Сведения о средстве измерений: 96755-25 Микроскопы сканирующие электронные измерительные

Номер по Госреестру СИ: 96755-25
96755-25 Микроскопы сканирующие электронные измерительные
(EM)

Назначение средства измерений:
Микроскопы сканирующие электронные измерительные EM (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур, количественного морфологического анализа и локального электронно-зондового элементного анализа (опционально, при комплектации энергодисперсионным рентгеновским спектрометром).

сертификация программного обеспечения
Внешний вид. Микроскопы сканирующие электронные измерительные, http://oei-analitika.ru рисунок № 1
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные измерительные
Рисунок № 1
Внешний вид. Микроскопы сканирующие электронные измерительные, http://oei-analitika.ru рисунок № 2
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные измерительные
Рисунок № 2
Внешний вид. Микроскопы сканирующие электронные измерительные, http://oei-analitika.ru рисунок № 3
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные измерительные
Рисунок № 3

Общие сведения

Дата публикации - 01.11.2025
Срок свидетельства - 29.10.2030
Номер записи - 392a7467-985a-8d37-42dc-2548ad54071a
ID в реестре СИ - 1427229
Тип производства - серийное
Описание типа

Поверка

Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки

Модификации СИ

модификация ЕМ-40,

Производитель

Изготовитель - COXEM Co., Ltd.
Страна - КОРЕЯ, РЕСПУБЛИКА
Населенный пункт - #201 199, Techno 2-ro (Migun Techno-World 1-cha), Yuseong-gu, Daejeon, 34025
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности -

Ростов-на-Дону - административный центр Ростовской области и Южного федерального округа России. Город расположен на юго-востоке Восточно-Европейской равнины, на берегах реки Дон, в 46 км от ее впадения в Азовское море. Площадь города составляет 348,5 кв. км, расстояние до Москвы - 1076 км.

Площадь города 348,5 кв. км, население 1 137,7 тыс. человек. Географически город включает 8 районов (Ворошиловский, Железнодорожный, Кировский, Ленинский, Октябрьский, Первомайский, Пролетарский и Советский).

Позиционирование как столицы Юга России и локализация в городе промышленных предприятий и структур южнороссийского масштаба (штаб Северо-Кавказского военного округа, управление Северо-Кавказской железной дороги и т.д.) вызывает дополнительную концентрацию рабочих мест в Ростове-на-Дону, обеспечивает повышенный уровень экономической активности и инвестиционной привлекательности.

В городе насчитывается более 92 тысяч хозяйствующих субъектов. Промышленность представлена такими крупными предприятиями, как: ПАО "Роствертол", ООО "Комбайновый завод "Ростсельмаш", ФГУП "Ростовский-на-Дону научно-исследовательский институт радиосвязи", ООО "ГРУППА АГРОКОМ", Ростовский-на-Дону электровозоремонтный завод - филиал ОАО "Желдорреммаш", ЗАО "Эмпилс" и др.

Отчет "Анализ рынка поверки в Ростове-на-Дону" предоставляет исчерпывающую информацию по деятельности организаций, аккредитованных в Национальной системе аккредитации на право поверки средств измерений в городе Ростов-на-Дону.

При проведении исследований были введены следующие ограничения:

  • в отчете присутствуют организации с первичными или периодическими поверками от 100 шт. с 2017 года и действующими аттестатами аккредитации на текущий год;
  • на первом и втором этапах фильтром отсекаются типы СИ с менее чем 10 поверками в год на организацию;
  • на первом и втором этапах фильтром отсекаются типы СИ с менее чем 10 поверками в год на организацию;
  • место регистрации или осуществления деятельности организаций должно совпадать с выбранным городом;
  • топ типов СИ ограничен 500 позициями по каждой организации (сортировка по убыванию количества поверок);
  • топ типов СИ ограничен 100 позициями по каждой организации при поиске по видам измерений (сортировка по убыванию количества поверок).

