Номер по Госреестру СИ: 96652-25
96652-25 Стенд измерительный для больших и сверхбольших интегральных схем
(V93000 Pin Scale 1600/CTH)
Назначение средства измерений:
Стенд измерительный для больших и сверхбольших интегральных схем V93000 Pin Scale 1600/CTH (далее - стенд) предназначен для воспроизведения и измерения напряжения, силы электрического тока, временных интервалов и производных от них параметров больших и сверхбольших интегральных микросхем (далее - СБИС или объект контроля), контролируемых в процессе их комплексной автоматизированной проверки при проведении испытаний на пластине, в корпусе и в бескорпусном исполнении методами параметрических измерений и функционального контроля.
Внешний вид.
Стенд измерительный для больших и сверхбольших интегральных схем
Рисунок № 1
Внешний вид.
Стенд измерительный для больших и сверхбольших интегральных схем
Рисунок № 2
Общие сведения
Дата публикации - 17.10.2025
Срок свидетельства -
Номер записи - 235280dc-2542-6b20-6009-dca627d754e0
ID в реестре СИ - 1427084
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
V93000 Pin Scale 1600/CTH,
Производитель
Изготовитель - Advantest PTE, Ltd
Страна - МАЛАЙЗИЯ
Населенный пункт - Plot 88A Lintang Bayan Lepas 9, Bayan Lepas, Penang 11900
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности -
Отчет "V_21. Поверка по организации в динамике по месяцам" полезен для оценки объёмов количества поверок, проводимых аккредитованной организацией. Отчет строится в динамике по месяцам и представлен тремя графиками. Графики являются интерактивными с возможностью масштабирования и экспорта в сторонние программы. В зависимости от выбранного графика приводятся объёмы поверок (все поверки, периодические поверки, извещения о непригодности) по месяцам, конкретной организации или группы организаций.
Для справки в шапке отчета приводится усредненная статистика по запросу:
- максимальное количество поверок за день
- среднее количество поверок в месяц и год
- количество месяцев (в выбранном временном интервале)
- количество годов (в выбранном временном интервале)
- общее количество поверок за выбранный период
Для построения отчета необходимо предварительно сконфигурировать два параметра его отображения:
1- Выбрать интересующим временной интервал (в БД имеются данные начиная с 2010 г.)
2- Выбрать аккредитованную на поверку организацию (несколько организаций) из списка СИ (выпадающий список позволяет делать множественный выбор). Существование дубликатов организаций вызвано разницей в написании наименований и преобразовании форм собственности организаций за все время ведения федерального фонда. Для удобства выбора в скобках указано общее кол-во поверок в системе, приходящееся на конкретного поверителя.
Статистика
Кол-во поверок - 1
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 0
Кол-во средств измерений -
Кол-во владельцев -
Усредненный год выпуска СИ -
МПИ по поверкам - дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№2226 от 2025.10.16 ПРИКАЗ_Об утверждении типов средств измерений (17)
Наличие аналогов СИ: Стенд измерительный для больших и сверхбольших интегральных схем (V93000 Pin Scale 1600/CTH)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Advantest PTE, Ltd
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
96652-25 |
Стенд измерительный для больших и сверхбольших интегральных схем, V93000 Pin Scale 1600/CTH Advantest PTE, Ltd (МАЛАЙЗИЯ Plot 88A Lintang Bayan Lepas 9, Bayan Lepas, Penang 11900) |
ОТ МП |
1 год |
Отчет представляет собой интерактивную карту России с нанесенными на нее маркерами и цифрами, обозначающими города и количество организаций аккредитованных на поверку и осуществляющих деятельность в указанном городе.
По каждой из организаций дополнительно на карте приводится информация: наименование организации, номер в РАЛ ФСА, адрес места осуществления деятельности, телефон и электронная почта при наличии.
Дополнительно, отчет сопровождается справочной таблицей, содержащей информацию о количестве поверок, месте регистрации (город, регион, округ), ИНН организации, номер в РАЛ ФСА, полное и сокращенное наименования организации.
В отчете имеется возможность загрузить сырые данные для их самостоятельной обработки.
Бесплатный
Кто поверяет Стенд измерительный для больших и сверхбольших интегральных схем (V93000 Pin Scale 1600/CTH)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2026 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| АО "АКТИ-МАСТЕР" (RA.RU.311666) | 1 | 1 | 0 | 0 | 1 | 1 | 0 |
Стоимость поверки Стенд измерительный для больших и сверхбольших интегральных схем (V93000 Pin Scale 1600/CTH)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Программное обеспечение стенда, установленное на управляющую ПЭВМ, служит для управления режимами работы и отображения результатов измерений, его метрологически значимая часть выполняет функции обработки, представления, записи и хранения измерительной информации.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «низкий» по рекомендации Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование |
SmarTest |
|
Номер версии (идентификационный номер) |
не ниже 7.2.3.4 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа и знак поверки наносятся на лицевую панель измерительного головного блока в виде самоклеющихся этикеток.
