Номер по Госреестру СИ: 96755-25
96755-25 Микроскопы сканирующие электронные измерительные
(EM)
Назначение средства измерений:
Микроскопы сканирующие электронные измерительные EM (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур, количественного морфологического анализа и локального электронно-зондового элементного анализа (опционально, при комплектации энергодисперсионным рентгеновским спектрометром).
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные измерительные
Рисунок № 1
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные измерительные
Рисунок № 2
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные измерительные
Рисунок № 3
Общие сведения
Дата публикации - 01.11.2025
Срок свидетельства - 29.10.2030
Номер записи - 392a7467-985a-8d37-42dc-2548ad54071a
ID в реестре СИ - 1427229
Тип производства - серийное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
модификация ЕМ-40,
Производитель
Изготовитель - COXEM Co., Ltd.
Страна - КОРЕЯ, РЕСПУБЛИКА
Населенный пункт - #201 199, Techno 2-ro (Migun Techno-World 1-cha), Yuseong-gu, Daejeon, 34025
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности -
Бесплатный
Статистика
Кол-во поверок - 5
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 0
Кол-во средств измерений - 4
Кол-во владельцев - 1
Усредненный год выпуска СИ - 2025
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№2327 от 2025.10.29 ПРИКАЗ_Об утверждении типов средств измерений (15)
Наличие аналогов СИ: Микроскопы сканирующие электронные измерительные (EM)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений COXEM Co., Ltd.
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
96755-25 29.10.2030 |
Микроскопы сканирующие электронные измерительные, EM COXEM Co., Ltd. (КОРЕЯ, РЕСПУБЛИКА #201 199, Techno 2-ro (Migun Techno-World 1-cha), Yuseong-gu, Daejeon, 34025) |
ОТ МП |
1 год |
В сводной таблице приведены краткие сведения и ссылки на справочные отчеты по организациям, аккредитованным на право поверки в Национальной системе аккредитации. В таблице реализована функция поиска и система сортировок по любой из колонок.
Справочный отчет по каждой организации содержит следующую информацию:
1. Сведения об испытательной лаборатории, включающие наименование, статусы организации, виды полномочий, перечень мест осуществления деятельности, географическую привязку, регистрационные данные и данные о руководителе организации. Общие данные об объёмах поверки за текущий год.
2. Данные об оснащенности организации средствами поверки: СИ, СО, эталонами, ГЭТ и т.д.
3. Описание области специализации организации, содержащей сведения о типах СИ и поверках за последний год.
4. Данные о поверках и поверяемых типах СИ за последние 4 года с разбивкой на первичную и периодическую поверки.
5. Сведения о распределении поверок по видам измерений в динамике по годам.
6. Информация о том, на чем зарабатывает организация (за год - последние 365 дней)
7. Перечень контрагентов организации за последние пол года.
Бесплатный
Кто поверяет Микроскопы сканирующие электронные измерительные (EM)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2026 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 5 | 2 | 5 | 0 | 0 | 5 | 5 | 0 |
Стоимость поверки Микроскопы сканирующие электронные измерительные (EM)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Управление микроскопом осуществляется с помощью ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (далее - ПО).
Программное обеспечение предназначено для управления микроскопом, составления измерительных программ, обработки результатов измерений и не может быть использовано отдельно от микроскопа.
Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО:
|
Nanostation NS |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО
|
5.0.0 и выше 4.1.6 и выше |
Уровень защиты ПО соответствует уровню «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на лицевую панель модуля получения изображений в виде наклейки и на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийприведены в документе «Микроскопы сканирующие электронные измерительные EM. Руководство по эксплуатации», раздел 4 «Измерение линейных размеров».
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к средству измерений Государственная поверочная схема для средств измерения длины в диапазоне от 10-9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм, утвержденная приказом Росстандарта от 29.12.2018 № 2840.
Правообладатель
|
34025 |
Фирма «COXEM Co., Ltd.», Республика Корея Адрес: #201 199, Techno 2-ro (Migun Techno-World 1-cha), Yuseong-gu, Daejeon, KOREA Тел.: +82-42-861-1686, факс: +82-42-861-1689 E-mail: overseas@coxem.com Сайт: www.coxem.com |
Изготовитель
не осуществляет пломбирование микроскопов. Заводской номер в буквенно-цифровом формате и год изготовления нанесены типографским способом на шильдик, закрепленный на задней панели модуля получения изображений. Нанесение знака поверки на микроскоп не предусмотрено. Общий вид микроскопов и место нанесения знака утверждения типа приведены на рисунках 1 и 2.
