Метод прямых измерений

V

МИНИСТЕРСТВО ПРОМЫШЛЕННОСТИ И ТОРГОВЛИ

РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ (Госстандарт)

05 февраля 2026 г.                                                                             205

______________________ Jfe _________________

Москва

б утвер дении Государственного первичного эталона единиц относительных диэлектрической и магнитной проницаемостей и тангенса угла диэлектрических и магнитн х потерь в диапазоне частот от 1 Гц до 40 ГГц

и Государственной поверочной схемы для средств измерений относительн х диэлектрической и магнитной проницаемостей и тангенса угла диэлектрических и магнитн х потерь в диапазоне частот от 1 МГц до 40 ГГц

В соответствии с подпунктом 5.4.18 пункта 5, подпунктом 9.8 пункта 9 Положения о Федеральном агентстве по техническому регулированию и метрологии, утвержденного постановлением Правительства Российской Федерации от 17 июня 2004 г. № 294, пунктом 6 Положения об эталонах единиц величин, используемых в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений, утвержденного постановлением Правительства Российской Федерации от 23 сентября 2010 г. № 734 «Об эталонах единиц величин, используемых в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений», Требованиями к содержанию и построению государственных поверочных схем и локальных поверочных схем, в том числе к их разработке, утверждению и изменению, утвержденными приказом Министерства промышленности и торговли Российской Федерации от 11 февраля 2020 г. № 456¹, руководствуясь Планом разработки, пересмотра и утверждения государственных поверочных схем на 2025 год, утвержденным приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 27 декабря 2024 г. № 3142 (с изменением, внесенным приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 7 августа 2025 г. № 1612), в связи с выполнением федеральным государственным унитарным предприятием «Всероссийский научно-исследовательский институт физико-

технических и радиотехнических измерений»¹ работ по совершенствованию Государственного первичного эталона единиц относительных диэлектрической и магнитной проницаемостей в диапазоне частот от 1 МГц до 18 ГГц (ГЭТ 174-2016) и разработке проекта Государственной поверочной схемы для средств измерений относительных диэлектрической и магнитной проницаемостей и тангенса угла диэлектрических и магнитных потерь в диапазоне частот от 1 МГц до 40 ГГЦ п р и к а з ы в а ю:

• 1. твердить:

Государственный первичный эталон единиц относительн х диэлектрической и магнитной проницаемостей и тангенса угла диэлектрических и магнитных потерь в диапазоне частот от 1 МГц до 40 ГГц и присвоить ему регистрационный номер ГЭТ 174-2026²;

Государственную поверочную схему для средств измерений относительных диэлектрической и магнитной проницаемостей и тангенса угла диэлектрических и магнитных потерь в диапазоне частот от 1 МГц до 40 ГГц³, согласно приложению к настоящему приказу;

учёным-хранителем ГЭТ 174-2026 Танакова Павла Евгеньевича, научного сотрудника отдела № 3 «Измерение параметров электрических цепей с сосредоточенными постоянными на высоких частотах» Западно-Сибирского филиала федерального государственного унитарного предприятия «Всероссийский научно-исследовательский институт физико-технических и радиотехнических измерений»⁴.

• 2. становить:

• 1) обязательные метрологические, технические требования (характеристики) ГЭТ 174-2026, указанные в его паспорте;

• 2) правила содержания и применения ГЭТ 174-2026, хранящиеся в Западно-Сибирском филиале ФГУП «ВНИИФТРИ»;

• 3) межаттестационный интервал ГЭТ 174-2026, равный 5 годам;

• 4) место хранения, содержания и применения ГЭТ 174-2026 - ЗападноСибирский филиал ФГУП «ВНИИФТРИ»;

• 5) что ГПС применяется для ГЭТ 174-2026, прослеживаемых к нему эталонов и средств измерений электрической добротности и вводится в действие с 20 февраля 2026 г.;