Место для нанесения пломбы в виде стикера-наклейки
Место нанесения знака поверки
Место нанесения Знака утверждения типа
Рисунок 1 - Общий вид Стенда измерительного для больших и сверхбольших интегральных схем V93000 Pin Scale 1600/CTH
ADVANTEST
Made In
EBOOOY-ATO
CID927029
МУ04607435*
ADVANTEST
Ё8014А
049 jp 229
Заводской номер
Рисунок 2 - Фрагмент задней панели измерительного головного блока стенда
Программное обеспечениеПрограммное обеспечение стенда, установленное на управляющую ПЭВМ, служит для управления режимами работы и отображения результатов измерений, его метрологически значимая часть выполняет функции обработки, представления, записи и хранения измерительной информации.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «низкий» по рекомендации Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование |
SmarTest |
|
Номер версии (идентификационный номер) |
не ниже 7.2.3.4 |
Метрологические и основные технические характеристики стенда представлены в таблицах 2, 3.
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование |
Значение |
|
1 |
2 |
|
Диапазон установки длительности Т вектора тестовой последовательности, нс |
от 2,5 до 31250 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки длительности вектора тестовой последовательности, нс |
±15^10"6-Т |
|
Диапазон установки временных меток формирования выходных импульсов D1-D8, стробирующих импульсов R1-R8, нс |
от -4-Т до +12-Т |
|
Крайние значения временных меток, мкс |
-6,3; +19 |
|
Разрешение временных меток, пс |
1 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки временных меток D1-D8 и R1-R8, пс |
±150 |
|
1 |
2 |
|
Длительность фронта (спада) выходных импульсов драйвера, нс, не более: при амплитуде 1,0 В (по уровням 10 и 90 %) |
0,6 |
|
при амплитуде 1,8 В (по уровням 10 и 90 %) |
0,7 |
|
при амплитуде 3,0 В (по уровням 10 и 90 %) |
0,8 |
|
Минимальная длительность выходных импульсов драйвера, нс при амплитуде 1,0 В |
0,7 |
|
при амплитуде 1,8 В |
0,8 |
|
при амплитуде 3,0 В |
0,9 |
|
Длительность фронта выходных импульсов широкодиапазонного драйвера, нс, не более при амплитуде 3,0 В (по уровням 20 и 80 %) |
9 |
|
при амплитуде 10,0 В (по уровням 20 и 80 %) |
250 |
|
Длительность спада выходных импульсов широкодиапазонного драйвера, нс, не более при амплитуде 3,0 В (по уровням 20 и 80 %) |
10,5 |
|
при амплитуде 10,0 В (по уровням 20 и 80 %) |
30 |
|
Диапазон воспроизводимых уровней напряжения драйвера, В |
от -1,5 до +6,5 |
|
Разрешение напряжения драйвера, мВ |
1 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения уровней напряжения драйвера, мВ |
±5 |
|
Выходное сопротивление драйвера, Ом |
от 47,5 до 52,5 |
|
Диапазон воспроизводимых уровней напряжения широкодиапазонного драйвера, В диапазон VIL/VIH |
от 0 до 6,5 |
|
диапазон VHH |
от 6 до 13,4 |
|
Разрешение широкодиапазонного драйвера, мВ |
1 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения широкодиапазонного драйвера, мВ |
±15 |
|
Выходное сопротивление широкодиапазонного драйвера, Ом при уровнях напряжения от 0 до 6,5 В |
от 45 до 55 |
|
при уровнях напряжения от 6 до 13,4 В |
не более 10 |
|
Диапазон установки уровней напряжения компаратора и допустимых уровней напряжения на входах компаратора, В |
от -1,5 до +6,5 |
|
Разрешение по напряжению компаратора, мВ |
1 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения компаратора, мВ |
±15 |
|
Диапазон установки уровней напряжения широкодиапазонного компаратора и допустимых уровней напряжения на входах широкодиапазонного компаратора, В |
от -3 до +13,4 |
|
Разрешение по напряжению широкодиапазонного компаратора, мВ |
1 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения широкодиапазонного компаратора, мВ при уровнях напряжения от 0 до 8 В |
±20 |
|
при уровнях напряжения от -3,0 до +13,4 В |
±50 |
|
1 |
2 |
|
Диапазон допустимых уровней напряжения на входах дифференциального компаратора, В |
от -1,5 до +6,5 |
|
Диапазон установки уровней напряжения дифференциального компаратора, В |
от -1 до +1 |
|
Разрешение по напряжению дифференциального компаратора, мВ |
1 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения дифференциального компаратора, мВ |
±15 |
|
Диапазон воспроизведения силы тока активной нагрузки (суммарный ток каналов платы PS 1600 не более 1,6 А), мА |
от -25 до +25 |
|
Разрешение силы тока активной нагрузки, мкА |
12,5 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока активной нагрузки, где I - сила тока, мкА |
±(1-10’2-I+75 мкА) |
|
Диапазон напряжения переключения, изменяющего направление тока в нагрузке, В при силе тока в пределах ±1 мА |
от -1,5 до +6,5 |
|
при силе тока в пределах ±25 мА |
от -1 до +5,5 |
|
