Паспорт средства измерений Микроскопы электронные растровые настольные, заводской номер MVE0483420352S

ПАСПОРТ СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ

Номер в гос. реестре

75820-19

Наименование типа СИ (обозначение)

Микроскопы электронные растровые настольные (Phenom Pure, Phenom Pro, Phenom ProX, Phenom Pharos, Phenom XL)

Назначение средства измерений

Микроскопы электронные растровые настольные модификаций Phenom Pure, Phenom Pro, Phenom ProX, Phenom Pharos, Phenom XL (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур, количественного морфологического анализа и локального электронно-зондового элементного анализа.

Модификация

Phenom ProX

Описание типа

2019-75820-19-1.pdf

Тип производства

Серийное

Заводской номер

MVE0483420352S

Год производства (возраст, лет)

Год производства не указан

Производитель

Фирма "Thermo Fisher Scientific"
Страна - СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ

Все поверки данного средства измерений

Организация поверитель Модификация Условный шифр знака поверки Тип поверки Дата поверки Дейтвительна до Наименование документа, на основании которого выполнена поверка Номер свидетельства (извещения) Владелец СИ Знак поверки в паспорте Знак поверки на СИ
Организация поверитель Модификация Условный шифр знака поверки Тип поверки Дата поверки Дейтвительна до Наименование документа, на основании которого выполнена поверка Номер свидетельства (извещения) Владелец СИ Знак поверки в паспорте Знак поверки на СИ
RA.RU.311473 от 2015-12-14
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ УНИТАРНОЕ ПРЕДПРИЯТИЕ "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МЕТРОЛОГИИ ИМ.Д.И.МЕНДЕЛЕЕВА"
(ФГУП "ВНИИМ ИМ. Д.И.МЕНДЕЛЕЕВА")
ИНН: 7809022120
Действует
нетСПервичная17.08.202116.08.2022МП 75820-19 "Микроскопы электронные растровые настольные Phenom Pure, Phenom Pro, Phenom ProX, Phenom Pharos, Phenom XL", утвержC-С/17-08-2021/87600704АО «Научно-исследовательский и проектно-конструкторский институт асбестовой промышленности Нет Нет
RA.RU.311473 от 2015-12-14
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ УНИТАРНОЕ ПРЕДПРИЯТИЕ "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МЕТРОЛОГИИ ИМ.Д.И.МЕНДЕЛЕЕВА"
(ФГУП "ВНИИМ ИМ. Д.И.МЕНДЕЛЕЕВА")
ИНН: 7809022120
Действует
Phenom ProXСПервичная17.08.202116.08.2022МП 75820-19 "Микроскопы электронные растровые настольные Phenom Pure, Phenom Pro, Phenom ProX, Phenom Pharos, Phenom XL", утвержC-С/17-08-2021/111360165АО «Научно-исследовательский и проектно-конструкторский институт асбестовой промышленности Нет Нет
RA.RU.311473 от 2015-12-14
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ УНИТАРНОЕ ПРЕДПРИЯТИЕ "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МЕТРОЛОГИИ ИМ.Д.И.МЕНДЕЛЕЕВА"
(ФГУП "ВНИИМ ИМ. Д.И.МЕНДЕЛЕЕВА")
ИНН: 7809022120
Действует
Phenom ProXСПериодическая07.09.202206.09.2023МП 75820-19 "Микроскопы электронные растровые настольные Phenom Pure, Phenom Pro, Phenom ProX, Phenom Pharos, Phenom XL", утвержC-С/07-09-2022/184687175АО «Научно-исследовательский и проектно-конструкторский институт асбестовой промышленности Нет Да
RA.RU.311473 от 2015-12-14
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ УНИТАРНОЕ ПРЕДПРИЯТИЕ "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МЕТРОЛОГИИ ИМ.Д.И.МЕНДЕЛЕЕВА"
(ФГУП "ВНИИМ ИМ. Д.И.МЕНДЕЛЕЕВА")
ИНН: 7809022120
Действует
Phenom ProXСПериодическая16.10.202315.10.2024МП 75820-19 "Микроскопы электронные растровые настольные Phenom Pure, Phenom Pro, Phenom ProX, Phenom Pharos, Phenom XL", утвержC-С/16-10-2023/287320120АО «Научно-исследовательский и проектно-конструкторский институт асбестовой промышленности Нет Да
RA.RU.311473 от 2015-12-14
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ УНИТАРНОЕ ПРЕДПРИЯТИЕ "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МЕТРОЛОГИИ ИМ.Д.И.МЕНДЕЛЕЕВА"
(ФГУП "ВНИИМ ИМ. Д.И.МЕНДЕЛЕЕВА")
ИНН: 7809022120
Действует
Phenom ProXСПериодическая01.10.202430.09.2025МП 75820-19 "Микроскопы электронные растровые настольные Phenom Pure, Phenom Pro, Phenom ProX, Phenom Pharos, Phenom XL", утвержC-С/01-10-2024/376662520- Нет Да

