Номер по Госреестру СИ: 87896-23
87896-23 Установка для измерений удельного поверхностного (слоевого) электрического сопротивления полупроводниковых материалов
(1510E B SA)
Назначение средства измерений:
Установка для измерений удельного поверхностного (слоевого) электрического сопротивления полупроводниковых материалов 1510E В SA (далее - установка 1510E В SA) предназначена для измерений удельного поверхностного (слоевого) электрического сопротивления (УПЭС) полупроводниковых материалов вихретоковым методом.
Внешний вид.
Установка для измерений удельного поверхностного (слоевого) электрического сопротивления полупроводниковых материалов
Рисунок № 1
Программное обеспечение
Идентификационные данные метрологически значимой части внешнего программного обеспечения (ПО) установки 1510E В SA приведены в таблице 1.
Уровень защиты ПО установки 1510E В SA «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014. Конструкция установки 1510E В SA обеспечивает полное ограничение доступа к метрологически значимой части ПО и исключает возможность несанкционированного влияния на ПО и измерительную информацию.
Влияние метрологически значимой части ПО учтено изготовителем при нормировании метрологических характеристик.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
Идентификационное наименование ПО |
- |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
не ниже 5.0.1 |
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульный лист «Руководства по эксплуатации» типографским способом или в виде наклейки.
Комплектность средства измеренияТаблица 3 -
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийприведены в Руководстве по эксплуатации, раздел 4 «Выполнение измерений».
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к средству измеренийПриказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 30 декабря 2019 г. № 3456 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений электрического сопротивления постоянного и переменного тока».
ПравообладательLehighton Electronics, Inc, США
Адрес: 208 Memorial Drive, Lehighton, РА 18235
Испытательный центр
Уральский научно-исследовательский институт метрологии - филиал Федерального государственного унитарного предприятия «Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии имени Д.И.Менделеева» (УНИИМ - филиал ФГУП «ВНИИМ им. Д.И.Менделеева»)Адрес: 620075, г. Екатеринбург, ул. Красноармейская, д. 4
Принцип действия установки 1510E В SA основан на вихретоковом методе неразрушающего контроля, основанным на регистрации изменений электромагнитного поля вихревых токов, наводимых с помощью вихретокового преобразователя в образце полупроводникового материала. Электромагнитное поле вихревых токов воздействует на катушки вихретокового преобразователя и в измерительной обмотке возникает электродвижущая сила (ЭДС), которая является сигналом, передающим информацию об образце в систему обработки данных.
Установка 1510E В SA состоит из электронного блока и манипулятора, объединенных в единой моноблочной конструкции.
Обработка результатов измерений осуществляется с помощью внешнего ПО, устанавливаемого на персональный компьютер. Имеется возможность построения карты распределения величины УПЭС в пределах заданной области поверхности образца путем перемещения образца по заданной программе и выдачи результатов измерений в графическом виде.
Пломбирование установки 1510E В SA не предусмотрено. Конструкция установки 1510E В SA обеспечивает ограничение доступа к частям, несущим первичную измерительную информацию, и местам настройки (регулировки).
Буквенно-цифровое обозначение и серийный номер установки 1510E В SA выполнены способом лакокрасочного нанесения в виде шильдика. Шильдик расположен на левой боковой панели электронного блока установки 1510E В SA.
Нанесение знака поверки не предусмотрено.
Общий вид установки 1510E В SA представлен на рисунке 1.
Место нанесения серийного номера
Рисунок 1 - Общий вид установки 1510E В SA
К установкам данного типа относится установка 1510E В SA, сер. № 398.
Таблица 2 - установки 1510E В SA
Наименование характеристики |
Значение |
Диапазон показаний удельного поверхностного (слоевого) электрического) сопротивления на квадрат поверхности, Ом |
От 15 до 3300 |
Диапазон измерений удельного поверхностного (слоевого) электрического) сопротивления на квадрат поверхности, Ом |
От 150 до 2200 |
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений, % |
±8 |
Наименование характеристики |
Значение |
Габаритные размеры, мм, не более - высота |
330 |
- ширина |
370 |
- длина |
600 |
Масса, кг, не более |
31,8 |
Условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, °С |
23±5 |
- относительная влажность, %, не более |
50 |
- напряжение питания, В |
220 ±22 |
- частота питающей сети, Г ц |
50±1 |