Номер по Госреестру СИ: 88221-23
88221-23 Датчик давления мембранно-емкостный
(Cube CDGsci)
Назначение средства измерений:
Датчик давления мембранно-емкостный Cube CDGsci (далее по тексту - датчик) предназначен для измерений абсолютного давления в диапазоне от 1 до 1300 Па при поверке и калибровке средств измерений абсолютного давления различных типов.
Внешний вид.
Датчик давления мембранно-емкостный
Рисунок № 1
Внешний вид.
Датчик давления мембранно-емкостный
Рисунок № 2
Программное обеспечение
Датчик функционирует под управлением программного обеспечения (ПО), которое является неотъемлемой его частью. ПО выполняет следующие функции: управление работой датчика; формирование выходных сигналов; обработка, передача и отображение результатов измерений, автоматическая диагностика состояния датчика. Так же ПО обеспечивает интерфейс пользователя, при помощи которого осуществляются такие функции, как выбор единицы измерения, разрядности отображения результатов измерений и другие.
Влияние ПО датчика учтено при нормировании метрологических характеристик.
Уровень защиты ПО от преднамеренных или непреднамеренных изменений «низкий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
Идентификационное наименование ПО |
INFICON Cube |
Номер версии (идентификационный номер) ПО, не ниже |
1.8.0.18 |
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Лист № 3 Всего листов 4
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наноситсяна титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийприведены в документе «Емкостный мембранный датчик Cube CDGsci. Руководство по эксплуатации», раздел 4.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к средству измеренийГосударственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне Г10-1^Г107 Па, утвержденная приказом Росстандарта от 6 декабря 2019 г. № 2900.
ПравообладательInficon AG, Лихтенштейн
Адрес: Alte LandstrasBe 6, LI-9496 Balzers, Liechtenstein
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт метрологии имени Д.И.Менделеева» (ФГУП «ВНИИМ им. Д.И.Менделеева»)Адрес: 190005, г. Санкт-Петербург, Московский пр., д. 19
Телефон: (812) 251-76-01
Факс: (812) 713- 01-14
Web-сайт: www.vniim.ru
E-mail: info@vniim.ru
К данному типу средств измерений относится датчик с зав. № 540255789.
Принцип действия датчика основан на использовании зависимости между измеряемым давлением и упругой деформацией мембранно-емкостного чувствительного элемента - тонкой радиально напряженной мембраны.
Конструктивно датчик выполнен в виде компактного невосприимчивого к воздействиям окружающей среды корпуса с размещенной внутри керамической диафрагмой-мембраной и измерительной камерой. При подаче в измерительную камеру давления керамическая диафрагма-мембрана отклоняется. Отклонение измеряется емкостным способом и преобразуется цифровой электроникой в цифровой выходной сигнал.
При сильных вибрациях в вакуумной системе датчик устанавливается с демпфирующим устройством.
Выходной сигнал не зависит от типа газа.
Точное измерение давления достигается за счет нагрева датчика до постоянной температуры 45 °С, что приводит к компенсации изменений условий окружающей среды и уменьшению осаждения продуктов процесса и побочных продуктов в технологических процессах. Встроенная перегородка защищает датчик от покрытия.
Нанесение знака поверки на средство измерений не предусмотрено.
Заводской номер наносится на корпус датчика в виде наклейки. Пломбирование датчика не предусмотрено.
Общий вид датчика приведен на рисунке 1. Информационная табличка в виде наклейки представлена на рисунке 2.
Рисунок 1 - Общий вид датчика давления мембранно-емкостного Cube CDGsci
Место нанесения заводского номера
Рисунок 2 - Информационная табличка в виде наклейки
Таблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристики |
Значение |
Диапазон измерений абсолютного давления, Па1) |
от 1 до 1300 |
Пределы допускаемой относительной погрешности, %
|
±(5 - 0,5) ±0,5 |
1) Допускается выбор других единиц измерений давления, с учетом соотношения 1 Торр = 1,3332 мбар = 133,3224 Па |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
Наименование характеристики |
Значение |
Цифровой интерфейс |
RS232, Ethernet |
Габаритные размеры датчика, мм, не более - высота |
195 |
- ширина |
110 |
- длина |
105 |
Масса датчика, кг, не более |
1,7 |
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С |
от +15 до +25 |
- относительная влажность, %, не более |
80 |
- атмосферное давление, кПа |
от 84 до 106,7 |