Технические и метрологические характеристики СИ -

Микроскопы электронные растровые настольные (Phenom Pure, Phenom Pro, Phenom ProX, Phenom Pharos, Phenom XL)

Таблица 2 - Метрологические характеристики

Наименование характеристики

Модификация прибора

Phenom

Pure

Phenom

XL

Phenom

Pharos

Phenom

Pro

Phenom

ProX

Пространственное разрешение, нм, не более

25

14

2,5

8 (режим SE)

10 (режим BSE)

Диапазон измерений линейных размеров, мкм

от 1 до 1000

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, %

±3

±3

±1,5

±2

±2

Энергетическое разрешение энергодисперсионного спектрометра на линии Ка марганца,эВ, не более

132*

132*

132*

-

132

Таблица 3 - Основные технические характеристики

Наименование характеристики

Модификация прибора

Phenom

Pure

Phenom

XL

Phenom Pharos

Phenom

Pro

Phenom

ProX

Ускоряющее напряжение, кВ

5, 10

5, 10, 15

20

5, 10, 15

5, 10, 15

20*

5, 10, 15

20*

Источник электронов

Катод

CeB6

Катод

CeB6

Полевой катод Шоттки

Катод

CeB6

Катод

CeB6

Диапазон определяемых элементов

От В до

Am*

От В до

Am*

От В до

Am*

-

От В до Am

Масса, включая все комплектующие, кг, не более

66

91

69

66

66

Габаритные размеры основных составных частей (ДхШхВ), мм, не более:

  • - модуль получения изображений

  • - вакуумный насос

  • - источник питания

-монитор

316х587х625

145х220х213

156х300х74

375х203х395

Условия эксплуатации:

- температура окружающей среды, °С

-относительная влажность воздуха, %, не более

от +18 до +22

80

Напряжение питания от однофазной сети переменного тока частотой 50/60 Гц, В

от 110 до 240

Потребляемая мощность, Вт, не более

300


Заявитель


Общество с ограниченной ответственностью «Мелитэк» (ООО «Мелитэк»)
Адрес: 117342, Москва, ул. Обручева, д. 34/63, строение 2
Тел./факс: +7 (495) 781-07-85
E-mail: info@melytec.ru

Испытательный центр

Акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (АО «НИЦПВ»)
Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, корп. 1
Тел./факс: +7 (495) 935-97-77
E-mail: nicpv@mail.ru