• 6) что эталоны, аттестованн е на соответствие требованиям Государственной поверочной схем для средств измерений относительн х диэлектрической и магнитной проницаемостей в диапазоне частот от 1 МГц до 18 ГГц, утвержденной приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 28 мая 2018 г. № 1044 «Об утверждении государственной поверочной схемы для средств измерений относительных диэлектрической и магнитной проницаемостей в диапазоне частот от 1 МГц до 18 ГГц»⁵, или локальным поверочным схемам, применяются до даты

окончания срока действия свидетельства об аттестации, выданного до ввода в действие ГПС;

• 7) что эталоны, аттестованные на соответствие требованиям Приказа № 1044, соответствующие по своим метрологическим характеристикам указанному разряду ГПС, подлежат периодической аттестации на соответствие ГС не позднее срока окончания действия свидетельства об аттестации, в документ на эталоны вносятся соответству ие изменения;

• 8) что эталоны, аттестованн е на соответствие требованиям риказа 1044, не соответству ие по своим метрологическим характеристикам указанному разряду Г , подле ат первичной аттестации не позднее срока окончания действия свидетельства об аттестации и утверждению в соответствии с ГПС;

• 9) что эталоны, аттестованные на соответствие локальным поверочным схемам, подлежат первичной аттестации не позднее срока окончания действия свидетельства об аттестации и утверждению в соответствии с ГПС;

• 10) что информация о прекращении применения эталонов по Приказу № 1044 или локальным поверочным схемам или об изменении ГПС для эталонов, не требующих переутверждения, передается держателем эталона в едеральный информационный фонд по обеспечени единства измерений⁷ после дат окончания срока действия свидетельства об аттестации.

• 3. пределить состав ГЭТ 174-2026, указанный в его паспорте.

• 4. ФГУП «ВНИИФТРИ» направить сведения об утверждении ГЭТ 174-2026 и Г в федеральное б д етное учре дение « аучно-исследовательский центр прикладной метрологии - Ростест» для их внесения в Федеральный фонд.

• 5. Управлению метрологии обеспечить размещение информации об утверждении ГЭТ 174-2026 и ГПС на официальном сайте Росстандарта в информационно-телекоммуникационной сети «Интернет».

• 6. Признать с 20 февраля 2026 г. утратившими силу:

приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 30 декабря 2016 г. № 2096 «Об утверждении Государственного первичного эталона единиц относительных диэлектрической и магнитной проницаемостей в диапазоне частот от 1 Гц до 18 ГГц»;

приказ едерального агентства по техническому регулировани и метрологии от 28 мая 2018 г. 1044 « б утвер дении государственной поверочной схем для средств измерений относительн х диэлектрической и магнитной проницаемостей в диапазоне частот от 1 МГц до 18 ГГц»;

приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 21 сентября 2020 г. № 1551 «О внесении изменений в приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 30 декабря 2016 г. № 2096 «Об утверждении Государственного первичного эталона единиц относительных диэлектрической и магнитной проницаемостей в диапазоне частот от 1 МГц до 18 ГГц»;

приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 15 декабря 2021 г. № 2883 «О внесении изменений в приказ

едерального агентства по техническому регулировани и метрологии от 30 декабря 2016 г. № 2096 «Об утверждении Государственного первичного эталона единиц относительных диэлектрической и магнитной проницаемостей в диапазоне частот от 1 МГц до 18 ГГц»;

• 7. Контроль за исполнением настоящего приказа возложить на заместителя руководителя Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии Е.Р. Лазаренко.

Подлинник электронного документа, подписанного ЭП, хранится в системе электронного документооборота Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

Сертификат: 66D990443E7A5ED6AB654D8C484E9E37 Кому выдан: Шалаев Антон Павлович

Действителен: с 06.05.2025 до 30.07.2026

¹

далее - ФГУП «ВНИИФТРИ».

²

далее - ГЭТ 174-2026.

³

далее - ГПС.