Диапазон воспроизведения и измерения постоянного напряжения источника-измерителя PMU, В при силе тока в пределах ±1 мА |
от -2 до +6,5 |
|
при силе тока в пределах ±40 мА |
от -2 до +5,75 |
|
Разрешение по напряжению источника-измерителя PMU, мкВ при воспроизведении напряжения |
200 |
|
при измерении напряжения |
75 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения постоянного напряжения источника-измерителя PMU, где I - сила тока нагрузки, мА, при воспроизведении напряжения |
±(3 мВ+Н Ом) |
|
измерении напряжения от 0 до +3,3 В |
±(2 мВ+Н Ом) |
|
измерении напряжения от -2,0 до 0 и от +3,3 до +6,5 В |
±(4 мВ+Н Ом) |
|
Верхние пределы диапазонов воспроизведения и измерения силы постоянного тока источника-измерителя PMU (суммарная сила тока каналов платы PS 1600 не более 1,6 А) |
2, 10, 100 мкА, 1, 40 мА |
|
Разрешение воспроизведения и измерения силы тока источника-измерителя PMU на пределе диапазона: 2 мкА |
1 нА |
|
10 мкА |
5 нА |
|
100 мкА |
50 нА |
|
1 мА |
0,5 мкА |
|
40 мА |
20 мкА |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока источника-измерителя PMU, где I - сила тока, мкА, на пределе диапазона: 2 мкА |
±(540-М+0,04 мкА) |
|
10 мкА |
±(5Н0-М+0,1 мкА) |
|
100 мкА |
±(5-10’3-I+0,5 мкА) |
|
1 мА |
±(5-10’3-I+5 мкА) |
|
40 мА |
±(5-10’3-!+50 мкА) |
|
1 |
2 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы постоянного тока источника-измерителя PMU, где I - сила тока, мкА, на пределе диапазона: 2 мкА 10 мкА 100 мкА 1 мА 40 мА |
±(5-10’3-I+0,01 мкА) ±(5- 10-М+0,05 мкА) ±(5-10’3-I+0,2 мкА) ±(5-10’3-I+1,25 мкА) ±(5-10’3-I+50 мкА) |
|
Диапазон измерений постоянного напряжения АЦП BADC, В в стандартном режиме в широкодиапазонном режиме |
от -3 до +8 от -6 до +13,4 |
|
Входное сопротивление АЦП BADC, МОм, не менее |
100 |
|
Разрешение по напряжению АЦП BADC, мкВ в стандартном режиме в широкодиапазонном режиме |
75 150 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений постоянного напряжения АЦП BADC, мВ в стандартном режиме в широкодиапазонном режиме |
±1 ±10 |
|
Диапазон воспроизведения и измерения постоянного напряжения прецизионного источника-измерителя HPPMU, В при подключении через плату PS1600 при подключении через разъем UTILITY pogo block |
от -1,5 до +6 от -5 до +8 |
|
Разрешение по напряжению источника-измерителя HPPMU, мкВ |
250 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения постоянного напряжения источника-измерителя HPPMU, где I - сила тока нагрузки, мА, при подключении через плату PS1600 через разъем UTILITY pogo block |
±(2 мВ+Ы Ом) ±2 мВ |
|
Верхние пределы диапазонов воспроизведения и измерения силы постоянного тока источника-измерителя HPPMU |
5; 200 мкА; 5; 200 мА |
|
Разрешение воспроизведения и измерения силы тока источника-измерителя HPPMU на пределе диапазона: 5 мкА 200 мкА 5 мА 200 мА |
250 пА 6 нА 250 нА 6 мкА |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения силы постоянного тока источника-измерителя HPPMU, где I - сила тока, мкА, на пределе диапазона: 5 мкА через плату PS1600 5 мкА через разъем UTILITY pogo block 200 мкА 5 мА 200 мА |
±(1-10’3-I+0,05 мкА) ±(l40-M+0,01 мкА) ±(1<0-М+0,2 мкА) ±(Г10-3^1+10 мкА) ±(1<0-М+200 мкА) |
|
1 |
2 |
|
Диапазон воспроизведения и измерения постоянного напряжения измерительного источника питания DCS DPS 128, В |
от -2,5 до +7 |
|
Разрешение воспроизведения и измерения постоянного напряжения DCS DPS 128, мкВ |
200 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения постоянного напряжения DCS DPS 128, мВ |
±3 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений постоянного напряжения DCS DPS 128, мВ |
±2 |
|
Максимальная сила тока в нагрузке одного канала DCS DPS128 при воспроизведении напряжения, А до 2,5 В |
1 |
|
до 7 В |
0,5 |
|
Верхние пределы диапазонов воспроизведения, измерения и |
12,5; 25; 125; 250 мкА; |
|
ограничения силы постоянного тока одного канала DCS DPS128 |
1,25; 2,5; 12,5; 25; 100; |
|
200 мА; 1 А | |
|
Разрешение воспроизведения, измерения и ограничения силы постоянного тока одного канала DCS DPS128 на пределе: | |
|
12,5 мкА |
0,5 нА |
|
25 мкА |
1 нА |
|
125 мкА |
5 нА |
|
250 мкА |
10 нА |
|
1,25 мА |
50 нА |
|
2,5 мА |
100 нА |
|
12,5 мА |
0,5 мкА |
|
25 мА |
1 мкА |
|
100 мА |
5 мкА |
|
200 мА |
10 мкА |
|
1 А |
50 мкА |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока одного канала DCS DPS128, где I - сила тока, мкА, на пределе диапазона: | |
|
12,5 мкА в диапазоне от 2,5 до 12,5 мкА включ. |
±(2<0-М+0,12 мкА) |
|
25 мкА в диапазоне от 5 до 25 мкА включ. |
±(2<0-М+0,12 мкА) |
|
125 мкА в диапазоне от 25 до 125 мкА включ. |
±(2- 10-3П+0,75 мкА) |
|
250 мкА в диапазоне от 50 до 250 мкА включ. |
±(2- 10-3П+0,75 мкА) |
|
