности при изменении окружающей температуры в пределах рабочих условий, в долях от предела допускаемой основной погрешности |
0,5 |
7. Напряжение питания, (однофазная сеть переменного напряжения), В |
от 200 до 240 |
8. Потребляемая мощность, Вт, не более |
35 |
9. Габаритные размеры (ширина, высота, глубина), мм |
309x227x254 |
10. Масса, кг |
8,2 |
11. Диапазон рабочих температур, °C |
от 0 до 45 |