Номер по Госреестру СИ: 80322-20
80322-20 Микроскоп электронный сканирующий
(Quattro S ESEM)
Назначение средства измерений:
Микроскоп электронный сканирующий Quattro S ESEM (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов микро- и нанорельефа поверхности различных твердотельных объектов, в том числе биологических в режиме сверхнизкого вакуума естественной среды, исследования их элементного состава методом энергодисперсионной спектроскопии.
Внешний вид.
Микроскоп электронный сканирующий
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 17.01.2021
Срок свидетельства -
Номер записи - 179553
ID в реестре СИ - 1384870
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
Микроскоп электронный сканирующий Quattro S ESEM,
Производитель
Изготовитель - Фирма Thermo Fisher Scientific Electron Microscopy
Страна - СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Статистика
Кол-во поверок - 4
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 3
Кол-во средств измерений - 1
Кол-во владельцев - 2
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
Наличие аналогов СИ: Микроскоп электронный сканирующий (Quattro S ESEM)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Фирма Thermo Fisher Scientific Electron Microscopy
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
80322-20 |
Микроскоп электронный сканирующий, Quattro S ESEM Фирма Thermo Fisher Scientific Electron Microscopy (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
80056-20 |
Микроскоп электронно-ионный сканирующий , Helios G4 PFIB Uxe Фирма Thermo Fisher Scientific Electron Microscopy (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
Кто поверяет Микроскоп электронный сканирующий (Quattro S ESEM)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2025 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 4 | 1 | 3 | 0 | 0 | 0 | 0 |
Стоимость поверки Микроскоп электронный сканирующий (Quattro S ESEM)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Управление микроскопом и обработка результатов измерений осуществляется с помощью ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО) «XT UI». ПО «XT UI» позволяет проводить измерения линейных размеров элементов рельефа по осям X и Y. ПО «XT UI» не может быть использовано отдельно от микроскопа.
Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1. Таблица 1
|
Идентификационное наименование ПО |
XT UI |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
15.1.0.3437 |
|
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
- |
|
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
- |
Уровень защиты ПО соответствует типу «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на лицевую панель основного блока микроскопа в виде наклейки, и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений приведены в эксплуатационной документации.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопу электронному сканирующему Quattro S ESEMТехническая документация фирмы Thermo Fisher Scientific Electron Microscopy, США
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 80322-20 «ГСИ. Микроскоп электронный сканирующий Quattro S ESEM. Методика поверки», утвержденному АО «НИЦПВ» 18 марта 2020 г.
Основные средства поверки:
-мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К (рег. №33598-06);
-
- мера длины концевая плоскопараллельная номинальным значением 1 мм 3-го разряда согласно Государственной поверочной схеме (Приказ Росстандарта от 29.12.2018 №2840);
-
- стандартный образец состава марганца металлического типа Мн95 (Ф5) ГСО 1095-90П
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемого микроскопа с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на лицевую панель основного блока микроскопа в виде наклейки, как показано на рисунке 1 и на свидетельство о поверке.
Изготовитель
Фирма Thermo Fisher Scientific Electron Microscopy, США Адрес: 5350 NE Dawson Creek Drive, Hillsboro, OR 97124, USA Тел./Факс: +1 5037267500/+1 503 726 2570
Заявитель
Автономная некоммерческая образовательная организация высшего образования «Сколковский институт науки и технологий»
Адрес: 121205, Москва, Большой бульвар д.30 стр.1 Тел./факс: (495) 280-14-81
E-mail: inbox@skoltech.ru
Испытательный центр
Акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (АО «НИЦПВ»)Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, корп. 1
Тел./Факс: (495) 935-97-77
E-mail: nicpv@mail.ru
Принцип действия микроскопа основан на сканировании сфокусированным пучком ускоренных электронов поверхности исследуемого объекта, детектировании вторичных или обратно рассеянных электронов для формирования изображения на экране управляющего компьютера синхронно с разверткой электронного пучка. Формирование изображения в микроскопе происходит за счет модуляции яркости соответствующей точки экрана сигналами, поступающего с детектора электронов. Отношение размера изображения на экране к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.
Конструктивно микроскоп выполнен в напольном варианте и состоит из основного блока, стойки электроники и рабочего стола с управляющим компьютером. Основной блок включает электронно-оптическую систему (колонну) с автоэмиссионным катодом типа Шоттки, камеру образцов на основе предметного столика с механизмом его перемещения, детекторы вторичных и отраженных электронов, вакуумную систему, блок электроники, энергодисперсионный спектрометр Bruker XFlash 6. Вакуумная система микроскопа включает 2 форвакуумных насоса, турбомолекулярный насос и 2 геттерно-ионных насоса. Механизм перемещения предметного столика обеспечивает его перемещение вдоль осей X, Y, Z, вращение на 360 градусов вокруг оси Z и наклон вокруг оси Х. Вакуумная камера оборудована системой плазменной очистки образцов и содержимого камеры от углеводородных загрязнений.
Микроскоп может работать в следующих режимах:
-
- вторичной электронной эмиссии;
-детектирования обратно отраженных электронов,
-
- определения элементного состава в приповерхностной области исследуемого объекта в точке, вдоль линии, картирования элементного состава.
Для повышения разрешения в режиме малых энергий электронов пучка в микроскопе предусмотрен режим торможения электронного пучка посредством приложения напряжения смещения к образцу.
Исследование биологических образцов возможно в режиме, который обеспечивает в камере образцов низкий вакуум или сверхнизкий (до 4000 Па) вакуум естественной среды при условии регистрации вторичных электронов от исследуемого объекта.
Пломбирование микроскопа не предусмотрено. Общий вид микроскопа и место нанесения знака поверки приведены на рисунке 1.
Место нанесения знака поверки
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа электронного сканирующего Quattro S ESEM
Т аблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров, мкм |
от 0,005 до 1000 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров, нм (L- линейный размер, нм) |
±(1+0,04-L) |
|
Пространственное разрешение в режиме вторичной эмиссии при ускоряющем напряжении 15 кВ, нм, не более |
0,6 |
|
Энергетическое разрешение энергодисперсионного спектрометра на линии Ка марганца,эВ, не более |
126 |
Т аблица 3 Основные технические характеристики__________________________
|
Наименование характеристики |
Значение |
Наименование характеристики Значение
|
Диапазон регулирования увеличения, крат |
от 150 до 4000000 |
|
Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кэВ |
от 1 до 30 |
|
Минимальная достижимая энергия электронов первичного пучка в режиме торможения пучка, эВ |
200 |
|
Диапазон значений токов электронного пучка, нА |
от 0,001 до 200 |
|
Максимальный размер изображения, пикселей |
6144х4096 |
|
Активная площадь детектора энергодисперсионного спектрометра, мм2 |
60 |
|
Диапазон определяемых элементов |
от C до Am |
|
Максимальная скорость счета импульсов энергодисперсионного спектрометра, импульсов/сек |
1500000 |
|
Масса, включая все комплектующие, кг, не более |
970 |
|
Габаритные размеры основных составных частей (ДxШхВ), мм, не более:
|
900x1360x1850 1300x800x700 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С -относительная влажность воздуха, %, не более |
от +18 до +22 80 |
|
Напряжение питания от однофазной сети переменного тока частотой 50/60 Гц, В |
от 110 до 240 |
|
Потребляемая мощность, не более, Вт |
3000 |