1,25 мА в диапазоне от 0,25 до 1,25 мА включ. |
±(2-10’3-I+7,5 мкА) |
|
2,5 мА в диапазоне от 0,5 до 2,5 мА включ. |
±(2-10’3-I+7,5 мкА) |
|
12,5 мА в диапазоне от 2,5 до 12,5 мА включ. |
±(2-10’3-I+75 мкА) |
|
25 мА в диапазоне от 5 до 25 мА включ. |
±(2-10’3-I+75 мкА) |
|
100 мА в диапазоне от 20 до 100 мА включ. |
±(240-М+600 мкА) |
|
200 мА в диапазоне от 40 до 200 мА включ. |
±(240-М+600 мкА) |
|
1 А в диапазоне от 0,2 до 1 А включ. |
±(2П0-М+3000 мкА) |
|
1 |
2 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока одного канала DCS DPS128, где I - сила тока, мкА, на пределе диапазона:
25 мкА 125 мкА 250 мкА 1,25 мА
12,5 мА 25 мА 100 мА 200 мА 1 А |
±(2^10-М+0,05 мкА) ±(2^10-М+0,05 мкА) ±(П10-М+О,25 мкА) ±(П10-М+О,25 мкА) ±(П10-3П+2,5 мкА) ±(п10-3Н+2,5 мкА) ±(П10-3П+25 мкА) ±(п10-3Н+25 мкА) ±(П10-М+250 мкА) ±(П10-М+25О мкА) ±(П10-3П+1000 мкА) |
|
Допускаемая абсолютной погрешность ограничения силы постоянного тока одного канала DCS DPS128 на пределе диапазона:
125 мкА в диапазоне от 25 до 125 мкА включ. 250 мкА в диапазоне от 50 до 250 мкА включ. 1,25 мА в диапазоне от 0,25 до 1,25 мА включ.
100 мА в диапазоне от 20 до 100 мА включ. 200 мА в диапазоне от 40 до 200 мА включ. 1 А в диапазоне от 0,2 до 1 А включ. |
от -0,38 до +0,63 мкА от -0,75 до +1,25 мкА от -3,75 до +6,25 мкА от -7,5 до +12,5 мкА от -37,5 до +62,5 мкА от -75 до +125 мкА от -375 до +625 мкА от -750 до +1250 мкА от -3000 до +5000 мкА от -6000 до +10000 мкА от -30000 до +50000 мкА |
|
Верхние пределы диапазона воспроизведения, измерения и ограничения силы тока группы объединённых каналов DCS DPS128, где n - количество объединённых в группу каналов, А |
п-1 |
|
Разрешение воспроизведения, измерения и ограничения силы тока группы объединённых каналов DCS DPS128, где n - количество объединённых в группу каналов, мкА |
п^50 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока группы объединённых каналов DCS DPS128 в диапазоне силы тока от (n^0,2) до (irl) А, где I - сила тока, мА, n -количество объединённых в группу каналов; мА |
±(2-10’3-I+n-3) |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока группы объединённых каналов DCS DPS128, где I - сила тока, мА, n - количество объединённых в группу каналов; мА |
±(П10-3П+п) |
|
Допускаемая абсолютная погрешность ограничения силы тока группы объединенных каналов DCS DPS128 в диапазоне силы тока от (n^0,2) до (irl) А, где I - сила тока, мА, n - количество объединённых в группу каналов; мА |
от -3^10-М до +540-2 •I |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Параметры электрического питания: - напряжение питания трёхфазного переменного тока, В |
от 360 до 440 |
|
- номинальная частота переменного тока, Гц |
50 |
|
Мощность потребления, кВ^А, не более |
15 |
|
Габаритные размеры (высота х ширина х глубина), мм, не более: - головной измерительный блок с манипулятором |
1887х1820х1859 |
|
- установка водяного охлаждения |
832x363x815 |
|
Масса, кг, не более: - головной измерительный блок с манипулятором |
1260 |
|
- установка водяного охлаждения |
81 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, °С |
от +20 до +30 |
|
- относительная влажность, % |
от 30 до 70 |
|
- атмосферное давление, кПа |
от 84 до 106 |
Таблица 4 - Показатели надежности
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Средний срок службы, лет |
5 |
|
Средняя наработка на отказ, ч |
20000 |
наносится на боковую панель корпуса измерительного головного блока стенда в виде наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в разделе 3 «Методики (методы) измерений электрических параметров и функционального контроля» руководства по эксплуатации, АО «ПКК «Миландр», 2025 г.
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к средству измеренийПриказ Росстандарта от 28.07.2023 г. № 1520 «Об утверждении государственной поверочной схемы для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы»;
Приказ Росстандарта от 01.10.2018 г. № 2091 «Об утверждении государственной поверочной схемы для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне от П10-16 до 100 А»;
Приказ Росстандарта от 26.09.2022 г. № 2360 «Об утверждении государственной поверочной для средств измерений времени и частоты».
ПравообладательКомпания “Advantest PTE, Ltd”, Малайзия
Адрес: Plot 88A Lintang Bayan Lepas 9, Bayan Lepas, Penang 11900, Malaysia
Испытательный центр
Акционерное общество «АКТИ-Мастер»(АО «АКТИ-Мастер»)
Адрес: 127206, Москва, проезд Соломенной Сторожки, дом 5, корп.1, помещ. 1Н
Телефон (факс): +7(495) 926-71-85
E-mail: post@actimaster.ru
К стендам данного типа относится Стенд измерительный для больших и сверхбольших интегральных схем V93000 Pin Scale 1600/CTH с зав. № MY04607435.