Содержание отчета:

  • Список организаций-поверителей, осуществляющих поверку в городе Москва по данным ФСА и ФГИС АРШИН.
  • Объемы первичных и периодических поверок за период с 2017г. по н.в.
  • Информация о местах осуществления деятельности организаций-поверителей.
  • Доля рынка поверок в % среди всех организаций, исследуемого города (предоставление информации в графическом и табличном видах).
  • Детальный анализ по каждой из организации, работающей в выбранном городе.
  • Анализ деятельности в разрезе первичных, периодических поверок и видов измерений.
  • Количество поверок по типам СИ в динамике по годам.
  • Индикация импортных аналогов средств поверки (в соответствии с ПЕРЕЧЕНЕМ СИ ОТЕЧЕСТВЕННОГО ПРОИЗВОДСТВА, АНАЛОГИЧНЫХ СРЕДСТВАМ ИЗМЕРЕНИЙ ИМПОРТНОГО ПРОИЗВОДСТВА от 09.2022г)
  • Индикация типов СИ по ПП РФ №250 от 20.04.2010 г.
  • Быстрый анализ контрагентов организаций-поверителей.
  • Анализ цен на поверку СИ по Фед. округу.

Стоимость 200 руб. или по подписке

Статистика

Кол-во поверок - 4
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 0
Кол-во средств измерений - 4
Кол-во владельцев - 1
Усредненный год выпуска СИ - 2025
МПИ по поверкам - 364 дн.

Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ

№2327 от 2025.10.29 ПРИКАЗ_Об утверждении типов средств измерений (15)

Наличие аналогов СИ: Микроскопы сканирующие электронные измерительные (EM)

ИМПОРТНОЕ СИ
№ в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ
№ в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель

Все средства измерений COXEM Co., Ltd.

№ в реестре
cрок св-ва
Наименование СИ, обозначение, изголовитель ОТ, МП МПИ
96755-25
29.10.2030
Микроскопы сканирующие электронные измерительные, EM
COXEM Co., Ltd. (КОРЕЯ, РЕСПУБЛИКА #201 199, Techno 2-ro (Migun Techno-World 1-cha), Yuseong-gu, Daejeon, 34025)
ОТ
МП
1 год

Кто поверяет Микроскопы сканирующие электронные измерительные (EM)

Наименование организации Cтатус Поверенные модификации Кол-во поверок Поверок в 2026 году Первичных поверок Периодических поверок Извещений Для юриков Для юриков первичные Для юриков периодические
АО "НИЦПВ"
(RA.RU.311409)
  • модификация ЕМ-40
  • 4 1 4 0 0 4 4 0

    Стоимость поверки Микроскопы сканирующие электронные измерительные (EM)

    Организация, регион Стоимость, руб Средняя стоимость

    Программное обеспечение

    Управление микроскопом осуществляется с помощью ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (далее - ПО).

    Программное обеспечение предназначено для управления микроскопом, составления измерительных программ, обработки результатов измерений и не может быть использовано отдельно от микроскопа.

    Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.

    Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения

    Идентификационные данные (признаки)

    Значение

    Идентификационное наименование ПО:

    • - модификация EM-40

    • - модификации EM-30N+, EM-30AXN+

    Nanostation

    NS

    Номер версии (идентификационный номер) ПО

    • - модификацияЕМ-40

    • - модификацииЕМ-30^, EM-30AXN+

    5.0.0 и выше

    4.1.6 и выше

    Уровень защиты ПО соответствует уровню «средний» согласно Р 50.2.077-2014.


    Знак утверждения типа

    Знак утверждения типа

    наносится на лицевую панель модуля получения изображений в виде наклейки и на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом.


    Сведения о методиках измерений

    Сведения о методиках (методах) измерений

    приведены в документе «Микроскопы сканирующие электронные измерительные EM. Руководство по эксплуатации», раздел 4 «Измерение линейных размеров».