⁴

далее - Западно-Сибирский филиал ФГУП «ВНИИФТРИ».

⁵

далее - Приказ № 1044.

УТВЕРЖДЕНА приказом Федерального агентства по техническому регулированию

и метрологии

от «05   » февраля 2026 Г. №    ^{20 5}

ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ОТНОСИТЕЛЬНЫХ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ И МАГНИТНОЙ ПРОНИЦАЕМОСТЕЙ И ТАНГЕНСА УГЛА ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ И МАГНИТНЫХ ПОТЕРЬ В ДИАПАЗОНЕ ЧАСТОТ ОТ 1 МГц ДО 40 ГГц

Настоящая государственная поверочная схема для средств измерений относительных диэлектрической и магнитной проницаемостей и тангенса угла диэлектрических и магнитных потерь в диапазоне частот от 1 МГц до 40 ГГц распространяется на средства измерений относительной диэлектрической проницаемости в диапазоне значений от 1,2 до 4000, относительной магнитной проницаемости в диапазоне значений от 1,5 до 100, тангенса угла диэлектрических потерь в диапазоне значений от 5-10^-5 до 8-10^-1 и тангенса угла магнитных потерь в диапазоне значений от 1-10^-3 до 1 в диапазоне частот от 1 МГц до 40 ГГц и устанавливает порядок передачи единиц относительных диэлектрической, магнитной проницаемостей и тангенса угла диэлектрических и магнитных потерь от Государственного первичного эталона единиц относительных диэлектрической, магнитной проницаемостей и тангенса угла диэлектрических и магнитных потерь (ГЭТ 174-2026) средствам измерений с помощью рабочих эталонов с указанием погрешностей, неопределенностей и методов передачи.

Графическая часть государственной поверочной схемы для средств измерений относительных диэлектрической и магнитной проницаемостей и тангенса угла диэлектрических и магнитных потерь в диапазоне частот от 1 МГц до 40 ГГц представлена в приложении А.

• 2.1  Государственный первичный эталон единиц относительных диэлектрической и магнитной проницаемостей и тангенса угла диэлектрических и магнитных потерь в диапазоне частот от 1 МГц до 40 ГГц (далее - Государственный первичный эталон) предназначен для воспроизведения, хранения единиц диэлектрической, магнитной проницаемостей и тангенса угла диэлектрических и магнитных потерь в диапазоне частот от 1 МГц до 40 ГГц и передачи их рабочим эталонам и средствам измерений методом прямых измерений.

• 2.2 Государственный первичный эталон состоит из 9 (девяти) эталонных установок, каждая из которых в свою очередь состоит из соответствующего компаратора, набора эталонных мер (стандартных образцов) для воспроизведения единицы, контроля стабильности и передачи единиц, серийной аппаратуры генерации и измерения сигналов, а также системы сбора и обработки информации на базе персонального компьютера.

  • 2.2.1 Эталонная установка ЭУ-1 предназначена для воспроизведения, хранения и передачи единиц относительной магнитной проницаемости в диапазоне значений от 1,5 до 100 и тангенса угла магнитных потерь в диапазоне значений от V10^-3 до 1 изотропных материалов в диапазоне частот от 1 до 200 МГц посредством компаратора, выполненного по схеме двойного Т-образного моста.

  • 2.2.2 Эталонная установка ЭУ-2 предназначена для воспроизведения, хранения и передачи единицы относительной диэлектрической проницаемости в диапазоне значений от 1,5 до 10 изотропных материалов в диапазоне частот от 1 до 200 МГц посредством компаратора - измерителя диэлектрической проницаемости резонансного типа.

  • 2.2.3 Эталонная установка ЭУ-3 предназначена для воспроизведения, хранения и передачи единиц относительной диэлектрической проницаемости в диапазоне значений от 1 до 10, относительной магнитной проницаемости в диапазоне значений от 1 до 10, тангенса угла диэлектрических потерь в диапазоне от V10^-4 до Г10⁴ и тангенса угла магнитных потерь в диапазоне от V10^-4 до 1*10^-1 изотропных материалов в диапазоне частот от 600 МГц до 4 ГГц посредством компаратора на основе коаксиального резонатора переменной длины.

