Номер по Госреестру СИ: 79780-20
79780-20 Интерферометры лазерные
(ФТИ)
Назначение средства измерений:
Интерферометры лазерные ФТИ (далее интерферометры) предназначены для измерений отклонений от плоскостности оптических поверхностей.
Внешний вид.
Интерферометры лазерные
Рисунок № 1
Программное обеспечение
Интерферометры оснащены программным обеспечением (ПО) DiOpto. Програмное обеспечение позволяет вычислять отклонения формы контролируемой поверхности от эталонной плоскости спектральным методом (SM) и методом фазового сдвига (PS).
Вычислительные алгоритмы ПО расположены в заранее скомпилированных бинарных файлах и не могут быть модифицированы, они блокируют редактирование для пользователей и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО интерферометров
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
Идентификационное наименование ПО |
DiOpto |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
v.3.13 и выше |
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Для защиты ПО от несанкционированного доступа используют USB-ключ.
Защита программного обеспечения интерферометров соответствует уровню «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений приведены в эксплуатационных документах.Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к интерферометрам лазерным ФТИГОСТ 8.661-2018 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров отклонения от плоскостности оптических поверхностей размером до 200 мм
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП № 203 -7 -2019 «ГСИ. Интерферометры лазерные ФТИ. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМС» 26 марта 2019 г.
Основное средство поверки:
- мера отклонений от плоскостности 0 120 мм, рег. № 48279-11.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Изготовитель
Закрытое Акционерное общество «Дифракция» (ЗАО «Дифракция»)ИНН 5408270404
Адрес: 630128, Новосибирск, ул. Кутателадзе, д. 4Г, оф.218
Тел./факс: +7 (383)-332-50-60
E-mail: www.diffraction.ru, web-сайт: v.n.homutov@gmail.com
Заявитель
Акционерное общество «Научно-исследовательский институт оптико-электронногоприборостроения» (АО «НИИ ОЭП»)
ИНН 4725481940
Адрес: 188540, Ленинградская обл., г. Сосновый Бор, ул. Ленинградская, д.29, литер Т
Тел./факс: 8(81369) 22778/ 8(81369) 45373
E-mail: contact@niioep.ru, web-сайт: www.niioep.ru
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно -исследовательский институт метрологической службы»Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
Тел.: +7 (495) 437-55-77, факс: +7 (495) 437-56-66
E-mail: office@vniims.ru, web-сайт: www.vniims.ru
Измерение отклонений от плоскостности оптических поверхностей основано на анализе деформации формы интерференционных полос возникающих в промежутке между поверхностью контролируемой детали и эталонной поверхностью сравнения в результате интерференции отраженных от них волновых фронтов.
Интерферометр состоит из следующих основных блоков: оптико-механического блока, блока байонетного крепления эталонной пластины и компьютера с программным обеспечением (ПО) для управления интерферометром и анализа интерферограм. Опционально интерферометр может оснащаться блоком фазового сдвига с пъезоприводом.
В качестве источника света в интерферометре используется He-Ne лазер с длиной волны 632 нм. Оптико-механический блок преобразует лазерное излучение и формирует плоский волновой фронт. Далее волновой фронт с помощью эталонной пластины, закрепленной в байонетном креплении, делится на два. Один волновой фронт - опорный - отражается от поверхности эталонной пластины непосредственно назад в интерферометр. Другой - рабочий волновой фронт - проходит эталон и искажается контролируемой деталью. Он также возвращается в интерферометр и интерферирует с опорным. Анализ получаемой интерференционной картины дает информацию об отклонениях от плоскостности измеряемой оптической поверхности .
Интерферометры изготовлены одной модификации: ФТИ-100 (таблица 2).
Внешний вид интерферометров приведен на рисунке 1.
Пломбирование интерферометров лазерных ФТИ от несанкционированного доступа не предусмотрено.
Рисунок 1 - Внешний вид интерферометров лазерных ФТИ-100
Таблица 2 - Метрологические характеристики интерферометров
Модификация |
ФТИ-100 |
Диапазон измерений отклонений от плоскостности, мкм |
от 0,03 до 2,00 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений отклонений от плоскостности, мкм |
±0,025 |
Повторяемость измерений, не более, мкм |
0,008 |
Таблица 3 - Технические характеристики интерферометров
Модификация |
ФТИ-100 |
Максимальный диаметр измеряемых оптических поверхностей, мм |
100 |
Класс лазера по ГОСТ 31581-2012 |
3А |
Длина волны лазера, не более, нм - He-Ne лазер |
633 |
Мощность, не более, мВт |
4 |
Допустимое значение частоты возмущающих гармонических вибраций, не более, Гц |
30 |
Параметры электропитания Напряжение переменного тока, В |
от 200 до 240 |
Частота, Гц |
от 49 до 51 |
Масса, не более, кг |
18 |
Габаритные размеры, не более, мм - длина |
270 |
- ширина |
205 |
- высота |
500 |
Условия эксплуатации - температура окружающей среды, °С |
От +18 до +22 |
- относительная влажность, % |
От 50 до 90 |