Профилометры оптические Nanometric IntoM относятся к классу бесконтактных оптических приборов, принцип действия которых основан на интерференции световых пучков оптического излучения, отраженного от опорного зеркала и поверхности измеряемого изделия. Интерференционные картины при различных положениях зеркала регистрируются с помощью встроенной цифровой ПЗС-камеры, оцифровываются и поступают в персональный компьютер, где производится их автоматическая обработка. В результате обработки восстанавливается оптическая разность хода, соответствующая измеряемому профилю поверхности. Результаты измерений в виде двумерных профилей исследуемых объектов (сечений), цветовых карт и текстовой информации отображаются на экране компьютера.

Профилометры оптические состоят из блока осветителя с источником света, конструктивно выполненного в виде моноблока, входящего в состав измерительной головки, расположенной на колонне с возможностью перемещения по вертикали. Колонна установлена на гранитном или металлическом основании, оснащенном антивибрационными пневмоподушками, и расположенном на металлической раме. Также в измерительной головке располагается оптическая система (набор диафрагм, фильтров, делитель светового пучка, объективы, определяющие поле зрения (являются сменными), цифровая камера. На основании установлен автоматический предметный столик с механической регулировкой угла наклона в двух плоскостях и возможностью перемещения по осям X и Y. Корпус измерительного прибора и механизм внутреннего движения имеют раздельные конструкции, что способствует изоляции от вибрации. В состав профилометров входит компьютер.

В профилометрах реализовано два метода исследования: вертикальная сканирующая интерферометрия и интерферометрия фазового контраста.

В методе вертикальной сканирующей интерферометрии используется источник оптического излучения с широким спектром (белый светодиод). В основе метода лежит вертикальное перемещение объектива встроенным приводом с одновременной регистрацией изображения камерой. Положение реперного зеркала в оптической системе подобрано таким образом, чтобы оптическая разность хода была равна нулю. При этом условии в интерференционной картине возникают максимумы для всех длин волн, и наблюдается абсолютный максимум интенсивности, регистрируемый видеокамерой. Таким образом, если в некоторой точке образца наблюдается абсолютный максимум, она находится в фокусе. Высота каждой точки поверхности определяется системой по положению объектива в области максимальной интенсивности.

В методе интерферометрии фазового контраста используется источник оптического излучения с узким спектром - светодиодный источник света зеленый (530 нм). В этом методе во время цикла измерения система прецизионного позиционирования объектива изменяет оптическую длину пути луча. Каждое такое изменение приводит к сдвигу интерференционных полос. Данные сдвиги регистрируются камерой в виде серии интерферограмм, которые с помощью программной обработки преобразуются в топографию поверхности.

Профилометры выпускаются четырех модификаций Nanometric IntoM OP100L, Nanometric IntoM OP100, Nanometric IntoM OP100P, Nanometric IntoM OP300, различающихся техническими характеристиками.

Общий вид профилометров приведен на рисунках 1-2.

Заводские номера оптических профилометров имеют буквенно-цифровое обозначение и наносятся на боковую часть основания профилометров в виде шильды. (Рисунок 3). Пломбирование профилометра не предусмотрено. Нанесение знака поверки на профилометры не предусмотрено.

Рисунок 1 - Общий вид профилометров оптических Nanometric IntoM OP100, Nanometric IntoM OP100P, Nanometric IntoM OP100L

Рисунок 2 - Общий вид профилометров оптических Nanometric IntoM OP300

Рисунок 3 - Вид идентификационной таблички

Таблица 5 -

аблица 2 - Метрологические характеристики профилометров оптических Nanometric IntoM

Таблица 3 - Технические характеристики профилометров оптических Nanometric IntoM

Таблица 4 - Условия эксплуатации