Номер по Госреестру СИ: 39905-10
39905-10 Измерители параметров полупроводниковых приборов
(4155С, 4156С)
Назначение средства измерений:
Измерители параметров полупроводниковых приборов моделей 4155С, 4156С (далее по тексту - измерители) предназначены для измерения и автоматизации контроля электрических параметров полупроводниковых приборов, анализа их функциональных зависимостей, отображения на дисплее вольтамперных характеристик (ВАХ) исследуемого объекта в виде графиков и таблиц, расчета на их основе стандартных параметров исследуемого объекта, формирования и заполнения отчета о полученных результатах.
Внешний вид.
Измерители параметров полупроводниковых приборов
Рисунок № 1
Программное обеспечение
Измерители работают под управлением встроенного программного обеспечения (ПО), которое проводит обработку информации, выполняет ряд вычислительных функций и обеспечивает различные варианты отображения результатов измерений.
Идентификационные данные ПО приведены в таблице 1. Таблица 1
Наименование ПО |
Идентифи кационное наименование ПО |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
ПО для измерителей параметров полупроводниковых приборов моделей 415хС |
4155C/56C Firm ware HOSTC 03.10/SMUC 04.08 |
Firmware HOSTC 03.10/SMUC 04.08 |
- |
- |
Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «А» по МИ 3286-2010.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом и на корпус измерителей методом трафаретной печати.
Сведения о методиках измерений
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к измерителям параметров полупроводниковых приборов моделей 4155С, 4156С
-
1 ГОСТ 8.027-2001 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы.
-
2 ГОСТ 8.022-91 ГСИ. Государственный первичный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне от U10-16 до 30 А.
-
3 Техническая документация изготовителя.
Изготовитель
Компания «Keysight Technologies International Japan, Ltd.», Япония1-3-2 Murotani, Nishi-Ku, Kobe-Shi, Hyogo, 651-2241 Japan
9-1 Takakura-cho, Hachioji
Tokyo-To 192-8510
Japan
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений Федеральное бюджетное учреждение «РОСТЕСТ-МОСКВА» (ГЦИ СИ ФБУ «РОСТЕСТ-МОСКВА»).
Юридический (почтовый) адрес: 117418, г. Москва, Нахимовский проспект, д. 31.
Тел. (499) 129-19-11, факс (499) 124-99-96
E-mail: info@rostest.ru
Конструктивно измерители выполнены в виде моноблоков, управление изменением выходных характеристик обеспечивается с помощью наборных клавиш и валкодера, расположенных на лицевой панели или выносной клавиатуры.
Принцип работы измерителей основан на измерении значений тока (напряжения) на электродах тестируемого полупроводникового прибора при формировании на них последовательности значений напряжения или тока. Формируемая величина рассматривается в качестве аргумента, а измеряемая величина - в качестве функции измеренной ВАХ в координатах напряжение-ток или ток-напряжение. ВАХ служит основой для определения или расчета интересующих параметров тестируемого полупроводникового прибора. Графическое отображение ВАХ формируется путем линейной аппроксимации ее значений в промежутках между измеренными точками.
При наличии у тестируемого полупроводникового прибора управляющего (база, затвор) и/или вспомогательного (подложка) электродов, измеритеь обеспечивает измерение семейства ВАХ по значениям одного или двух параметров, каждый из которых может быть задан в виде последовательности значений токов или напряжений формируемых на электродах тестируемого полупроводникового прибора.
Отличие измерителей моделей 4155С, 4156С заключается в различных функциональных возможностях и технических характеристиках.
Внешний вид измерителей с указанием места нанесения знака утверждения типа и места пломбировки от несанкционированного доступа приведен на рисунках 1 и 2.
При оформлении внешнего вида измерителей могут использоваться логотипы компаний «Agilent Technologies» или «Keysight Technologies».
Место нанесения знака утверждения типа
Рисунок 1 - Внешний вид лицевой панели измерителей
Место пломбировки
Рисунок 2 - Внешний вид задней панели измерителей
Комплект поставки измерителей приведен в таблице 8.
аблица 8
Наименование |
Количество, шт. |
1 Измеритель параметров полупроводниковых приборов 4155С или измеритель параметров полупроводниковых приборов 4156С (по заказу) |
1 |
2 Комплект запасных частей и принадлежностей |
1 |
3 Руководство по эксплуатации |
1 |
4 Методика поверки |
1 |
5 Паспорт |
1 |
Конфигурация измерителей приведена в таблице 2.
