Номер по Госреестру СИ: 80056-20
80056-20 Микроскоп электронно-ионный сканирующий
(Helios G4 PFIB Uxe)
Назначение средства измерений:
Микроскоп электронно-ионный сканирующий Helios G4 PFIB UXe (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов микро- и нанорельефа поверхности твердотельных образцов, исследования их элементного состава и кристаллографической структуры, проведения локальной структурной модификации поверхности твердотельных объектов сфокусированным пучком ионов Xe, а также подготовки поперечных срезов для просвечивающего электронного микроскопа.
Внешний вид.
Микроскоп электронно-ионный сканирующий
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 17.01.2021
Срок свидетельства -
Номер записи - 179342
ID в реестре СИ - 1385081
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
Микроскоп электронно-ионный сканирующий Helios G4 PFIB Uxe,
Производитель
Изготовитель - Фирма Thermo Fisher Scientific Electron Microscopy
Страна - СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Cправочник методик поверки составлен по данным реестра "Утверждённые типы средств измерений" ФГИС АРШИН, содержит более 28 тыс. записей и постоянно пополняется.
В качестве идентификатора методики в справочнике используется номер средства измерений в ФГИС АРШИН. Кроме данного справочника в системе "ОЕИ аналитика" присутствует справочник методик поверки, отсутствующих в ФГИС, который пополняется силами сотрудников сервиса.
Статистика
Кол-во поверок - 4
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 3
Кол-во средств измерений - 1
Кол-во владельцев - 2
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№2120 от 2020.12.15 Об утверждении типа средств измерений
Наличие аналогов СИ: Микроскоп электронно-ионный сканирующий (Helios G4 PFIB Uxe)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Фирма Thermo Fisher Scientific Electron Microscopy
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
80322-20 |
Микроскоп электронный сканирующий, Quattro S ESEM Фирма Thermo Fisher Scientific Electron Microscopy (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
80056-20 |
Микроскоп электронно-ионный сканирующий , Helios G4 PFIB Uxe Фирма Thermo Fisher Scientific Electron Microscopy (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
Добровольная сертификация осуществляется по инициативе заявителя на условиях договора между заявителем и органом по сертификации для установления соответствия национальным стандартам, стандартам организаций, системам добровольной сертификации, условиям договоров. Объектами добровольной сертификации могут быть продукция, процессы производства, эксплуатации, хранения, перевозки, реализации и утилизации, работы и услуги, а также иные объекты, в отношении которых стандартами, системами добровольной сертификации и договорами устанавливаются требования. Добровольная сертификация осуществляется в рамках системы добровольной сертификации.
Лицо или лица, создавшие систему добровольной сертификации, устанавливают перечень объектов, подлежащих сертификации, и их характеристик, на соответствие которым осуществляется добровольная сертификация, правила выполнения предусмотренных данной системой добровольной сертификации работ и порядок их оплаты, определяют участников данной системы добровольной сертификации.
В соответствии с Положением о Федеральном агентстве по техническому регулированию и метрологии, утвержденным постановлением Правительства Российской Федерации от 17 июня 2004 г. № 294, Росстандарт осуществляет ведение единого реестра зарегистрированных систем добровольной сертификации.
Кто поверяет Микроскоп электронно-ионный сканирующий (Helios G4 PFIB Uxe)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 4 | 1 | 1 | 3 | 0 | 0 | 0 | 0 |
Стоимость поверки Микроскоп электронно-ионный сканирующий (Helios G4 PFIB Uxe)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Управление микроскопом и обработка результатов измерений осуществляется с помощью ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО) «XT UI». ПО «XT UI» позволяет проводить измерения линейных размеров элементов рельефа по осям X и Y. ПО «XT UI» не может быть использовано отдельно от микроскопа.
Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1. Таблица 1
|
Идентификационное наименование ПО |
XT UI |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
14.5.0.3707 |
|
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
- |
|
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
- |
Уровень защиты ПО соответствует типу «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на лицевую панель основного блока микроскопа в виде наклейки, и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений приведены в эксплуатационной документации.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопу электронно-ионному сканирующему Helios G4 PFIB UXeТехническая документация фирмы Thermo Fisher Scientific Electron Microscopy, США
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 80056-20 «ГСИ. Микроскоп электронно-ионный сканирующий Helios G4 PFIB UXe. Методика поверки», утвержденному АО «НИЦПВ» 18 марта 2020 г.
Основные средства поверки:
-мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К (рег. №33598-06);
- мера длины концевая плоскопараллельная номинальным значением 1 мм 3-го разряда согласно Государственной поверочной схеме (Приказ Росстандарта от 29.12.2018 №2840);
- стандартный образец состава марганца металлического типа Мн95 (Ф5) ГСО 1095-90П. Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемого микроскопа с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на лицевую панель основного блока микроскопа в виде наклейки, как показано на рисунке 1 и на свидетельство о поверке.