    Нормативные и технические документы

    Нормативные документы, устанавливающие требования к средству измерений Государственная поверочная схема для средств измерения длины в диапазоне от 10-9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм, утвержденная приказом Росстандарта от 29.12.2018 № 2840.

    Правообладатель

    34025

    Фирма «COXEM Co., Ltd.», Республика Корея

    Адрес: #201 199, Techno 2-ro (Migun Techno-World 1-cha), Yuseong-gu, Daejeon, KOREA

    Тел.: +82-42-861-1686, факс: +82-42-861-1689

    E-mail: overseas@coxem.com

    Сайт: www.coxem.com

    Изготовитель

    не осуществляет пломбирование микроскопов. Заводской номер в буквенно-цифровом формате и год изготовления нанесены типографским способом на шильдик, закрепленный на задней панели модуля получения изображений. Нанесение знака поверки на микроскоп не предусмотрено. Общий вид микроскопов и место нанесения знака утверждения типа приведены на рисунках 1 и 2.
    Рисунок 2 - Общий вид модуля получения изображений микроскопов модификаций EM-30N+ и EM-30AXN+
    место нанесения
    знака утверждения
    типа
    Рисунок 1 - Общий вид модуля получения изображений микроскопов модификации EM-40
    Место установки шильдика с заводским номером микроскопов модификации EM-40 и модификаций EM-30N+, EM-30AXN+ приведено на рисунках 3а и 3б соответственно.
    а)
    б)
    место установки шильдика с заводским номером
    Рисунок 3 - Место установки шильдика с заводским номером микроскопов модификации EM-40 (а) и модификаций EM-30N+, EM-30AXN+ (б)
    Программное обеспечение Управление микроскопом осуществляется с помощью ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (далее - ПО).
    Программное обеспечение предназначено для управления микроскопом, составления измерительных программ, обработки результатов измерений и не может быть использовано отдельно от микроскопа.
    Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.
    Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
    Идентификационные данные (признаки)
    Значение
    Идентификационное наименование ПО:
    • - модификация EM-40
    • - модификации EM-30N+, EM-30AXN+
    Nanostation
    NS
    Номер версии (идентификационный номер) ПО
    • - модификацияЕМ-40
    • - модификацииЕМ-30^, EM-30AXN+
    5.0.0 и выше
    4.1.6 и выше
    Уровень защиты ПО соответствует уровню «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
    Метрологические и технические характеристики Таблица 2 - Метрологические характеристики_____
    Наименование характеристики
    Значение
    EM-40
    EM-30N+
    EM-30AXN+
    Диапазон измерений линейных размеров, мкм
    от 0,2 до 1000
    Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, %
    ±4
    ±6
    Энергетическое разрешение энергодисперсионного спектрометра* на линии Ка марганца, эВ, не более
    129
    * - для модификации EM-30AXN+ и опционально для модификации EM-40
    Таблица 3 - Основные технические характеристики
    Наименование характеристики
    Значение
    EM-40
    EM-30N+
    EM-30AXN+
    Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ
    от 1 до 30
    Шаг регулировки ускоряющего напряжения, кВ, не более
    1
    Диапазон определяемых элементов*
    от В до Cf
    Пространственное разрешение, нм, не более
    5
    Максимальное электронно-оптическое увеличение, крат
    150000
    Максимальное цифровое увеличение, крат
    250000
    150000
    Диапазон перемещений предметного столика по осям X, Y, мм, не менее
    40х40
    35х35
    Диапазон перемещений предметного столика по оси Z, мм, не менее
    40
    -
    Максимальный размер образца в плоскости X, Y, мм
    80
    70
    Масса, включая все комплектующие, кг, не более
    95
    Габаритные размеры основных составных частей (ширинах глубина хвысота), мм, не более: -модуль получения изображений -форвакуумный насос
    315х560х580
    300х200х150
    400х600х550
    300х200х150
    Потребляемая мощность, В^А, не более
    15
    о о
    Напряжение питания от однофазной сети переменного тока, В
    от 207 до 253
    Условия эксплуатации:
    • - температура окружающей среды, °С
    • - относительная влажность воздуха, %
    от +15 до +25
    от 10 до 70
    * - для модификации EM-30AXN+ и опционально для модификации EM-40
    Знак утверждения типа наносится на лицевую панель модуля получения изображений в виде наклейки и на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом.
    Комплектность средства измерений Таблица 4 - Комплектность средства измерений
    Наименование
    Обозначение
    Количество
    Микроскоп сканирующий электронный измерительный
    EM-40 (либо EM-30N+, EM-30AXN+)
    1 шт.
    Руководство по эксплуатации
    -
    1 шт.
    Методика поверки
    -
    1 шт.
    Сведения о методиках (методах) измерений приведены в документе «Микроскопы сканирующие электронные измерительные EM. Руководство по эксплуатации», раздел 4 «Измерение линейных размеров».
    Нормативные документы, устанавливающие требования к средству измерений Государственная поверочная схема для средств измерения длины в диапазоне от 10-9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм, утвержденная приказом Росстандарта от 29.12.2018 № 2840.
    Правообладатель
    34025
    Фирма «COXEM Co., Ltd.», Республика Корея
    Адрес: #201 199, Techno 2-ro (Migun Techno-World 1-cha), Yuseong-gu, Daejeon, KOREA
    Тел.: +82-42-861-1686, факс: +82-42-861-1689
    E-mail: overseas@coxem.com
    Сайт: www.coxem.com
    Фирма «COXEM Co., Ltd.», Республика Корея
    Адрес: #201 199, Techno 2-ro (Migun Techno-World 1-cha), Yuseong-gu, Daejeon, KOREA 34025
    Тел.: +82-42-861-1686, факс: +82-42-861-1689
    E-mail: overseas@coxem.com
    Сайт: www.coxem.com