Таблица 2
Описание встраиваемых модулей |
Количество модулей |
Диапазон измерения/ воспроизведения | |
4155С |
4156С | ||
Модуль источни- ка/измерителя средней мощности (MPSMU) |
4 |
- |
от 2 мкВ до 100 В от 10 фА до 100 мА |
Модуль источни- ка/измерителя с высоким разрешением (HRSMU) |
- |
4 |
от 2 мкВ до 100 В от 1 фА до 1 А |
Модуль источника напряжения (VSU) |
2 |
2 |
от 1 мВ до 20 В |
Модуль измерителя напряжения (VMU) (HRSMU) |
2 |
2 |
от 2 мкВ до 20 В |
Лист № 3
Всего листов 7 Метрологические характеристики модулей в режиме измерения напряжения постоян-
ного тока приведены в таблице 3.
Таблица 3
Модуль |
Пределы измерений |
Разрешение |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений |
MPSMU |
± 2 В |
2 мкВ |
± (0,0240-^иизм + 0,7 мВ) |
±20 В |
20 мкВ |
± (0,0240^иизм + 2мВ) | |
±40 В |
40 мкВ |
± (0,0240лиизм + 3 мВ) | |
± 100 В |
100 мкВ |
± (0,0240лиизм + 5 мВ) | |
HRSMU |
± 2 В |
2 мкВ |
± (0,0140^иизм + 0,2 мВ) |
±20 В |
20 мкВ |
± (0,0140-^иизм + 1 мВ) | |
±40 В |
40 мкВ |
± (0,01540лиизм + 2 мВ) | |
± 100 В |
100 мкВ |
± (0,0240лиизм + 5 мВ) | |
VMU |
± 2 В |
2 мкВ |
± (0,0240^иизм + 0,2 мВ) |
±20 В |
20 мкВ |
± (0,0240лиизм + 1 мВ) |
Примечание - UU3M - измеренное значение напряжения постоянного тока
Метрологические характеристики модулей в режиме источника напряжения постоянного тока приведены в таблице 4.
аблица 4
Модуль |
Пределы воспроизведения |
Разрешение |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения |
MPSMU |
± 2 В |
100 мкВ |
± (0,0340 2^воспр. + 0,9 мВ) |
±20 В |
1 мВ |
± (0,0340^ивоспр. + 4 мВ) | |
±40 В |
2 мВ |
± (0,0340 Ивоспр. + 7 мВ) | |
± 100 В |
5 мВ |
± (0,0440-^ивоспр. + 15 мВ) | |
HRSMU |
± 2 В |
100 мкВ |
± (0,0240 2^воспр. + 0,4 мВ) |
±20 В |
1 мВ |
± (0,0240 2^воспр. + 3 мВ) | |
±40 В |
2 мВ |
± (0,02540 2^воспр. + 6 мВ) | |
± 100 В |
5 мВ |
± (0,0340-^ивоспр. + 15 мВ) | |
VMU |
±20 В |
20 мкВ |
± (0,0240 2 ивоспр. + 1 мВ) |
Примечание - ивоспр. - воспроизведенное значение напряжения постоянного тока
Метрологические характеристики модулей в режиме измерения силы постоянного тока приведены в таблице 5.