Рисунок 2 - Общий вид модуля получения изображений микроскопов модификаций EM-30N+ и EM-30AXN+место нанесения
знака утверждения
типа
Рисунок 1 - Общий вид модуля получения изображений микроскопов модификации EM-40Место установки шильдика с заводским номером микроскопов модификации EM-40 и модификаций EM-30N+, EM-30AXN+ приведено на рисунках 3а и 3б соответственно.
а)б)
место установки шильдика с заводским номером
Рисунок 3 - Место установки шильдика с заводским номером микроскопов модификации EM-40 (а) и модификаций EM-30N+, EM-30AXN+ (б)
Программное обеспечение Управление микроскопом осуществляется с помощью ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (далее - ПО).
Программное обеспечение предназначено для управления микроскопом, составления измерительных программ, обработки результатов измерений и не может быть использовано отдельно от микроскопа.
Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
Идентификационное наименование ПО:
|
Nanostation NS |
Номер версии (идентификационный номер) ПО
|
5.0.0 и выше 4.1.6 и выше |
Метрологические и технические характеристики Таблица 2 - Метрологические характеристики_____
|
Наименование характеристики |
Значение | |
|
EM-40 |
EM-30N+ EM-30AXN+ | |
|
Диапазон измерений линейных размеров, мкм |
от 0,2 до 1000 | |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, % |
±4 |
±6 |
|
Энергетическое разрешение энергодисперсионного спектрометра* на линии Ка марганца, эВ, не более |
129 | |
|
* - для модификации EM-30AXN+ и опционально для модификации EM-40 | ||
|
Наименование характеристики |
Значение | |
|
EM-40 |
EM-30N+ EM-30AXN+ | |
|
Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ |
от 1 до 30 | |
|
Шаг регулировки ускоряющего напряжения, кВ, не более |
1 | |
|
Диапазон определяемых элементов* |
от В до Cf | |
|
Пространственное разрешение, нм, не более |
5 | |
|
Максимальное электронно-оптическое увеличение, крат |
150000 | |
|
Максимальное цифровое увеличение, крат |
250000 |
150000 |
|
Диапазон перемещений предметного столика по осям X, Y, мм, не менее |
40х40 |
35х35 |
|
Диапазон перемещений предметного столика по оси Z, мм, не менее |
40 |
- |
|
Максимальный размер образца в плоскости X, Y, мм |
80 |
70 |
|
Масса, включая все комплектующие, кг, не более |
95 | |
|
Габаритные размеры основных составных частей (ширинах глубина хвысота), мм, не более: -модуль получения изображений -форвакуумный насос |
315х560х580 300х200х150 |
400х600х550 300х200х150 |
|
Потребляемая мощность, В^А, не более |
15 |
о о |
|
Напряжение питания от однофазной сети переменного тока, В |
от 207 до 253 | |
Условия эксплуатации:
|
от +15 до +25 от 10 до 70 | |
|
* - для модификации EM-30AXN+ и опционально для модификации EM-40 | ||
Комплектность средства измерений Таблица 4 - Комплектность средства измерений
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Микроскоп сканирующий электронный измерительный |
EM-40 (либо EM-30N+, EM-30AXN+) |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации |
- |
1 шт. |
|
Методика поверки |
- |
1 шт. |
Нормативные документы, устанавливающие требования к средству измерений Государственная поверочная схема для средств измерения длины в диапазоне от 10-9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм, утвержденная приказом Росстандарта от 29.12.2018 № 2840.
Правообладатель
|
34025 |
Фирма «COXEM Co., Ltd.», Республика Корея Адрес: #201 199, Techno 2-ro (Migun Techno-World 1-cha), Yuseong-gu, Daejeon, KOREA Тел.: +82-42-861-1686, факс: +82-42-861-1689 E-mail: overseas@coxem.com Сайт: www.coxem.com |
Адрес: #201 199, Techno 2-ro (Migun Techno-World 1-cha), Yuseong-gu, Daejeon, KOREA 34025
Тел.: +82-42-861-1686, факс: +82-42-861-1689
E-mail: overseas@coxem.com
Сайт: www.coxem.com
Испытательный центр
Акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума»(АО «НИЦПВ)
Тел./Факс: (495) 935-97-77
E-mail: mail@nicpv.ru
Правообладатель
|
34025 |
Фирма «COXEM Co., Ltd.», Республика Корея Адрес: #201 199, Techno 2-ro (Migun Techno-World 1-cha), Yuseong-gu, Daejeon, KOREA Тел.: +82-42-861-1686, факс: +82-42-861-1689 E-mail: overseas@coxem.com Сайт: www.coxem.com |
Принцип действия микроскопов основан на сканировании сфокусированным пучком ускоренных электронов поверхности исследуемого объекта, детектировании вторичных электронов для формирования изображения на экране персонального компьютера синхронно с разверткой электронного пучка. Отношение размера изображения на экране к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.