    Испытательный центр

    Акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума»
    (АО «НИЦПВ)
    Тел./Факс: (495) 935-97-77
    E-mail: mail@nicpv.ru

    Правообладатель


    34025
    Фирма «COXEM Co., Ltd.», Республика Корея
    Адрес: #201 199, Techno 2-ro (Migun Techno-World 1-cha), Yuseong-gu, Daejeon, KOREA
    Тел.: +82-42-861-1686, факс: +82-42-861-1689
    E-mail: overseas@coxem.com
    Сайт: www.coxem.com

    Принцип действия микроскопов основан на сканировании сфокусированным пучком ускоренных электронов поверхности исследуемого объекта, детектировании вторичных электронов для формирования изображения на экране персонального компьютера синхронно с разверткой электронного пучка. Отношение размера изображения на экране к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.

    Микроскоп представляет собой настольную автоматизированную многофункциональную измерительную систему.

    Микроскоп состоит из модуля получения изображений, отдельного форвакуумного насоса, персонального компьютера, имеющего специализированное программное обеспечение для управления микроскопом.

    Измерительный блок включает электронно-оптическую систему (колонну) с электронной пушкой, оснащенной вольфрамовым катодом, камеру образцов, высоковольтный блок, формирующий ускоряющее напряжение в диапазоне от 1 до 30 кВ, блок электроники, турбомолекулярный насос, детекторы вторичных (ВЭ) и обратнорассеянных (ОРЭ) электронов. Встроенная оптическая навигационная камера позволяет оперативно находить место для анализа на исследуемом образце.

    Вакуумная система микроскопа обеспечивает остаточное давление менее 10-2 Па в режиме высокого вакуума (High Vacuum) и остаточное давление в камере образцов в диапазоне от 10 до 30 Па в режиме низкого вакуума (Low Vacuum) для наблюдения непроводящих объектов.