Принцип работы стенда основан на методах функционального контроля (далее - ФК) и параметрических измерений испытуемых СБИС.
Для выполнения параметрических измерений СБИС в составе стенда предусмотрены источники-измерители сигналов и измерительные источники питания, при этом на объект контроля подается заданное значение постоянного напряжения и/или силы тока и измеряется соответствующее значение напряжения и/или силы постоянного тока.
В режиме параметрических измерений используется источник-измеритель PMU или прецизионный источник-измеритель HPPMU в режиме воспроизведения напряжения и измерения силы тока или в режиме воспроизведения силы тока и измерения напряжения. Параметры источника-измерителя задаются независимо для каждого канала. Для формирования требуемых параметров питания СБИС предназначены измерительные источники питания DCS DPS128.
Для выполнения ФК в стенде предусмотрена подсистема универсальных измерительных каналов, которая выполняет формирование входного набора сигналов, подаваемых на выводы испытуемой СБИС, прием откликов (выходного набора сигналов) от СБИС и их сравнение с ожидаемыми данными. Формирование входного набора сигналов производится генератором тестовой последовательности или алгоритмическим генератором тестов и драйверами универсальных измерительных каналов в соответствии с заранее определенной пользователем программой контроля. Выходной набор сигналов от объекта контроля преобразуется компараторами универсальных измерительных каналов в цифровой код, после чего производится его сравнение с ожидаемыми данными одновременно с отображением результатов контроля.
В режиме ФК каждый измерительный канал выполняет измерения параметров СБИС в определенной тестовой последовательности. Частота смены векторов тестовой последовательности (далее - ТП) может быть повышена до 1600 Мбит/с при минимальной длительности вектора ТП 2,5 нс путем задания до 8 временных меток, формирующих до 4 выходных импульсов драйвера, и до 8 временных меток, в свою очередь, формирующих 8 стробирующих импульсов компараторов канала. Максимальная длина ТП составляет 112 Мбайт векторов в линейном режиме. Во всем диапазоне частот каждый канал может быть скомпонован в следующие режимы: формирование ТП, контроль ожидаемых состояний, двунаправленный режим. В двунаправленном режиме каждый канал может переключаться из режима формирования ТП в режим контроля и обратно в любых векторах ТП.
Для формирования ТП в виде импульсов с регулируемыми параметрами на входе объекта контроля используется драйвер универсального измерительного канала. Параметры ТП по амплитуде, положению фронтов и спадов импульсов на оси времени внутри вектора ТП задаются независимо для каждого канала. Амплитуда импульса определяется значениями напряжения двух уровней драйвера: верхним и нижним уровнем. Положения фронтов и спадов импульса определяется временными метками общим количеством до 8.
Для контроля ожидаемых состояний в виде последовательности импульсов используются компараторы. Параметры компараторов (верхний и нижний уровни напряжения, время контроля) задаются независимо для каждого канала. Временные интервалы контроля уровней напряжения определяются метками (общим количеством до 8), формирующими стробирующие импульсы компаратора.
Для формирования токов положительной и отрицательной полярности на выходах объекта контроля используется активная нагрузка канала. Параметры активной нагрузки по силе тока, уровням напряжения переключения полярности тока и режимы работы задаются независимо для каждого канала. При работе в динамическом режиме активная нагрузка автоматически отключается при переходе канала в режим формирования ТП, и включается в режиме контроля. В статическом режиме активная нагрузка включена постоянно. Динамический режим применяется для каналов, сконфигурированных в двунаправленный режим. Статический режим применяется только для каналов, сконфигурированных в режим контроля ожидаемых состояний.
Методы ФК и параметрических измерений реализуются с помощью программы контроля, создаваемой пользователем для каждого типономинала микросхемы. Создание, редактирование и исполнение программы контроля производятся средствами специализированного программного обеспечения, входящего в комплект поставки стенда.
Конструктивно стенд выполнен в виде измерительного головного блока, имеющего вариант исполнения CTH (Compact test head), манипулятора, установки водяного охлаждения и управляющей ПЭВМ. На верхнюю панель измерительного головного блока устанавливаются измерительная оснастка с объектом контроля или переходное устройство сопряжения с зондовой установкой. Общий вид стенда представлен на рисунке 1.
В состав измерительного головного блока входят следующие основные части:
- универсальные 128-ми канальные измерительные платы PS1600, количество до 16 шт., всего до 1024 универсальных измерительных каналов (каждый канал включает: драйвер, два компаратора, активную нагрузку, память векторов ТП, средства управления ТП, источник-измеритель PMU; на каналах 1, 17, 33, 49, 65, 81, 97 и 113 имеются широкодиапазонный драйвер и два широкодиапазонных компаратора; также для каждых 16 каналов имеется общий аналого-цифровой преобразователь BADC с большим входным сопротивлением, предназначенный для точного измерения напряжения);
- одноканальная плата прецизионного источника-измерителя напряжения и силы тока HPPMU, количество до 2 шт.;
- 64-х канальные платы измерительных источников питания DCS DPS128 (E8023CSH), количество до 16 шт.