Микроскоп представляет собой настольную автоматизированную многофункциональную измерительную систему.
Микроскоп состоит из модуля получения изображений, отдельного форвакуумного насоса, персонального компьютера, имеющего специализированное программное обеспечение для управления микроскопом.
Измерительный блок включает электронно-оптическую систему (колонну) с электронной пушкой, оснащенной вольфрамовым катодом, камеру образцов, высоковольтный блок, формирующий ускоряющее напряжение в диапазоне от 1 до 30 кВ, блок электроники, турбомолекулярный насос, детекторы вторичных (ВЭ) и обратнорассеянных (ОРЭ) электронов. Встроенная оптическая навигационная камера позволяет оперативно находить место для анализа на исследуемом образце.
Вакуумная система микроскопа обеспечивает остаточное давление менее 10-2 Па в режиме высокого вакуума (High Vacuum) и остаточное давление в камере образцов в диапазоне от 10 до 30 Па в режиме низкого вакуума (Low Vacuum) для наблюдения непроводящих объектов.
Микроскопы выпускаются в следующих модификациях: EM-40, EM-30AXN+, EM-30N+, которые различаются в основном конструкцией предметного столика и наличием энергодисперсионного рентгеновского спектрометра для локального электронно-зондового элементного анализа (модификация EM-30AXN+). Энергодисперсионный рентгеновский спектрометр для модификации EM-40 поставляется опционально.
Режимы работы микроскопа устанавливаются пользователем с помощью программного обеспечения управляющей ПЭВМ.
Изготовитель не осуществляет пломбирование микроскопов. Заводской номер в буквенно-цифровом формате и год изготовления нанесены типографским способом на шильдик, закрепленный на задней панели модуля получения изображений. Нанесение знака поверки на микроскоп не предусмотрено. Общий вид микроскопов и место нанесения знака утверждения типа приведены на рисунках 1 и 2.
Рисунок 2 - Общий вид модуля получения изображений микроскопов модификаций EM-30N+ и EM-30AXN+
место нанесения
знака утверждения
типа
Рисунок 1 - Общий вид модуля получения изображений микроскопов модификации EM-40
Место установки шильдика с заводским номером микроскопов модификации EM-40 и модификаций EM-30N+, EM-30AXN+ приведено на рисунках 3а и 3б соответственно.
а)
б)
место установки шильдика с заводским номером
Рисунок 3 - Место установки шильдика с заводским номером микроскопов модификации EM-40 (а) и модификаций EM-30N+, EM-30AXN+ (б)
Таблица 2 - Метрологические характеристики_____
|
Наименование характеристики |
Значение | |
|
EM-40 |
EM-30N+ EM-30AXN+ | |
|
Диапазон измерений линейных размеров, мкм |
от 0,2 до 1000 | |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, % |
±4 |
±6 |
|
Энергетическое разрешение энергодисперсионного спектрометра* на линии Ка марганца, эВ, не более |
129 | |
|
* - для модификации EM-30AXN+ и опционально для модификации EM-40 | ||
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение | |
|
EM-40 |
EM-30N+ EM-30AXN+ | |
|
Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ |
от 1 до 30 | |
|
Шаг регулировки ускоряющего напряжения, кВ, не более |
1 | |
|
Диапазон определяемых элементов* |
от В до Cf | |
|
Пространственное разрешение, нм, не более |
5 | |
|
Максимальное электронно-оптическое увеличение, крат |
150000 | |
|
Максимальное цифровое увеличение, крат |
250000 |
150000 |
|
Диапазон перемещений предметного столика по осям X, Y, мм, не менее |
40х40 |
35х35 |
|
Диапазон перемещений предметного столика по оси Z, мм, не менее |
40 |
- |
|
Максимальный размер образца в плоскости X, Y, мм |
80 |
70 |
|
Масса, включая все комплектующие, кг, не более |
95 | |
|
Габаритные размеры основных составных частей (ширинах глубина хвысота), мм, не более: -модуль получения изображений -форвакуумный насос |
315х560х580 300х200х150 |
400х600х550 300х200х150 |
|
Потребляемая мощность, В^А, не более |
15 |
о о |
|
Напряжение питания от однофазной сети переменного тока, В |
от 207 до 253 | |
|
Условия эксплуатации:
|
от +15 до +25 от 10 до 70 | |
|
* - для модификации EM-30AXN+ и опционально для модификации EM-40 | ||