Номер по Госреестру СО: ГСО 326-73/331-73
СО ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СТРУКТУР КРЕМНИЯ п-п+-р ТИПА, АТТЕСТОВАННЫХ ПО ТОЛЩИНЕ ЭПИТАКСИАЛЬНОГО СЛОЯ (комплект)
комплект СО состоит из шести монокристаллических эпитаксиальных структур кремния п-п+-р типа диаметром 40 мм и толщиной 250 мкм.
СРОК ГОДНОСТИ: 2,5 года
СРОК СВИДЕТЕЛЬСТВА: 01.11.1975
НОМЕР ЗАПИСИ:
ДАТА ОПУБЛИКОВАНИЯ:
ПРОИЗВОДИТЕЛЬ: НИИМВ
СТРАНА: РОССИЯ
НАИМЕНОВАНИЕ АТТЕСТОВАННОЙ ХАРАКТЕРИСТИКИ
- толщина эпитаксиального слоя п-типа проводимости, мкмСПОСОБ УСТАНОВЛЕНИЯ АТТЕСТОВАННОГО ЗНАЧЕНИЯ
- Межлабораторный экспериментНазначение стандартного образца
СО предназначен для поверки рабочих ИК-спектрофотометров типа ИКС-14, ИКС-22 с оптической приставкой, на которых измеряется толщина эпитаксиальных слоев кремния в структурах п-п+ и п-п+-р типов по интерференции ИК-лучей с погрешностью не менее 5 %.
Описание стандартного образца
комплект СО состоит из шести монокристаллических эпитаксиальных структур кремния п-п+-р типа диаметром 40 мм и толщиной 250 мкм.
Знак утверждения типа
Комплектность стандартного образца
Документы, устанавливающие требования к стандартному образцу
Метрологические характеристики
Статистика
Кол-во поверок -
Кол-во поверок (подведы РСТ) -
Кол-во поверок (неподведы РСТ) -
Кол-во поверок (гос. организации) -
Кол-во поверок (чвстники) -
Кол-во владельцев - 0
Все стандартные образцы НИИМВ
| Номер в реестре | Наименование СО | Статус |
|---|---|---|
| ГСО 326-73/331-73 | СО ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СТРУКТУР КРЕМНИЯ п-п+-р ТИПА, АТТЕСТОВАННЫХ ПО ТОЛЩИНЕ ЭПИТАКСИАЛЬНОГО СЛОЯ (комплект) | Срок действия истек |
| ГСО 335-73 | СО УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ (кремний монокристаллический) | Срок действия истек |
| ГСО 336-73 | СО УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ (кремний монокристаллический) | Срок действия истек |
| ГСО 337-73 | СО УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ (кремний монокристаллический) | Срок действия истек |
| ГСО 339-73 | СО УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ (кремний монокристаллический) | Срок действия истек |
| ГСО 342-73 | СО УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ (кремний монокристаллический) | Срок действия истек |
| ГСО 612-74/615-74 | СО ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СТРУКТУР КРЕМНИЯ п-п+-р ТИПА, АТТЕСТОВАННЫХ ПО ТОЛЩИНЕ ЭПИТАКСИАЛЬНОГО СЛОЯ (комплект) | Срок действия истек |
| ГСО 891-76/893-76 | СО СОСТАВА ГРАФИТОВОГО ПОРОШКА С МАЛЫМ СОДЕРЖАНИЕМ ПРИМЕСЕЙ (комплект) | Срок действия истек |
| ГСО 1548-79/1550-79 | СО СОСТАВА СУЛЬФИДА КАДМИЯ | Срок действия истек |
| ГСО 5105-89/5112-89 | СО ПОВЕРХНОСТНОГО И УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СОПРОТИВЛЕНИЙ (ПЛАСТИНЫ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ П-ТИПА) комплект ПУЭС | Срок действия истек |
Владельцы ГСО 326-73/331-73 СО ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СТРУКТУР КРЕМНИЯ п-п+-р ТИПА, АТТЕСТОВАННЫХ ПО ТОЛЩИНЕ ЭПИТАКСИАЛЬНОГО СЛОЯ (комплект)
| Организация | Кол-во поверок |
|---|
ВЫПИСКА ИЗ ГОСУДАРСТВЕННОГО РЕЕСТРА УТВЕРЖДЕННЫХ ТИПОВ СТАНДАРТНЫХ ОБРАЗЦОВ
(на ГСО, для которого Описание типа не предусмотрено)
Дата: 22.02.2019 г.
Номер ГСО по Госреестру СО: ГСО 326-73/331-73
Количество СО в комплекте: 6
Наименование СО: СО ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СТРУКТУР КРЕМНИЯ п-п+-р ТИПА, АТТЕСТОВАННЫХ ПО ТОЛЩИНЕ ЭПИТАКСИАЛЬНОГО СЛОЯ (комплект) Назначение СО:
СО предназначен для поверки рабочих ИК-спектрофотометров типа ИКС-14, ИКС-22 с оптической приставкой, на которых измеряется толщина эпитаксиальных слоев кремния в структурах п-п+ и п-п+-р типов по интерференции ИК-лучей с погрешностью не менее 5 %.
Номер свидетельства (сертификата):
Действителен до: 01.11.1975
Описание СО:
комплект СО состоит из шести монокристаллических эпитаксиальных структур кремния п-п+-р типа диаметром 40 мм и толщиной 250 мкм.
Страна изготовитель ГСО: Россия
Изготовитель(и):
НИИМВ
Страна-импортер:
Организация-импортер:
Форма выпуска (ввоза): единичное
Способ установления аттестованного значения: межлабораторный эксперимент
Срок годности экземпляра СО: 2,5 года
НОРМИРОВАННЫЕ МЕТРОЛОГИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ Наименование аттестуемой характеристики: толщина эпитаксиального слоя п-типа проводимости, мкм
|
Индекс СО |
Аттестованная характеристика |
Влияющие величины |
Аттестованное значение |
Единица величины |
Границы погрешности ±5* |
*** |
|
01 |
Толщина эпитаксиального слоя |
3.72 |
мкм |
3 |
О | |
|
02 |
Толщина эпитаксиального слоя |
5.16 |
мкм |
3 |
О | |
|
03 |
Толщина эпитаксиального слоя |
8.26 |
мкм |
3 |
О | |
|
04 |
Толщина эпитаксиального слоя |
10.9 |
мкм |
3 |
О | |
|
05 |
Толщина эпитаксиального слоя |
15.3 |
мкм |
3 |
О | |
|
06 |
Толщина эпитаксиального слоя |
19.9 |
мкм |
3 |
О |
* при доверительной вероятности 0.95
*** А - абсолютная, О - относительная.