Номер по Госреестру СИ: 86262-22
86262-22 Система микроскопической инспекции
(FEI Helios G4 CX)
Назначение средства измерений:
Система микроскопической инспекции FEI Helios G4 CX (далее - система) предназначена для измерений линейных размеров в плоскости XY нано- и микроструктур поверхностей различных объектов.
Внешний вид.
Система микроскопической инспекции
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 04.08.2022
Срок свидетельства -
Номер записи - 188246
ID в реестре СИ - 1401222
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
-,
Производитель
Изготовитель - FEI Company
Страна - СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности -
Статистика
Кол-во поверок - 2
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 0
Кол-во средств измерений -
Кол-во владельцев -
Усредненный год выпуска СИ -
МПИ по поверкам - дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№1808 от 2022.07.26 ПРИКАЗ_Об утверждении типов средств измерений (15)
Наличие аналогов СИ: Система микроскопической инспекции (FEI Helios G4 CX)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|---|
|
86262-22 Система микроскопической инспекции (FEI Helios G4 CX) FEI Company (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
71098-18 Системы анализа микроструктуры объектов (AXALIT) Общество с ограниченной ответственностью "АКСАЛИТ Софт" (ООО "АКСАЛИТ Софт") (РОССИЯ г. Екатеринбург) |
Кто поверяет Системы анализа микроструктуры объектов (AXALIT)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ФГБУ "ВНИИМС" (RA.RU.311493) | РСТ | 2 | 2 | 0 | 0 | 2 | 2 | 0 |
Стоимость поверки Системы анализа микроструктуры объектов (AXALIT)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Система имеет в своем составе программное обеспечение (ПО), встроенное в аппаратное устройство операторского персонального компьютера, разработанное для конкретных измерительных задач, осуществляющее измерительные функции, функции получения и передачи измерительной информации.
Программное обеспечение «xTm Microscope Control» является специализированным ПО системы и предназначено для её управления, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО не может быть использовано отдельно от системы.
Конструкция системы исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО системы и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений. Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Главной защитой ПО является встроенный менеджер лицензий (специальная программа, направленная на борьбу с нарушением авторских прав на компьютерное пиратство) использует 128-битное шифрование по алгоритму AES (симметричный алгоритм блочного шифрования информации), привязывающая ПО и его модули к аппаратному идентификатору управляющего компьютера и серийному номеру системы, что позволяет предотвратить неавторизованное использование ПО. Оператор системы не имеет прав доступа (на уровне операционной системы) для самостоятельной модификации системных файлов, установленного на управляющий компьютер ПО, а также для установки стороннего ПО.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014. Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.
аблица 1 - Идентификационные данные ПО
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
xTm Microscope Control |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО, не ниже |
12.1.1 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Лист № 3
Всего листов 4
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийприведены в разделе «Порядок работы» руководства по эксплуатации.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к средству измеренийТехническая документация фирмы - производителя
ПравообладательFEI Company, США
Адрес: 5350 NE Dawson Creek Drive, Hillsboro, Oregon, 97124, USA
Тел./факс: +1 (503) 726-7500
Web-сайт: https://www.fei.com/
E-mail: info@fei.com
Изготовитель
FEI Company, СШААдрес: 5350 NE Dawson Creek Drive, Hillsboro, Oregon, 97124, USA
Тел./факс: +1 (503) 726-7500
Web-сайт: https://www.fei.com/
E-mail: info@fei.com
Испытательный центр
Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научноисследовательский институт метрологической службы» (ФГБУ «ВНИИМС»)Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
Тел.: +7 (495) 437-55-77, факс: +7 (495) 437-56-66
E-mail: office@vniims.ru,
Правообладатель
FEI Company, СШААдрес: 5350 NE Dawson Creek Drive, Hillsboro, Oregon, 97124, USA
Тел./факс: +1 (503) 726-7500
Web-сайт: https://www.fei.com/
E-mail: info@fei.com
Принцип работы системы основан на физических эффектах взаимодействия поверхности твердого образца со сфокусированным пучком электронов. Изображение объекта формируется в результате развертки (сканирования) электронного пучка по области образца.
Система состоит из электронной колонны, ионной колонны, вакуумной системы, управляющей электроники, набора детекторов и стола оператора с персональным компьютером. В состав электронной колонны входит источник электронов, отклоняющая система, включающая электромагнитные, электростатические или комбинированные линзы и обеспечивающая фокусировку и перемещение пучка по поверхности образца, а также набор апертур. В состав ионной колонны входит источник ионов, отклоняющая система, обеспечивающая фокусировку и перемещение пучка по поверхности образца, а также набор апертур. Вакуумная система состоит из форвакуумных, турбомолекулярных и ионно-гетерных насосов, а также системы клапанов. Предназначена для формирования и поддержания режимов высокого и низкого вакуума, а также режима естественной среды. Различные детекторы, установленные на системе, обеспечивают формирование изображения в различных типах контрастов (топографический, композиционный, смешанный, в низко-энергетичных электронах), а также предоставляют информацию об элементном, фазовом и кристаллографическом составе поверхности образцов. Управляющая электроника обеспечивает функционирование всех частей прибора, а также получение информации от детекторов. Детекторы позволяют получать информацию о топографии, вариациях состава, механических, электрофизических и других параметрах.
Управление и настройка системы осуществляются с помощью мышки и клавиатуры компьютера, подключаемого к блоку электроники. Все данные и изображения могут быть выведены на монитор или сохранены в компьютере.
Исследуемые образцы устанавливают в вакуумную камеру с помощью держателей.
Заводской (серийный) номер системы имеет цифровое обозначение и нанесен на корпус системы в виде шильды с нанесенным вручную заводским номером (зав. № 9925578). Пломбирование системы от несанкционированного доступа не предусмотрено. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке. Общий вид системы приведен на рисунке 1.
Рисунок 1 - внешний вид системы микроскопической инспекции FEI Helios G4 CX
Таблица 2 - Метрологические характеристики системы
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм |
от 0,01 до 500 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений в плоскости XY, мкм: - от 0,01 мкм до 100 мкм включ. |
±(0,002+3-L/100), где L - измеряемый размер в мкм |
|
- св. 100 мкм до 500 мкм |
±(0,002+5<L/100), где L - измеряемый размер в мкм |
Таблица 3 - Технические характеристики системы
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Максимальное разрешение, нм |
0,8 |
|
Давление в камере, Па, не более |
5М0-4 |
|
Увеличение, крат |
от 150 до 1 500 000 |
|
Относительная влажность, %, не более, без конденсата |
80 |
|
Габаритные размеры, не более, мм: | |
|
-длина |
1300 |
|
-ширина |
900 |
|
-высота |
2000 |
|
Питающее напряжение, В |
от 207 до 253 |
|
Частота, Гц |
50 |
|
Потребляемая мощность, 1ТА, не более |
2300 |
|
Условия эксплуатации - температура окружающей среды, °С |
от +18 до +22 |
|
- относительная влажность, % |
до 90 |