    Микроскопы выпускаются в следующих модификациях: EM-40, EM-30AXN+, EM-30N+, которые различаются в основном конструкцией предметного столика и наличием энергодисперсионного рентгеновского спектрометра для локального электронно-зондового элементного анализа (модификация EM-30AXN+). Энергодисперсионный рентгеновский спектрометр для модификации EM-40 поставляется опционально.

    Режимы работы микроскопа устанавливаются пользователем с помощью программного обеспечения управляющей ПЭВМ.

    Изготовитель не осуществляет пломбирование микроскопов. Заводской номер в буквенно-цифровом формате и год изготовления нанесены типографским способом на шильдик, закрепленный на задней панели модуля получения изображений. Нанесение знака поверки на микроскоп не предусмотрено. Общий вид микроскопов и место нанесения знака утверждения типа приведены на рисунках 1 и 2.

    Внешний вид. Микроскопы сканирующие электронные измерительные (EM), http://oei-analitika.ru

    Рисунок 2 - Общий вид модуля получения изображений микроскопов модификаций EM-30N+ и EM-30AXN+

    место нанесения

    знака утверждения

    типа

    Внешний вид. Микроскопы сканирующие электронные измерительные (EM), http://oei-analitika.ru

    Рисунок 1 - Общий вид модуля получения изображений микроскопов модификации EM-40

    Место установки шильдика с заводским номером микроскопов модификации EM-40 и модификаций EM-30N+, EM-30AXN+ приведено на рисунках 3а и 3б соответственно.

    Внешний вид. Микроскопы сканирующие электронные измерительные (EM), http://oei-analitika.ru

    а)

    б)

    место установки шильдика с заводским номером

    Рисунок 3 - Место установки шильдика с заводским номером микроскопов модификации EM-40 (а) и модификаций EM-30N+, EM-30AXN+ (б)


    Таблица 4 -

    Наименование

    Обозначение

    Количество

    Микроскоп сканирующий электронный измерительный

    EM-40 (либо EM-30N+, EM-30AXN+)

    1 шт.

    Руководство по эксплуатации

    -

    1 шт.

    Методика поверки

    -

    1 шт.


    Таблица 2 - Метрологические характеристики_____

    Наименование характеристики

    Значение

    EM-40

    EM-30N+

    EM-30AXN+

    Диапазон измерений линейных размеров, мкм

    от 0,2 до 1000

    Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, %

    ±4

    ±6

    Энергетическое разрешение энергодисперсионного спектрометра* на линии Ка марганца, эВ, не более

    129

    * - для модификации EM-30AXN+ и опционально для модификации EM-40

    Таблица 3 - Основные технические характеристики

    Наименование характеристики

    Значение

    EM-40

    EM-30N+

    EM-30AXN+

    Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ

    от 1 до 30

    Шаг регулировки ускоряющего напряжения, кВ, не более

    1

    Диапазон определяемых элементов*

    от В до Cf

    Пространственное разрешение, нм, не более

    5

    Максимальное электронно-оптическое увеличение, крат

    150000

    Максимальное цифровое увеличение, крат

    250000

    150000

    Диапазон перемещений предметного столика по осям X, Y, мм, не менее

    40х40

    35х35

    Диапазон перемещений предметного столика по оси Z, мм, не менее

    40

    -

    Максимальный размер образца в плоскости X, Y, мм

    80

    70

    Масса, включая все комплектующие, кг, не более

    95

    Габаритные размеры основных составных частей (ширинах глубина хвысота), мм, не более: -модуль получения изображений -форвакуумный насос

    315х560х580

    300х200х150

    400х600х550

    300х200х150

    Потребляемая мощность, В^А, не более

    15

    о о

    Напряжение питания от однофазной сети переменного тока, В

    от 207 до 253

    Условия эксплуатации:

    • - температура окружающей среды, °С

    • - относительная влажность воздуха, %

    от +15 до +25

    от 10 до 70

    * - для модификации EM-30AXN+ и опционально для модификации EM-40


    Настройки внешнего вида
    Цветовая схема

    Ширина

    Левая панель