Уникальный заводской номер с 10-значным цифробуквенным обозначением наносится в виде самоклеящейся этикетки, размещенной на задней панели измерительного головного блока. Фрагмент задней панели головного блока с этикеткой показан на рисунке 2.
В конструкции измерительного головного блока отсутствуют элементы подстройки и регулировки на панелях блока. Для ограничения несанкционированного доступа к внутренним частям и элементам производится пломбировка путем нанесения защитного стикера на лицевой панели измерительного головного блока. Знак утверждения типа и знак поверки наносятся на лицевую панель измерительного головного блока в виде самоклеющихся этикеток.
Место для нанесения пломбы в виде стикера-наклейки
Место нанесения знака поверки
Место нанесения Знака утверждения типа
Рисунок 1 - Общий вид Стенда измерительного для больших и сверхбольших интегральных схем V93000 Pin Scale 1600/CTH
ADVANTEST
Made In
EBOOOY-ATO
CID927029
МУ04607435*
ADVANTEST
Ё8014А
049 jp 229
Заводской номер
Рисунок 2 - Фрагмент задней панели измерительного головного блока стенда
приведена в таблице 5.
Таблица 5 - Комплектность стенда
|
Наименование |
Обозначение |
Количество, шт./экз. |
|
Измерительный головной блок |
E8014A |
1 |
|
Манипулятор |
E6979LU |
1 |
|
Установка водяного охлаждения |
E2760FAE |
1 |
|
Программа управляющая на компакт-диске |
SmarTest |
1 |
|
Управляющая ПЭВМ |
- |
1 |
|
Руководство по эксплуатации |
- |
1 |
Метрологические и основные технические характеристики стенда представлены в таблицах 2, 3.
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование |
Значение |
|
1 |
2 |
|
Диапазон установки длительности Т вектора тестовой последовательности, нс |
от 2,5 до 31250 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки длительности вектора тестовой последовательности, нс |
±15^10"6-Т |
|
Диапазон установки временных меток формирования выходных импульсов D1-D8, стробирующих импульсов R1-R8, нс |
от -4-Т до +12-Т |
|
Крайние значения временных меток, мкс |
-6,3; +19 |
|
Разрешение временных меток, пс |
1 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки временных меток D1-D8 и R1-R8, пс |
±150 |
|
1 |
2 |
|
Длительность фронта (спада) выходных импульсов драйвера, нс, не более: при амплитуде 1,0 В (по уровням 10 и 90 %) |
0,6 |
|
при амплитуде 1,8 В (по уровням 10 и 90 %) |
0,7 |
|
при амплитуде 3,0 В (по уровням 10 и 90 %) |
0,8 |
|
Минимальная длительность выходных импульсов драйвера, нс при амплитуде 1,0 В |
0,7 |
|
при амплитуде 1,8 В |
0,8 |
|
при амплитуде 3,0 В |
0,9 |
|
Длительность фронта выходных импульсов широкодиапазонного драйвера, нс, не более при амплитуде 3,0 В (по уровням 20 и 80 %) |
9 |
|
при амплитуде 10,0 В (по уровням 20 и 80 %) |
250 |
|
Длительность спада выходных импульсов широкодиапазонного драйвера, нс, не более при амплитуде 3,0 В (по уровням 20 и 80 %) |
10,5 |
|
при амплитуде 10,0 В (по уровням 20 и 80 %) |
30 |
|
Диапазон воспроизводимых уровней напряжения драйвера, В |
от -1,5 до +6,5 |
|
Разрешение напряжения драйвера, мВ |
1 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения уровней напряжения драйвера, мВ |
±5 |
|
Выходное сопротивление драйвера, Ом |
от 47,5 до 52,5 |
|
Диапазон воспроизводимых уровней напряжения широкодиапазонного драйвера, В диапазон VIL/VIH |
от 0 до 6,5 |
|
диапазон VHH |
от 6 до 13,4 |
|
Разрешение широкодиапазонного драйвера, мВ |
1 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения широкодиапазонного драйвера, мВ |
±15 |
|
Выходное сопротивление широкодиапазонного драйвера, Ом при уровнях напряжения от 0 до 6,5 В |
от 45 до 55 |
|
при уровнях напряжения от 6 до 13,4 В |
не более 10 |
|
Диапазон установки уровней напряжения компаратора и допустимых уровней напряжения на входах компаратора, В |
от -1,5 до +6,5 |
|
Разрешение по напряжению компаратора, мВ |
1 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения компаратора, мВ |
±15 |
|
Диапазон установки уровней напряжения широкодиапазонного компаратора и допустимых уровней напряжения на входах широкодиапазонного компаратора, В |
от -3 до +13,4 |
|
Разрешение по напряжению широкодиапазонного компаратора, мВ |
1 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения широкодиапазонного компаратора, мВ при уровнях напряжения от 0 до 8 В |
±20 |
|
при уровнях напряжения от -3,0 до +13,4 В |
±50 |
|
1 |
2 |
|
Диапазон допустимых уровней напряжения на входах дифференциального компаратора, В |
