Номер в гос. реестре

66974-17

Наименование типа СИ (обозначение)

Профилометр стилусный контактный (AlphaStep D-120)

Назначение средства измерений

Модификация

Профилометр стилусный контактный AlphaStep D-120

Описание типа

2017-66974-17.pdf

Тип производства

Заводской номер

7321064

Год производства (возраст, лет)

Год производства не указан

Производитель

Фирма "KLA-TENCOR"
Страна - СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ

Наименование характеристики

Значение

Диапазон измерений линейных размеров (ось Z), нм

от 21,4 до 1 800,0

Диапазон показаний линейных размеров (ось Z), нм

от 1 до 500 000

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров (ось Z), %

±15

Диапазон измерений шероховатости (параметр Ra), мкм

от 0,005 до 0,063

Диапазон показаний шероховатости (параметр Ra), мкм

от 0,005 до 1,800

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений шероховатости (параметр Ra), %

±10

Наименование характеристики

Значение

Вертикальное разрешение для диапазона 2,5 мкм, м, не более

Ю¹⁰

Вертикальное разрешение для диапазона 1,2 мм, м

10^-7

Максимальное количество точек данных на один профиль

120000

Диапазон перемещений предметного столика, мм

150х178

Скорость сканирования, мм/с

от 0,01 до 0,40

Точность позиционирования поверхности образца по осям X-Y, мкм, не более

0,5

Максимальный диаметр образцов, мм

200

Максимальная высота образцов, мм

30

Максимальная длина сканирования, мм

55

Габаритные размеры, мм

- высота

330

- ширина

381

- длина

610

Масса прибора, кг, не более

25

Параметры электрического питания:

- напряжение переменного тока, В

220±22

- частота переменного тока, Гц

50,0±0,5

Потребляемая мощность, кВт, не более

0,5

Рабочая температура, °С

от +16 до +26

Температура хранения, °С

от -18 до +45