Заявитель
Автономная некоммерческая образовательная организация высшего образования «Сколковский институт науки и технологий»Адрес: 121205, Москва, Большой бульвар д.30 стр.1 Тел./факс: (495) 280-14-81
E-mail: inbox@skoltech.ru
Испытательный центр
Акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (АО «НИЦПВ»)Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, корп. 1
Тел./Факс: (495) 935-97-77 E-mail: nicpv@mail.ru
Принцип действия микроскопа основан на совместном использовании сфокусированного электронного пучка для визуализации и измерения характерных размеров элементов поверхностного рельефа и сфокусированного пучка ионов Xe для локального контролируемого травления поверхности твердотельных объектов по заданной программе. Формирование изображения в микроскопе происходит за счет модуляции яркости соответствующей точки монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных вторичных или обратноотраженных электронов, возникающих при сканировании сфокусированного электронного или ионного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.
Микроскоп может работать в следующих режимах:
-
- вторичной электронной эмиссии;
-детектирования обратно отраженных электронов,
-
- сканирующей просвечивающей электронной микроскопии, в том числе темнопольном и светлопольном режимах;
-дифракции обратно-рассеянных электронов,
-картирования элементного состава, в том числе объемного с использованием послойного травления образца ионами Xe.
Для повышения разрешения в микроскопе предусмотрена магнитная иммерсионная линза, используемая с детектором электронов установленным внутри электронной колонны, за полюсным наконечником. Так же, есть возможность подавать дополнительный потенциал на столик в пределах от -4 кВ до 50 В.
Конструктивно микроскоп выполнен в напольном варианте и состоит из основного блока, стойки электроники, рабочего стола с управляющим компьютером и отдельно стоящих форвакуумного насоса, чиллера и компрессора. Основной блок включает электроннооптическую систему (колонну) с полевым катодом типа Шоттки с монохроматором, ионную колонну с плазменным источником ионов Xe, камеру образцов с механизмом их перемещения на основе предметного столика с пьезоприводом, детекторы вторичных, отраженных и прошедших электронов, вакуумную систему на основе безмасляных турбомолекулярного и магниторазрядного насосов, блок электроники, энергодисперсионный спектрометр EDAX Octane Elite Super, систему анализа дифракции отраженных электронов на основе EBSD системы EDAX Hikari Plus, манипулятор EasyLift Nanomanipulator, встроенный в камеру образцов, систему впрыска газов для осаждения Pt, W и C. Вакуумная камера оборудована системой плазменной очистки образцов и содержимого камеры от углеводородных загрязнений.
Пломбирование микроскопа не предусмотрено. Общий вид микроскопа и место нанесения знака поверки приведены на рисунке 1.
Место нанесения знака поверки
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа электронно-ионного сканирующего Helios G4 PFIB
UXe
Т аблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров, мкм |
от 0,005 до 1000 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров, нм (L- линейный размер, нм) |
±(1+0,04-L) |
|
Пространственное разрешение для электронной колонны в режиме вторичной эмиссии при ускоряющем напряжении 15 кВ, нм, не более |
0,6 |
|
Энергетическое разрешение энергодисперсионного спектрометра на линии Ка марганца,эВ, не более |
125 |
Т аблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон регулирования увеличения, крат |
от 30 до 1000000 |
|
Диапазон регулировки ускоряющего напряжения для электронной пушки, кэВ |
от 0,35 до 30 |
|
Разброс энергий электронов пучка от установленного значения после монохроматора, эВ, не более |
0,2 |
|
Диапазон регулировки ускоряющего напряжения для ионной пушки, кэВ |
от 0,5 до 30 |
|
Диапазон значений токов электронного пучка, нА |
от 0,0008 до 100 |
|
Диапазон значений токов ионного пучка, нА |
от 0,001 до 2500 |
|
Максимальный размер изображения, пикселей |
6144х4096 |
|
Минимальный шаг перемещения иглы микроманипулятора, нм, не более |
50 |
|
Активная площадь детектора энергодисперсионного спектрометра, мм |
70 |
|
Диапазон определяемых элементов |
от С до Am |
|
Максимальная скорость счета импульсов энергодисперсионного спектрометра, импульсов/сек |
1600000 |
|
Масса, включая все комплектующие, кг, не более |
1150 |
|
Габаритные размеры основных составных частей (ДxШхВ), мм, не более: - основной блок |
1185x1332x1907 |
|
- стойка электроники; |
660x1055x1949 |
|
- рабочий стол с управляющим компьютером |
1300x800x1200 |
|
- форвакуумный насос |
730x500x700 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С |
от +18 до +22 |
|
-относительная влажность воздуха, %, не более |
80 |
|
Напряжение питания от однофазной сети переменного тока частотой 50/60 Гц, В |
от 110 до 240 |
|
Потребляемая мощность, не более, Вт |
3500 |