Правообладатель


Изготовитель

не осуществляет пломбирование микроскопа. Внешний вид микроскопа и место нанесения знака поверки приведены на рисунке 1.
Место нанесения знака поверки
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа
Программное обеспечение Управление микроскопом осуществляется с помощью встроенной ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО). Программное обеспечение (ПО) «Phenom UI» является специализированным ПО микроскопа.
ПО «Phenom UI» предназначено для управления микроскопом, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО «Phenom UI» не может быть использовано отдельно от микроскопа.
Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.
Таблица 1
Идентификационные данные (признаки)
Значение
Идентификационное наименование ПО
Phenom UI
Номер версии (идентификационный номер) ПО:
4.X.X и выше
Цифровой идентификатор ПО
-
Уровень защиты ПО соответствует типу «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Метрологические и технические характеристики Таблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристики
Модификация прибора
Phenom
Pure
Phenom
XL
Phenom
Pharos
Phenom
Pro
Phenom
ProX
Пространственное разрешение, нм, не более
25
14
2,5
8 (режим SE)
10 (режим BSE)
Диапазон измерений линейных размеров, мкм
от 1 до 1000
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, %
±3
±3
±1,5
±2
±2
Энергетическое разрешение энергодисперсионного спектрометра на линии Ка марганца,эВ, не более
132*
132*
132*
-
132
Таблица 3 - Основные технические характеристики
Наименование характеристики
Модификация прибора
Phenom
Pure
Phenom
XL
Phenom Pharos
Phenom
Pro
Phenom
ProX
Ускоряющее напряжение, кВ
5, 10
5, 10, 15
20
5, 10, 15
5, 10, 15
20*
5, 10, 15
20*
Источник электронов
Катод
CeB6
Катод
CeB6
Полевой катод Шоттки
Катод
CeB6
Катод
CeB6
Диапазон определяемых элементов
От В до
Am*
От В до
Am*
От В до
Am*
-
От В до Am
Масса, включая все комплектующие, кг, не более
66
91
69
66
66
Габаритные размеры основных составных частей (ДхШхВ), мм, не более:
  • - модуль получения изображений
  • - вакуумный насос
  • - источник питания
-монитор
316х587х625
145х220х213
156х300х74
375х203х395
Условия эксплуатации:
- температура окружающей среды, °С
-относительная влажность воздуха, %, не более
от +18 до +22
80
Напряжение питания от однофазной сети переменного тока частотой 50/60 Гц, В
от 110 до 240
Потребляемая мощность, Вт, не более
300
Знак утверждения типа наносится на лицевую панель модуля получения изображений в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Комплектность средства измерений Комплектность представлена в таблице 4
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
Наименование
Обозначение
Количество
Микроскоп электронный растровый настольный
Phenom Pure (Phenom Pro, Phenom ProX, Phenom Pharos, Phenom XL)
1 шт.
Руководство по эксплуатации
-
1 экз.
Методика поверки
-
1 экз.
Поверка
осуществляется по документу МП 75820-19 «Микроскопы электронные растровые настольные Phenom Pure, Phenom Pro, Phenom ProX, Phenom Pharos, Phenom XL. Методика поверки», утвержденному АО «НИЦПВ» 18 марта 2019 г.
Основные средства поверки:
- мера ширины и периода специальная МШПС -2.0К (Госреестр № 33598-06);
- мера длины концевая плоскопараллельная с номинальным значением 1 мм кл . т. 3 по ГОСТ 9038-80 (Госреестр № 38376-08).
- стандартный образец состава марганца металлического типа Мн95 (Ф5) ГСО 1095-90П или марганец марки Мн998 или Мн 997 по ГОСТ 6008-90.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемого микроскопа с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на лицевую панель микроскопа в виде наклейки, как показано на рисунке 1 и на свидетельство о поверке.
Сведения о методиках (методах) измерений приведены в эксплуатационном документе.
Фирма «Thermo Fisher Scientific», Нидерланды.
Адрес: Zwaanstraat 31G/H, Building TR5651 CA- Eindhoven, The Netherlands.
Тел./факс: +31 (0)40 259 73 60
E-mail: info@phenom-world.com

Внешний вид средства измерений: Микроскопы электронные растровые настольные, заводской номер №MVE0483420352S
Внешний вид средства измерений: Микроскопы электронные растровые настольные, заводской номер №MVE0483420352S

Все средства измерений Фирма "Thermo Fisher Scientific"

