Номер по Госреестру СИ: 43913-10
43913-10 Анализаторы кислорода
(Delta F550)
Назначение средства измерений:
Анализаторы кислорода Delta F550 (в дальнейшем - анализаторы) предназначены для измерений объемной доли кислорода в смеси с азотом, аргоном, гелием, водородом и других невзрывоопасных смесях, не реагирующих с кислородом, между собой и электролитом.
Область применения - технологический контроль содержания кислорода в газах особой чистоты, используемых в промышленности, в т.ч. на предприятиях по выпуску полупроводниковых структур различной степени сложности. Анализаторы предназначены для использования в невзрывоопасных зонах.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится:
-
- типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации;
-
- методом штемпелевания на табличку на корпусе анализатора.
Сведения о методиках измерений
Нормативные и технические документы
-
1 ГОСТ 13320-81 Газоанализаторы промышленные автоматические. Общие технические условия.
-
2 ГОСТ 8.578-2008 ГСИ Государственная поверочная схема для средств измерений содержания компонентов в газовых средах.
-
3 ГОСТ Р 52931-2008 Приборы контроля и регулирования технологических процессов. Общие технические условия.
-
4 Техническая документация изготовителя.
Поверка
Поверка анализаторов кислорода Delta F550 проводится в соответствии с документом «МП-242—0934-2009 Анализаторы кислорода Delta F550. Методика поверки», утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» «17» декабря 2009 г.
Основные средства поверки:
-
1) генератор газовых смесей ГГС-03-03 в комплекте с газовой смесью - эталоном сравнения Ог/Не с содержанием кислорода (950±50) млн'1 (Хд.2.706.136-ЭТ174, границы относительной погрешности ±0,5% (Р=0,99));
-
2) эталон сравнения - чистый газ гелий Хд.2.706-ЭТ6, степень чистоты 99,99995 %. Межповерочный интервал -1 год.
Заключение
Тип анализаторов кислорода Delta F550, зав. №№ PT-17056-V6, PT-17057-V6, РТ- 17058V6, PT-17059-V6, PT-17060-V6 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен при ввозе на территорию РФ и в эксплуатации согласно государственной поверочной схеме.
Сертификат соответствия № РОСС US.AH46.A60767 от 26 октября 2009 г. выдан органом по сертификации промышленной продукции РОСТЕСТ-Москва.
Анализаторы являются стационарными одноблочными приборами непрерывного действия. Принцип действия анализаторов - электрохимический.
Конструктивно анализатор выполнен в металлическом корпусе, внутри которого расположена электрохимическая ячейка, система подготовки газового потока и блок контроллера.
На лицевой панели расположены цифровой дисплей и органы управления.
Способ забора пробы - принудительный, за счет избыточного давления в точке отбора пробы.
Анализатор обеспечивает визуальную и звуковую сигнализацию о превышении установленных пороговых значений, низком уровне электролита или его загрязнении и о перегреве датчика.
Степень защиты анализаторов от доступа к опасным частям, от попадания внутрь внешних твердых предметов и от проникновения воды - IP20 по ГОСТ 14254-96.
Комплект поставки анализатора приведен в таблице 2.
Таблица 2
Наименование |
Кол-во |
Примечание |
Анализатор кислорода Delta F550 |
1 шт. | |
Сосуд с электролитом ЕО-7 |
1 шт. | |
Шнур питания с соединителем, 115 В перем, тока |
1 шт. | |
Ведомость ЗИП |
1 экз. | |
Комплект ЗИП |
1 компл. | |
Руководство по эксплуатации |
1 экз. | |
Методика поверки |
1 экз | |
Портативный никель-кадмиевый батарейный источник питания |
1 шт |
по заказу |
Модуль аналогового выхода (4..20) мА |
по заказу | |
Дополнительные реле управления |
до 4 шт |
по заказу |
Модуль цифрового выхода (интерфейс RS-232) |
1 |
по заказу |
Модуль цифрового выхода (интерфейс RS-485) |
1 |
по заказу |
Дополнительный газоочиститель |
1 |
по заказу |
-
1 Диапазоны измерений объемной доли кислорода и пределы допускаемой основной погрешности анализатора приведены в таблице 1.
Таблица 1
Диапазон измерений объ-емной доли кислорода, млн'1 |
Пределы допускаемой основной погрешности | |
абсолютной, млн'1 |
относительной, % | |
от 0,0 до 10,0 |
±0,1 (в диапазоне от 0 до 2 млн'1) |
± 5 (в диапазоне от 2 до 10 млн'1) |
-
2 Пределы допускаемой вариации показаний (выходного сигнала) анализа
торов в долях от пределов допускаемой основной погрешности 0,5
-
3 Время прогрева анализаторов, мин, не более 60
-
4 Пределы допускаемого изменения показаний за 8 ч непрерывной работы
в долях от пределов допускаемой основной погрешности, 0,2
-
5 Номинальное время установления показаний анализаторов Точном, с, не более 20
-
6 Анализаторы выдерживают перегрузку, вызванную выходом содержания определяемого компонента за пределы диапазона измерений в пределах диапазона показаний.
При перегрузке, превышающей на 20 % верхнюю границу диапазона измерения в течение
-
-
10 мин, время восстановления показаний после снятия перегрузки, мин, не более 15
При большей перегрузке время восстановления показаний после снятия перегрузки не нормируется.
-
7 Напряжение питания переменного тока частотой (50±1) Гц, В 100+120 или 200+240
-
8 Мощность, потребляемая анализаторами от сети переменного тока, В А,
-
9 Габаритные размеры анализаторов, мм, не более:
Условия эксплуатации газоанализаторов'.
-
- относительная влажность окружающей среды при температуре 25 °C, %
-
- диапазон атмосферного давления, кПа 84+106,7
мм рт. ст. 630+800