от -1,5 до +6,5 |
|
Диапазон установки уровней напряжения дифференциального компаратора, В |
от -1 до +1 |
|
Разрешение по напряжению дифференциального компаратора, мВ |
1 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения дифференциального компаратора, мВ |
±15 |
|
Диапазон воспроизведения силы тока активной нагрузки (суммарный ток каналов платы PS 1600 не более 1,6 А), мА |
от -25 до +25 |
|
Разрешение силы тока активной нагрузки, мкА |
12,5 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока активной нагрузки, где I - сила тока, мкА |
±(1-10’2-I+75 мкА) |
|
Диапазон напряжения переключения, изменяющего направление тока в нагрузке, В при силе тока в пределах ±1 мА |
от -1,5 до +6,5 |
|
при силе тока в пределах ±25 мА |
от -1 до +5,5 |
|
Диапазон воспроизведения и измерения постоянного напряжения источника-измерителя PMU, В при силе тока в пределах ±1 мА |
от -2 до +6,5 |
|
при силе тока в пределах ±40 мА |
от -2 до +5,75 |
|
Разрешение по напряжению источника-измерителя PMU, мкВ при воспроизведении напряжения |
200 |
|
при измерении напряжения |
75 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения постоянного напряжения источника-измерителя PMU, где I - сила тока нагрузки, мА, при воспроизведении напряжения |
±(3 мВ+Н Ом) |
|
измерении напряжения от 0 до +3,3 В |
±(2 мВ+Н Ом) |
|
измерении напряжения от -2,0 до 0 и от +3,3 до +6,5 В |
±(4 мВ+Н Ом) |
|
Верхние пределы диапазонов воспроизведения и измерения силы постоянного тока источника-измерителя PMU (суммарная сила тока каналов платы PS 1600 не более 1,6 А) |
2, 10, 100 мкА, 1, 40 мА |
|
Разрешение воспроизведения и измерения силы тока источника-измерителя PMU на пределе диапазона: 2 мкА |
1 нА |
|
10 мкА |
5 нА |
|
100 мкА |
50 нА |
|
1 мА |
0,5 мкА |
|
40 мА |
20 мкА |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока источника-измерителя PMU, где I - сила тока, мкА, на пределе диапазона: 2 мкА |
±(540-М+0,04 мкА) |
|
10 мкА |
±(5Н0-М+0,1 мкА) |
|
100 мкА |
±(5-10’3-I+0,5 мкА) |
|
1 мА |
±(5-10’3-I+5 мкА) |
|
40 мА |
±(5-10’3-!+50 мкА) |
|
1 |
2 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы постоянного тока источника-измерителя PMU, где I - сила тока, мкА, на пределе диапазона: 2 мкА 10 мкА 100 мкА 1 мА 40 мА |
±(5-10’3-I+0,01 мкА) ±(5- 10-М+0,05 мкА) ±(5-10’3-I+0,2 мкА) ±(5-10’3-I+1,25 мкА) ±(5-10’3-I+50 мкА) |
|
Диапазон измерений постоянного напряжения АЦП BADC, В в стандартном режиме в широкодиапазонном режиме |
от -3 до +8 от -6 до +13,4 |
|
Входное сопротивление АЦП BADC, МОм, не менее |
100 |
|
Разрешение по напряжению АЦП BADC, мкВ в стандартном режиме в широкодиапазонном режиме |
75 150 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений постоянного напряжения АЦП BADC, мВ в стандартном режиме в широкодиапазонном режиме |
±1 ±10 |
|
Диапазон воспроизведения и измерения постоянного напряжения прецизионного источника-измерителя HPPMU, В при подключении через плату PS1600 при подключении через разъем UTILITY pogo block |
от -1,5 до +6 от -5 до +8 |
|
Разрешение по напряжению источника-измерителя HPPMU, мкВ |
250 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения постоянного напряжения источника-измерителя HPPMU, где I - сила тока нагрузки, мА, при подключении через плату PS1600 через разъем UTILITY pogo block |
±(2 мВ+Ы Ом) ±2 мВ |
|
Верхние пределы диапазонов воспроизведения и измерения силы постоянного тока источника-измерителя HPPMU |
5; 200 мкА; 5; 200 мА |
|
Разрешение воспроизведения и измерения силы тока источника-измерителя HPPMU на пределе диапазона: 5 мкА 200 мкА 5 мА 200 мА |
250 пА 6 нА 250 нА 6 мкА |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения силы постоянного тока источника-измерителя HPPMU, где I - сила тока, мкА, на пределе диапазона: 5 мкА через плату PS1600 5 мкА через разъем UTILITY pogo block 200 мкА 5 мА 200 мА |
±(1-10’3-I+0,05 мкА) ±(l40-M+0,01 мкА) ±(1<0-М+0,2 мкА) ±(Г10-3^1+10 мкА) ±(1<0-М+200 мкА) |
|
1 |
2 |
|
Диапазон воспроизведения и измерения постоянного напряжения измерительного источника питания DCS DPS 128, В |
от -2,5 до +7 |
|
Разрешение воспроизведения и измерения постоянного напряжения DCS DPS 128, мкВ |
200 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения постоянного напряжения DCS DPS 128, мВ |
±3 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений постоянного напряжения DCS DPS 128, мВ |
±2 |
|