№ в реестре
cрок св-ва
Наименование СИ, обозначение, изголовитель ОТ, МП МПИ
13504-12
30.07.2017
Комплексы газоаналитические, 1400 (ТЕ-1)
Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ )
ОТ
1 год
13987-11
31.03.2016
Спектрометры эмиссионные с индуктивно связанной плазмой, iCAP 6000
Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ )
ОТ
1 год
16590-08
01.06.2013
Анализаторы элементные, FlashEA 1112, мод. CHNS/O, CHN/O, CHNS, CHN, NCS, S, O, N, NC, NC Soil, NC Sediments, NC Filters, N Protein, N Brew, XL
Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ )
ОТ
1 год
22506-07
01.06.2012
Анализаторы нефтепродуктов, ECS
Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ )
1 год
22810-07
01.11.2012
Масс-спектрометры с индуктивно связанной плазмой, XSERIES 2
Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ )
1 год
22810-12
24.08.2017
Масс-спектрометры с индуктивно связанной плазмой, XSERIES 2
Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ )
ОТ
1 год
22811-07
01.11.2012
Спектрофотометры атомно-абсорбционные, SOLAAR серии S (мод. S2, S4)
Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ )
1 год
23599-02
01.11.2012
Фурье-спектрометры инфракрасные, IR100, IR200, IR300
Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ )
1 год
25596-08
01.08.2013
Анализаторы нефтепродуктов, TS 3000, TS 4000
Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ )
ОТ
1 год
28566-08
01.01.2014
Хромато-масс-спектрометры с масс-спектрометрами, Focus GC/Trace GC (хромато-масс-спектрометры); DSQ II, ITQ 700, ITQ 900, ITQ 1100, DFS, TSQ (масс-спектрометры)
Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ )
ОТ
1 год
28566-10
01.08.2015
Хромато-масс-спектрометры с масс-спектрометрами, Focus GC/Trace GC (хромато-масс-спектрометры); DSQ II, ITQ 700, ITQ 900, ITQ 1100, DFS, TSQ, ISQ (масс-спектрометры)
Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ )
ОТ
1 год
33901-07
01.03.2012
Анализаторы общего, органического и неорганического углерода, TOC 1200 и HiperTOC
Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ )
1 год
34660-07
01.02.2018
Фурье-спектрометры инфракрасные, Antaris (мод. II, MX, EX, IGS)
Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ )
ОТ
1 год
34998-07
01.06.2012
Спектрометры комбинационного рассеяния, Nicolet Almega XR
Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ )
1 год
38129-08
01.07.2013
Системы измерительные, AutoPILOT
Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ )
ОТ
2 года
38470-08
01.09.2013
Спектрофотометры, Evolution 60
Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ )
ОТ
1 год

Статистика

Кол-во поверок - 38
Выдано извещений - 1
Кол-во периодических поверок - 25
Кол-во средств измерений - 15
Кол-во владельцев - 13
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.

Кто поверяет Микроскопы электронные растровые настольные (Phenom Pure, Phenom Pro, Phenom ProX, Phenom Pharos, Phenom XL)

Наименование организации Cтатус
АО "НИЦПВ"
(RA.RU.311409)
УРАЛЬСКИЙ НИИ МЕТРОЛОГИИ
(RA.RU.311473)
РСТ
АО "НИЦПВ"
(RA.RU.311409)

Стоимость поверки Микроскопы электронные растровые настольные (Phenom Pure, Phenom Pro, Phenom ProX, Phenom Pharos, Phenom XL)

Организация, регион Стоимость, руб Средняя стоимость

Какие модификации данного типа СИ еще существуют

Phenom ProX; Phenom XL; Микроскоп электронный растровый настольный Phenom Pharos; Микроскоп электронный растровый настольный Phenom ProX; Микроскоп электронный растровый настольный Phenom XL; Микроскоп электронный растровый настольный Phenom, модификация Phenom XL; нет;

Настройки внешнего вида
Цветовая схема

Ширина

Левая панель