Номер по Госреестру СИ: 92955-24
92955-24 Интерферометры
(OptoTL-250/300)
Назначение средства измерений:
Интерферометры OptoTL-250/300 (далее - интерферометры) предназначены для измерений отклонений от плоскостности оптических поверхностей. В случае применения в качестве эталона 4-го разряда, применяются для поверки мер отклонений от плоскостности размером до 280 мм.

Внешний вид.
Интерферометры
Рисунок № 1

Внешний вид.
Интерферометры
Рисунок № 2
Программное обеспечение
Интерферометры оснащены программным обеспечением (ПО) OptoTL-FI версии v. 1.44.0 и выше. Вычислительные алгоритмы расположены в заранее скомпилированных бинарных файлах и не могут быть модифицированы, они блокируют редактирование для пользователей и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО интерферометров
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
OptoTL-FI |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
v. 1.44.0 и выше |
ПО является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Главной защитой ПО является наличие USB-ключа, что позволяет предотвратить неавторизованное использование ПО.
Защита ПО интерферометров соответствует уровню «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийприведены в разделе 4. «Работа с прибором» документа «Интерферометры OptoTL-250/300. Руководство по эксплуатации».
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к средству измеренийПриказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 15 декабря 2022 г. № 3189 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей»;
ТУ 692289.000 «Интерферометры OptoTL-250/300. Технические условия».
ПравообладательЛаборатория»
д. 9, лит. В,
Общество с ограниченной ответственностью «Опто-Технологическая (ООО «Опто-ТЛ»)
ИНН 7804578429
Юридический адрес: 194044, г. Санкт-Петербург, ул. Менделеевская, помещ. 4 Н, оф. 541
Тел./факс: +7 (812) 347-76-90, +7 (812) 347-76-90
Адрес электронной почты: sales@optotl.ru
Изготовитель
Лаборатория»Общество с ограниченной ответственностью «Опто-Технологическая
(ООО «Опто-ТЛ»)
ИНН 7804578429
Адрес: 194044, г. Санкт-Петербург, ул. Менделеевская, д. 9, лит. В, помещ. 4 Н, оф. 541 Тел./факс: +7 (812) 347-76-90, +7 (812) 347-76-90
Адрес электронной почты: sales@optotl.ru
Испытательный центр
Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы» (ФГБУ «ВНИИМС») Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46Тел.: +7 (495) 437-55-77, факс: +7 (495) 437-56-66
E-mail: office@vniims.ru, web-сайт: www.vniims.ru
Правообладатель
Лаборатория»д. 9, лит. В,
Общество с ограниченной ответственностью «Опто-Технологическая (ООО «Опто-ТЛ»)
ИНН 7804578429
Юридический адрес: 194044, г. Санкт-Петербург, ул. Менделеевская, помещ. 4 Н, оф. 541
Тел./факс: +7 (812) 347-76-90, +7 (812) 347-76-90
Адрес электронной почты: sales@optotl.ru
Принцип работы интерферометров основан на анализе деформации формы интерференционных полос, возникающих в промежутке между эталонной поверхностью сравнения и поверхностью контролируемой детали в результате интерференции отраженных от них волновых фронтов.
Интерферометры состоят из следующих основных блоков: оптико-механического блока, юстировочного стола, для установки измеряемой детали и компьютера с программным обеспечением (ПО) для управления интерферометром и анализа интерферограмм.
Интерферометры построены по вертикальной схеме интерферометра Физо. В качестве источника света в них используется лазер с длиной волны 633 нм или 660 нм. Оптический расширитель преобразует лазерное излучение в параллельный пучок диаметром 250 мм или 300 мм.
Контролируемую деталь устанавливают на юстировочный столик, при этом контролируемая поверхность относительно эталонной устанавливается таким образом, чтобы обеспечивался автоколлимационный ход лучей в интерферометре.
В результате один волновой фронт - опорный - формируется при прохождении через эталонную поверхность. Другой - предметный - отражается и искажается поверхностью контролируемой детали. Он возвращается в интерферометр и интерферирует с опорным. При этом образуется интерференционная картина.
Контроль формы поверхностей основан на анализе интерференционной картины методом Фурье с помощью специального программного обеспечения с последующим определением параметров формы контролируемой поверхности.
Внешний вид интерферометра приведен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Общий вид интерферометров
Рисунок 2 - Вид таблички с заводским номером
Нанесение знака поверки на интерферометры не предусмотрено. Заводской номер в виде буквенно-цифрового или цифрового обозначения наносится гравированием на маркировочную табличку, которая закрепляется на заднюю часть корпусов интерферометров (рисунок 2).
Пломбирование интерферометров от несанкционированного доступа не предусмотрено.
Таблица 2 - Основные
инт
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений отклонений от плоскостности, мкм |
от 0,03 до 2,00 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений отклонений от плоскостности, мкм |
±0,06 |
Таблица 3 - Технические характеристики интерферометров
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон диаметров измеряемых плоских поверхностей, мм |
От 25 до 250 От 30 до 300 |
|
Диапазон показаний при измерениях отклонения от |
от 0 до 3,165 |
|
плоскостности, мкм | |
|
Класс лазера по ГОСТ 31581-2012 |
3А |
|
Длина волны лазера, нм |
633; 660 |
|
Мощность, мВт, не более |
4 |
|
Допустимое значение частоты возмущающих гармонических | |
|
вибраций, Гц, не более |
30 |
|
Параметры электропитания | |
|
Напряжение переменного тока, В |
от 200 до 240 |
|
Частота, Гц |
от 49 до 51 |
|
Масса, кг, не более |
180 |
|
Габаритные размеры, мм, не более | |
|
- длина |
600 |
|
- ширина |
1100 |
|
- высота |
1500 |
|
Условия эксплуатации | |
|
- температура окружающей среды, °С |
от +20 до +24 |
|
- относительная влажность, % |
от 40 до 80 |