  • 2.2.4 Эталонная установка ЭУ-4 предназначена для воспроизведения, хранения и передачи единиц относительной диэлектрической проницаемости в диапазоне от 1,2 до 30 и тангенса угла диэлектрических потерь в диапазоне от V10^-4 до 1*10^-1 изотропных материалов в диапазоне частот от 200 МГц до 2 ГГц посредством компаратора на основе тороидального резонатора с частичным заполнением измерительной ячейки, в который введен дополнительный измерительный коаксиальный конденсатор.

  • 2.2.5 Эталонная установка ЭУ-5 предназначена для воспроизведения, хранения и передачи единиц относительной диэлектрической проницаемости в диапазоне от 1,2 до 400,0 и тангенса угла диэлектрических потерь в диапазоне от 5Л0^-5 до V10^-2 изотропных материалов в диапазоне частот от 1 до 18 ГГц посредством компаратора на основе электромагнитной системы, состоящей из волноводно-диэлектрического резонатора -радиального волновода и подвижных элементов возбуждения электромагнитных колебаний.

  • 2.2.6 Эталонная установка ЭУ-6 предназначена для воспроизведения, хранения и передачи единиц относительной диэлектрической проницаемости в диапазоне от 1,2 до 400,0 и тангенса угла диэлектрических потерь в диапазоне от 5Л0^-5 до V10^-2 изотропных материалов в диапазоне частот от 1 до 18 ГГц посредством компаратора на основе электромагнитной системы, состоящей из волноводно-диэлектрического резонатора - отрезка круглого волновода и подвижных элементов возбуждения осесимметричных электромагнитных колебаний.

  • 2.2.7 Эталонная установка ЭУ-7 предназначена для воспроизведения, хранения и передачи единиц относительной диэлектрической проницаемости в диапазоне от 2 до 20 и тангенса угла диэлектрических потерь в диапазоне от 5Л0^-5 до V10^-2 анизотропных материалов в диапазоне частот от 2 до 18 ГГц посредством компаратора на основе электромагнитной системы, состоящей из волноводно-диэлектрического резонатора - отрезка круглого волновода и подвижных элементов возбуждения осесимметричных электрических и магнитных волн различного типа.

• 2.2.8. Эталонная установка ЭУ-8 предназначена для воспроизведения, хранения и передачи единиц относительной диэлектрической проницаемости в диапазоне значений от 400 до 4000, тангенса угла диэлектрических потерь в диапазоне от V10^-3 до 8Л0^-1 сегнетоэлектриков в диапазоне частот от 500 МГц до 4 ГГц посредством компаратора на основе коаксиального резонатора переменной длины.

• 2.2.9. Эталонная установка ЭУ-9 предназначена для воспроизведения, хранения и передачи единиц относительной диэлектрической проницаемости в диапазоне от 1,2 до 400,0 и тангенса угла диэлектрических потерь в диапазоне от 5Л0^-5 до V10^-2 изотропных материалов в диапазоне частот от 18 до 40 ГГц посредством компаратора на основе электромагнитной системы, состоящей из волноводно-диэлектрического резонатора - отрезка круглого волновода и подвижных элементов возбуждения осесимметричных электромагнитных колебаний.

• 2.3 Государственный первичный эталон обеспечивает воспроизведение единиц относительных диэлектрической, магнитной проницаемостей и тангенса угла диэлектрических и магнитных потерь со следующими метрологическими характеристиками.