Максимальная сила тока в нагрузке одного канала DCS DPS128 при воспроизведении напряжения, А до 2,5 В |
1 |
|
до 7 В |
0,5 |
|
Верхние пределы диапазонов воспроизведения, измерения и |
12,5; 25; 125; 250 мкА; |
|
ограничения силы постоянного тока одного канала DCS DPS128 |
1,25; 2,5; 12,5; 25; 100; |
|
200 мА; 1 А | |
|
Разрешение воспроизведения, измерения и ограничения силы постоянного тока одного канала DCS DPS128 на пределе: | |
|
12,5 мкА |
0,5 нА |
|
25 мкА |
1 нА |
|
125 мкА |
5 нА |
|
250 мкА |
10 нА |
|
1,25 мА |
50 нА |
|
2,5 мА |
100 нА |
|
12,5 мА |
0,5 мкА |
|
25 мА |
1 мкА |
|
100 мА |
5 мкА |
|
200 мА |
10 мкА |
|
1 А |
50 мкА |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока одного канала DCS DPS128, где I - сила тока, мкА, на пределе диапазона: | |
|
12,5 мкА в диапазоне от 2,5 до 12,5 мкА включ. |
±(2<0-М+0,12 мкА) |
|
25 мкА в диапазоне от 5 до 25 мкА включ. |
±(2<0-М+0,12 мкА) |
|
125 мкА в диапазоне от 25 до 125 мкА включ. |
±(2- 10-3П+0,75 мкА) |
|
250 мкА в диапазоне от 50 до 250 мкА включ. |
±(2- 10-3П+0,75 мкА) |
|
1,25 мА в диапазоне от 0,25 до 1,25 мА включ. |
±(2-10’3-I+7,5 мкА) |
|
2,5 мА в диапазоне от 0,5 до 2,5 мА включ. |
±(2-10’3-I+7,5 мкА) |
|
12,5 мА в диапазоне от 2,5 до 12,5 мА включ. |
±(2-10’3-I+75 мкА) |
|
25 мА в диапазоне от 5 до 25 мА включ. |
±(2-10’3-I+75 мкА) |
|
100 мА в диапазоне от 20 до 100 мА включ. |
±(240-М+600 мкА) |
|
200 мА в диапазоне от 40 до 200 мА включ. |
±(240-М+600 мкА) |
|
1 А в диапазоне от 0,2 до 1 А включ. |
±(2П0-М+3000 мкА) |
|
1 |
2 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока одного канала DCS DPS128, где I - сила тока, мкА, на пределе диапазона:
25 мкА 125 мкА 250 мкА 1,25 мА
12,5 мА 25 мА 100 мА 200 мА 1 А |
±(2^10-М+0,05 мкА) ±(2^10-М+0,05 мкА) ±(П10-М+О,25 мкА) ±(П10-М+О,25 мкА) ±(П10-3П+2,5 мкА) ±(п10-3Н+2,5 мкА) ±(П10-3П+25 мкА) ±(п10-3Н+25 мкА) ±(П10-М+250 мкА) ±(П10-М+25О мкА) ±(П10-3П+1000 мкА) |
|
Допускаемая абсолютной погрешность ограничения силы постоянного тока одного канала DCS DPS128 на пределе диапазона:
125 мкА в диапазоне от 25 до 125 мкА включ. 250 мкА в диапазоне от 50 до 250 мкА включ. 1,25 мА в диапазоне от 0,25 до 1,25 мА включ.
100 мА в диапазоне от 20 до 100 мА включ. 200 мА в диапазоне от 40 до 200 мА включ. 1 А в диапазоне от 0,2 до 1 А включ. |
от -0,38 до +0,63 мкА от -0,75 до +1,25 мкА от -3,75 до +6,25 мкА от -7,5 до +12,5 мкА от -37,5 до +62,5 мкА от -75 до +125 мкА от -375 до +625 мкА от -750 до +1250 мкА от -3000 до +5000 мкА от -6000 до +10000 мкА от -30000 до +50000 мкА |
|
Верхние пределы диапазона воспроизведения, измерения и ограничения силы тока группы объединённых каналов DCS DPS128, где n - количество объединённых в группу каналов, А |
п-1 |
|
Разрешение воспроизведения, измерения и ограничения силы тока группы объединённых каналов DCS DPS128, где n - количество объединённых в группу каналов, мкА |
п^50 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока группы объединённых каналов DCS DPS128 в диапазоне силы тока от (n^0,2) до (irl) А, где I - сила тока, мА, n -количество объединённых в группу каналов; мА |
±(2-10’3-I+n-3) |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока группы объединённых каналов DCS DPS128, где I - сила тока, мА, n - количество объединённых в группу каналов; мА |
±(П10-3П+п) |
|
Допускаемая абсолютная погрешность ограничения силы тока группы объединенных каналов DCS DPS128 в диапазоне силы тока от (n^0,2) до (irl) А, где I - сила тока, мА, n - количество объединённых в группу каналов; мА |
от -3^10-М до +540-2 •I |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Параметры электрического питания: - напряжение питания трёхфазного переменного тока, В |
от 360 до 440 |
|
- номинальная частота переменного тока, Гц |
50 |
|
Мощность потребления, кВ^А, не более |
15 |
|
Габаритные размеры (высота х ширина х глубина), мм, не более: - головной измерительный блок с манипулятором |
1887х1820х1859 |
|
- установка водяного охлаждения |
832x363x815 |
|
Масса, кг, не более: - головной измерительный блок с манипулятором |
1260 |
|
- установка водяного охлаждения |
81 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, °С |
от +20 до +30 |
|
- относительная влажность, % |
от 30 до 70 |
|
- атмосферное давление, кПа |
от 84 до 106 |
Таблица 4 - Показатели надежности
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Средний срок службы, лет |
5 |
|
Средняя наработка на отказ, ч |
20000 |