аблица 5
Модуль |
Пределы воспроизведения |
Разрешение |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения |
MPSMU |
± 1 нА |
0,01 пА |
± (0Л10"Чзм. + 3 пА) |
± 10 нА |
0,01 пА |
± (0Л10"Чзм. + 5 пА) | |
± 100 нА |
0,1 пА |
± (0,1-10-2-1изМ. + 30 пА) | |
± 1 мкА |
0,001 нА |
± (0,140-Чзм. + 0,2 нА) | |
± 10 мкА |
0,01 нА |
± (0,140-Чзм. + 3 нА) | |
±100 мкА |
0,1 нА |
± (0,1-10-2-1изм. + 20 нА) | |
± 1 мА |
0,001 мкА |
± (0,140 24изм. + 0,3 мкА) | |
±10 мА |
0,01 мкА |
± (0,140’24изм. + 2 мкА) | |
± 100 мА |
0,1 мкА |
± (0,140 2 1изм. + 30 мкА) | |
HRSMU |
± 10 пА |
0,001 пА |
± (440"24изм. + 0,02 пА) |
± 100 пА |
0,001 пА |
± (440"Чзм. + 0,04 пА) | |
± 1 нА |
0,01 пА |
± (0,540-Чзм. + 0,4 пА) | |
± 10 нА |
0,01 пА |
± (0,540-Чзм. + 2 пА) | |
± 100 нА |
0,1 пА |
± (0,1-10-2-1изм. + 20 пА) | |
± 1 мкА |
0,001 нА |
± (0,140-Чзм. + 0,2 нА) | |
± 10 мкА |
0,01 нА |
± (0,0540-Чзм. + 2 нА) | |
±100 мкА |
0,1 нА |
± (0,0540-24изм. + 20 нА) | |
± 1 мА |
0,001 мкА |
± (0,0440 24изм. + 0,2 мкА) | |
± 10 мА |
0,01 мкА |
± (0,0440 24изм. + 2 мкА) | |
± 100 мА |
0,1 мкА |
± (0,140 2 1изм. + 20 мкА) | |
Примечание - 1изм. - измеренное значение силы постоянного тока |
Метрологические характеристики модулей в режиме воспроизведения силы постоянного тока приведены в таблице 6.
Таблица 6
Модуль |
Предел воспроизведения |
Разрешение |
Предел допускаемой абсолютной погрешности измерения |
MPSMU |
± 1 нА |
0,01 пА |
± (0,540-24воспр. + 3 пА) |
± 10 нА |
1 пА |
± (0,540-24Воспр. + 7 пА) | |
± 100 нА |
10 пА |
± (0,1240-24воспр. + 50 пА) | |
± 1 мкА |
0,1 нА |
± (0,1240 24воспр.+ 0,4 нА) | |
± 10 мкА |
1 нА |
± (0,1240-24воспр+ 5 нА) | |
±100 мкА |
10 нА |
± (0,1240-24воспр. + 40 нА) | |
± 1 мА |
0,1 мкА |
± (0,1240-24воспр+ 0,5 мкА) |
Модуль |
Предел воспроизведения |
Разрешение |
Предел допускаемой абсолютной погрешности измерения |
±10 мА |
1 мкА |
± (0,1240’Чвоспр+ 4 мкА) | |
± 100 мА |
10 мкА |
± (0,1240’Чвоспр+ 50 мкА) | |
HRSMU |
± 10 пА |
0,001 пА |
± (440’Чвоспр + 0,4 пА) |
± 100 пА |
0,001 пА |
± (440’Чвоспр+ 0, 4 пА) | |
± 1 нА |
0,01 пА |
± (0Д10л1воспр+ 0,7 пА) | |
± 10 нА |
0,01 пА |
± (0Д10л1воспр+ 4 пА) | |
± 100 нА |
0,1 пА |
± (0,1240’Чвоспр+ 40 пА) | |
± 1 мкА |
0,001 нА |
± (0,1240 2^1воспр+ 0,4 нА) | |
± 10 мкА |
0,01 нА |
± (0,07-10 24воспр.+ 4 нА) | |
±100 мкА |
0,1 нА |
± (0,0740’24воспр+ 40 нА) | |
± 1 мА |
0,001 мкА |
± (0,0640’24воспр+ 0,4 мкА) | |
± 10 мА |
0,01 мкА |
± (0,0640’24воспр+ 4 мкА) | |
± 100 мА |
0,1 мкА |
± (0,1240 24воспр.+ 40 мкА) | |
Примечание - 1В0сПр. - воспроизведенное значение силы постоянного тока |
Технические характеристики измерителей приведены в таблице 7.
Таблица 7
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
Температура эксплуатации, °С |
от 10 до 40 |
Относительная влажность, % |
от 20 до 80 |
Температура хранения, °С |
от минус 22 до 60 |
Относительная влажность, % |
от 5 до 90 |
Высота над уровнем моря, м, не более |
2000 |
Напряжение сети питания, В |
от 90 до 264 |
Частота сети питания, Гц |
от 47 до 63 |
Потребляемая мощность, В А, не более |
450 |
Габаритные размеры (длина х высота х ширина), мм, не более |
235х426х600 |
Масса, кг, не более |
21 |