  • 2.3.1 Относительной диэлектрической проницаемости изотропных материалов (установки ЭУ-1, ЭУ-2, ЭУ-3, ЭУ-4, ЭУ-5, ЭУ-6, ЭУ-9) с относительным средним квадратическим отклонением (СКО) результатов измерений S_o от 240^-4 до 4Л0^-3 при 10 независимых измерениях, и относительной неисключенной систематической погрешности (НСП) 0_О от 6Л0^-4 до 8Л0^-3 при доверительной вероятности 0,99.

  • 2.3.2 Тангенса угла диэлектрических потерь изотропных материалов (установки ЭУ-1, ЭУ-2, ЭУ-3, ЭУ-4, ЭУ-5, ЭУ-6, ЭУ-9) с СКО результатов измерений S_o от V10^-2 до 5Л0^-2 при 10 независимых измерениях, и с доверительными границами НСП 0_О от 340^-2 до 1 *10^-1 при доверительной вероятности 0,99.

  • 2.3.3 Неопределенности воспроизведения относительной диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлектрических потерь изотропных материалов в соответствии с таблицей 1.

Таблица 1 - Неопределенности воспроизведения относительной диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлектрических потерь изотропных материалов

• 2.3.4  Относительной магнитной проницаемости изотропных материалов (установки ЭУ-1, ЭУ-3) с СКО результатов измерений S_o от 2Л0^-4 до 240^-3 при 10 независимых измерениях, и НСП 0_О от 6Л0^-4 до 6Л0^-3 при доверительной вероятности 0,99.

• 2.3.5 Тангенса угла магнитных потерь изотропных материалов (установки ЭУ-1, ЭУ-3) с СКО результатов измерений S_o от V10^-2 до 5Л0^-2 при 10 независимых измерениях, и НСП 0_О от 340^-2 до 1'10^-1 при доверительной вероятности 0,99.

• 2.3.6 Неопределенности воспроизведения относительной магнитной проницаемости и тангенса угла магнитных потерь изотропных материалов в соответствии с таблицей 2.

Таблица 2 - Неопределенности воспроизведения относительной магнитной проницаемости и тангенса угла магнитных потерь изотропных материалов

• 2.3.7 Относительной диэлектрической проницаемости анизотропных материалов (установка ЭУ-7) с СКО результатов измерений S_o от V10^-4 до V10^-3 при 10 независимых измерениях, и НСП 0_О от 6Л0^-4 до V10^-3 при доверительной вероятности 0,99.

• 2.3.8 Тангенса угла диэлектрических потерь анизотропных материалов (установка ЭУ-7) с СКО результатов измерений S_o от V10^-2 до 440^-2 при 10 независимых измерениях, и НСП 0_О от 3Л0^-2 до 240^-1 при доверительной вероятности 0,99.

• 2.3.9    Неопределенности воспроизведения относительной диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлектрических потерь анизотропных материалов в соответствии с таблицей 3.

Таблица 3 - Неопределенности воспроизведения относительной диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлектрических потерь анизотропных материалов

• 2.3.10     Относительной диэлектрической проницаемости сегнетоэлектриков (установка ЭУ-8) с СКО результатов измерений S_o не более V10^-2 при 10 независимых измерениях, и НСП 0_О не более 3Л0^-2 при доверительной вероятности 0,99.

• 2.3.11  Тангенса угла диэлектрических потерь сегнетоэлектриков (установка ЭУ-8) с СКО результатов измерений S_o не более 1'10^-1 при 10 независимых измерениях, и НСП 0_О не более 7,5Л0^-1 при доверительной вероятности 0,99.

• 2.3.12    Неопределенности воспроизведения относительной диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлектрических потерь сегнетоэлектриков в соответствии с таблицей 4.

Таблица 4 - Неопределенности воспроизведения относительной диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлектрических потерь сегнетоэлектриков

• 2.4 Для обеспечения воспроизведения единиц относительных диэлектрической и магнитной проницаемостей, тангенса угла диэлектрических и магнитных потерь с указанной точностью должны быть соблюдены правила хранения и применения Государственного первичного эталона, утвержденные в установленном порядке.

• 3.1  В качестве рабочих эталонов единиц относительных диэлектрической и магнитной проницаемостей используют:

  • 3.1.1  Измерители комплексной диэлектрической проницаемости в диапазоне частот от 1 МГц до 40 ГГц с значениями относительной диэлектрической проницаемости от 1,2 до 4000 и тангенса угла диэлектрических потерь от 5-10^-5 до 8•IO^-1; измерители комплексной магнитной проницаемости в диапазоне частот от 1 МГц до 4 ГГц с значениями относительной магнитной проницаемости от 1,5 до 100,0 и тангенса угла магнитных потерь от 1-10^-3 до 1.

  • 3.1.2 Меры комплексной диэлектрической проницаемости в диапазоне частот от 1 МГц до 40 ГГц с значениями диэлектрической проницаемости от 1,2 до 4000 и тангенса угла диэлектрических потерь от 5-10^-5 до 8-10^-1; меры комплексной магнитной проницаемости в диапазоне частот от 1 МГц до 4 ГГц с значениями относительной магнитной проницаемости от 1,5 до 100,0 и тангенса угла магнитных потерь от 1-10^-3 до 1.

• 3.2  Предел допускаемых значений доверительных границ относительной погрешности д_О рабочих эталонов при доверительной вероятности 0,95 составляют:

d_Oe,_g от 0,3 до 3 % для относительной диэлектрической и относительной магнитной проницаемостей;

d_Otgs от 10 до 15 % для тангенса угла диэлектрических и магнитных потерь.

• 3.3 Рабочие эталоны комплексных диэлектрической и магнитной проницаемостей применяют для передачи единиц средствам измерений методом прямых измерений.

• 3.4 Соотношение предела допускаемых значений доверительных границ относительной погрешности рабочих эталонов и предела допускаемой относительной погрешности средств измерений должно быть не более 1:2.

4.1 В качестве средств измерений используют измерители параметров диэлектрических и магнитных материалов, измерители параметров диэлектрических и магнитных пленок, резонаторы волноводнодиэлектрические, меры.

4.2 Предел допускаемой относительной погрешности Л_О средств измерений составляет:

для измерителей магнитных параметров изотропных материалов, мер в диапазоне частот от 0,2 до 2,0 МГц: от 3 до 10 % для относительной магнитной проницаемости, от 10 до 40 % для тангенса угла магнитных потерь;

для измерителей диэлектрических параметров изотропных материалов, мер в диапазоне частот от 1 до 200 МГц: от 3 до 5 % для относительной диэлектрической проницаемости;

для измерителей бикомплексной проницаемости изотропных материалов, мер в диапазоне частот от 0,6 до 4,0 ГГц: от 3 до 10 % для относительных диэлектрической и магнитной проницаемостей, от 20 до 40 % для тангенса угла диэлектрических и магнитных потерь;

для измерителей диэлектрических параметров изотропных материалов, мер в диапазоне частот от 0,2 до 2,0 ГГц: от 3 до 10 % для относительной диэлектрической проницаемости, от 20 до 40 % для тангенса угла диэлектрических потерь;

для измерителей диэлектрических параметров изотропных материалов, мер в диапазоне частот от 1 до 40 ГГц: от 1 до 10 % для относительной диэлектрической проницаемости, от 20 до 30 % для тангенса угла диэлектрических потерь;

для измерителей диэлектрических параметров анизотропных материалов, мер в диапазоне частот от 2 до 18 ГГц: от 1 до 10 % для относительной диэлектрической проницаемости, от 20 до 40 % для тангенса угла диэлектрических потерь;

для измерителей диэлектрических параметров сегнетоэлектриков, мер в диапазоне частот от 0,5 до 4,0 ГГц: от 3 до 10 % для относительной диэлектрической проницаемости, от 20 до 40 % для тангенса угла диэлектрических потерь.